ASML Logo

ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

Patente durchsuchen

5.380 gesamt
Patent
28.06.2023
Verfahren und Computerprogramm zur Ausrichtungsbestimmung
EP4202970
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.06.2023
Optical system and method for a radiation source
WO2023111364
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
22.06.2023
Detector inspection device, detector assembly, detector array, apparatus, and method
WO2023110444
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Nachrichtentechnik & Telekommunikation
22.06.2023
Charged-particle optical apparatus and projection method
WO2023110331
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.06.2023
Systems and methods for optimizing lithographic design variables using image-based failure rate model
WO2023110347
Optik & Fototechnik
22.06.2023
Method and system for preventing degradation of a material of an optical component for euv-lithography
WO2023110313
Optik & Fototechnik
22.06.2023
Machine learning model for asymmetry-induced overlay error correction
WO2023110318
Optik & Fototechnik
22.06.2023
Apparatus for recovery of euv target material
WO2023110321
Elektronik & Schaltungstechnik
22.06.2023
A framework for condition tuning and image processing for metrology applications
WO2023110291
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
22.06.2023
Auto parameter tuning for charged particle inspection image alignment
WO2023110292
Optik & Fototechnik
22.06.2023
Method and system of defect detection for inspection sample based on machine learning model
WO2023110285
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
22.06.2023
Charged particle assessment system
WO2023110244
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.06.2023
Magnetische Linse und Erregerstromsteuerungsverfahren
EP3357079
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.06.2023
Substrathalter und Lithografisches Gerät
EP4018262
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.06.2023
Verfahren und Vorrichtung zur Berechnung einer Reparaturdosis für ein Belichtungsfeld eines mit einem Lithographischen Gerät Belichteten Substrats
EP4198631
Optik & Fototechnik
21.06.2023
Detektorinspektionsvorrichtung, Detektoranordnung, Detektorarray, Einrichtung und Verfahren
EP4199032
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Nachrichtentechnik & Telekommunikation
21.06.2023
Ladungsteilcheneinrichtung, Mehrfachvorrichtungseinrichtung, Verfahren zur Verwendung einer Ladungsteilcheneinrichtung und Steuerungsverfahren
EP4199027
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.06.2023
Optische Ladungsteilchenvorrichtung und Projektionsverfahren
EP4199031
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.06.2023
Verfahren zum Bearbeiten einer Probe mittels einer Teilchenstrahlvorrichtung zur Bewertung
EP4199033
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.06.2023
Vorrichtung für Geladene Teilchen, Gerät zur Bewertung Geladener Teilchen, Messverfahren und Überwachungsverfahren
EP4199028
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.06.2023
Verfahren und Vorrichtung zur Identifizierung von Verunreinigungen in einem Halbleiter-Fab
EP4196851
Optik & Fototechnik
15.06.2023
Target Asymmetry Measurement For Substrate Alignment in Lithography Systems
WO2023104469
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
14.06.2023
Lasertriangulationsvorrichtung und Kalibrierverfahren
EP3861279
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
14.06.2023
Systeme und Verfahren zur Reduzierung der Musterverschiebung in einer Lithografievorrichtung
EP4194950
Optik & Fototechnik
14.06.2023
Optisches Element
EP4194937
Optik & Fototechnik
14.06.2023
Blende und Verfahren
EP4194908
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
14.06.2023
Identifizierung von Abweichenden Modulen aus einer Referenzpopulation für die Maschinendiagnose
EP4194951
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
14.06.2023
Verfahren zur Bestimmung eines Messrezepts und Zugehörige Vorrichtungen
EP4194952
Optik & Fototechnik
08.06.2023
Metrology calibration method
WO2023099174
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
08.06.2023
Beam Position Displacement Correction in Charged Particle Inspection
WO2023099104
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.06.2023
Verfahren zur Überwachung eines Lithographischen Verfahrens und Zugehörige Vorrichtungen
EP4191337
Optik & Fototechnik
07.06.2023
Metrologisches Kalibrierverfahren
EP4191338
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
01.06.2023
Obtaining A Parameter Characterizing A Fabrication Process
WO2023094129
Optik & Fototechnik
01.06.2023
Systems and structures for venting and flow conditioning operations in inspection systems
WO2023094113
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
01.06.2023
An optical device, illumination system, projection system, euv radiation source, lithographic apparatus, deposition of contamination preventing method, and optical component refurbishing method
WO2023094084
Optik & Fototechnik
31.05.2023
Vorrichtung zur Detektion Geladener Teilchen
EP3580773
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.05.2023
Metrologisches Verfahren und Zugehöriges Metrologisches Werkzeug
EP4187321
Optik & Fototechnik
31.05.2023
Mehrachsige Magnetische Linse
EP3244419
Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.05.2023
Membran für Euv-Lithografie
EP3449312
Optik & Fototechnik
25.05.2023
A liquid target material supplying apparatus, fuel emitter, radiation source, lithographic apparatus, and liquid target material supplying method
WO2023089080
Elektronik & Schaltungstechnik

Wer vertritt ASML?

Die Kanzleien und Patentanwälte, die ASML vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.

Zum Anmelder-Profil

Technologiefelder

Optik & Fototechnik
4.274
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
1.232
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
615
Elektronik & Schaltungstechnik
366
Software & Datenverarbeitung
277
Elektrische Energietechnik
171
Steuerungs- & Regelungstechnik
92
Maschinenelemente & Fluidtechnik
67
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
60
Verfahrens- & Trenntechnik
55
Anorganische Chemie & Werkstoffe
39
Metallurgie & Oberflächentechnik
35

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen