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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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3.336 gesamt
Patent
26.02.2020
Bestimmung einer Pupillenanpassung
Optik & Fototechnik
26.02.2020
Metrologievorrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
26.02.2020
Strahlenquelle basierend auf der Erzeugung Hoher Oberwellen
Elektronik & Schaltungstechnik
19.02.2020
Ladungsteilchenquellenmodul
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.02.2020
Piezoelektrischer Aktuator sowie Aktuatorsystem, Substratträger und Lithographievorrichtung mit dem Aktuator
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.02.2020
Verfahren zur Steuerung eines Herstellungsverfahrens und Zugehörige Vorrichtungen
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
19.02.2020
Metrologievorrichtung und Photonische Kristallfaser
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
19.02.2020
Verfahren und Metrologievorrichtung zur Bestimmung von Geschätzter Gestreuter Strahlungsintensität
Optik & Fototechnik
19.02.2020
Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Asymmetrie einer Mikrostruktur, Positionsmessverfahren, Positionsmessvorrichtung, Lithografievorrichtung und Vorrichtungsherstellungsverfahren
Optik & Fototechnik
12.02.2020
Elektronenstrahlbelichtungssystem
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.02.2020
Optische Maskenlose Lithographie
Optik & Fototechnik
05.02.2020
Metrologievorrichtung und Verfahren zur Bestimmung einer Eigenschaft einer oder mehrerer Strukturen auf einem Substrat
Optik & Fototechnik
29.01.2020
Substratpositionierungsvorrichtung mit Temperatur-Fernsensor
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.01.2020
Vorrichtung mit mehreren Ladungsträgerteilstrahlen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.01.2020
Strahlungsgitterentwurf
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.01.2020
Metrologievorrichtung und Verfahren zur Bestimmung einer Eigenschaft in Bezug auf eine oder Mehrere Strukturen auf einem Substrat
Optik & Fototechnik
22.01.2020
Lagervorrichtung, Magnetschwerkraftkompensator, Vibrationsisolationssystem, Lithografische Vorrichtung, Verfahren zur Steuerung eines Schwerkraftkompensators mit Negativer Steifigkeit und Feder
Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik
15.01.2020
Modul zur Schwingungsisolierung und Substratverarbeitungssystem
Optik & Fototechnik
15.01.2020
Vorbereitungseinheit für eine Lithographiemaschine
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.01.2020
Ladungsträgersystem enthaltend eine Manipulatorvorrichtung zum Manipulieren eines oder mehrerer Bündel Geladener Teilchen
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
15.01.2020
Verdeckte Fehlererkennung und Epe-Schätzung auf Basis der Extrahierten 3D-Informationen aus E-Beam-Bildern
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
15.01.2020
Verfahren zum Kennzeichnen von Substraten basierend auf Prozessparametern
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
01.01.2020
Immersionslithographievorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
01.01.2020
Substrathalter, Lithografische Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von Vorrichtungen
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.01.2020
Substrattisch, Lithografische Vorrichtung und Verfahren zum Betrieb einer Lithografischen Vorrichtung
Optik & Fototechnik
01.01.2020
Abstimmungsstrukturierungsvorrichtung basierend auf einer Optischen Eigenschaft
Optik & Fototechnik
01.01.2020
Verfahren zur Durchführung eines Herstellungsprozesses und Zugehörige Vorrichtungen
Optik & Fototechnik
25.12.2019
Verfahren zur Steuerung einer Fertigungsvorrichtung und Zugehörige Vorrichtungen
Optik & Fototechnik
18.12.2019
Bestimmung von Signifikanten Beziehungen zwischen Parametern, die den Betrieb einer Vorrichtung Beschreiben
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
18.12.2019
Reflektor und Verfahren zur Herstellung eines Reflektors
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
11.12.2019
Belichtungsvorrichtung
Optik & Fototechnik
11.12.2019
Metrologievorrichtung und Verfahren zur Bestimmung einer Eigenschaft einer oder mehrerer Strukturen auf einem Substrat
Optik & Fototechnik
11.12.2019
Erstellung eines Stichprobenplans
Optik & Fototechnik
11.12.2019
Lithografisches Verfahren
Optik & Fototechnik
04.12.2019
Teilchenstrahlvorrichtung
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.12.2019
Elektronenstrahlvorrichtung, Prüfwerkzeug und Prüfverfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.12.2019
Metrologieverfahren, Vorrichtung und Computerprogramm
Optik & Fototechnik
04.12.2019
Messvorrichtung und Verfahren zur Messung eines Ziels
Optik & Fototechnik
27.11.2019
Positioniersystem für eine Trägerplatte und Lithographischer Apparat
Optik & Fototechnik
27.11.2019
Bandbreitenberechnungssystem und Verfahren zum Bestimmen einer Gewünschten Wellenlängenbandbreite für einen Messstrahl in einem Markierungserfassungssystem
Optik & Fototechnik

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