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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
13.07.2023
Software, methods, and systems for determination of a local focus point
WO2023131570
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
13.07.2023
Hierarchical anomaly detection and data representation method to identify system level degradation
WO2023131485
Steuerungs- & Regelungstechnik Software & Datenverarbeitung
13.07.2023
Method and computer program for grouping pattern features of a substantially irregular pattern layout
WO2023131476
Optik & Fototechnik
12.07.2023
Verfahren zur Optimierung eines Prozessfensters
EP3105636
Optik & Fototechnik
12.07.2023
Membran für die Membran einer Lithographischen Vorrichtung
EP4208755
Optik & Fototechnik
12.07.2023
Hierarchisches Anomalieerkennungs- und Datenrepräsentationsverfahren zur Identifizierung von Degradation auf Systemebene
EP4209846
Steuerungs- & Regelungstechnik Software & Datenverarbeitung
12.07.2023
Optische Vorrichtung
EP4209840
Optik & Fototechnik
06.07.2023
Debris Mitigation in an Extreme Ultraviolet Light Source
WO2023126105
Elektronik & Schaltungstechnik
06.07.2023
Element Of an Afm Tool
WO2023126300
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
06.07.2023
Enhanced alignment for a photolithographic apparatus
WO2023126174
Optik & Fototechnik
06.07.2023
An optical system implemented in a system for fast optical inspection of targets
WO2023126173
Optik & Fototechnik
06.07.2023
Method of patterning a target layer, apparatus for patterning a target layer
WO2023126124
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.07.2023
Object holder, lithographic apparatus comprising such object holder and methods for an object holder
WO2023126112
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.07.2023
Laser beam steering system and method
WO2023126106
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.07.2023
Verfahren zur Bestimmung eines Abtastschemas, Halbleitersubstratmessvorrichtung, Lithografische Vorrichtung
EP3973358
Optik & Fototechnik
05.07.2023
Verfahren zur Strukturierung einer Zielschicht, Vorrichtung zur Strukturierung einer Zielschicht
EP4206823
Optik & Fototechnik
05.07.2023
Objekthalter, Lithographische Vorrichtung mit einem Solchen Objekthalter und Verfahren für einen Objekthalter
EP4206822
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.07.2023
Kompaktes Zweidurchgangsinterferometer für ein Planspiegelinterferometer
EP4204758
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
29.06.2023
Waveguides and manufacturing methods thereof
WO2023117284
Optik & Fototechnik
29.06.2023
Systems and methods for generating multiple illumination spots from a single illumination source
WO2023117611
Optik & Fototechnik
29.06.2023
Generating an Alignment Signal Without Dedicated Alignment Structures
WO2023117610
Optik & Fototechnik
29.06.2023
Vessel for a radiation source
WO2023117206
Elektronik & Schaltungstechnik
29.06.2023
Liquid Metal Supply Assembly
WO2023117202
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Elektronik & Schaltungstechnik
29.06.2023
Method of reducing cyclic error effects in a lithographic process, projection system and lithographic apparatus comprising a projection system
WO2023117399
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
29.06.2023
Purge Gas Supply
WO2023117432
Optik & Fototechnik
29.06.2023
Substrate comprising a target arrangement, associated patterning device and metrology method
WO2023117314
Optik & Fototechnik
29.06.2023
Method and apparatus for lithographic imaging
WO2023117263
Optik & Fototechnik
29.06.2023
Electron-optical device, method of compensating for variations in a property of sub-beams
WO2023117277
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.06.2023
Target supply control apparatus and method in an extreme ultraviolet light source
WO2023117256
Elektronik & Schaltungstechnik
29.06.2023
Charged particle device, charged particle assessment apparatus, measuring method, and monitoring method
WO2023117266
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.06.2023
An assembly for a laser-operated light source and method of use
WO2023117265
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.06.2023
Detektormodul mit Leiterplatte zum Abdichten einer Vakuumkammer
EP4200890
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
28.06.2023
Substrat mit einer Zielanordnung, Assoziierte Strukturierungsvorrichtung, Lithographisches Verfahren und Messverfahren
EP4202550
Optik & Fototechnik
28.06.2023
Membran für Euv-Lithographie
EP4202545
Optik & Fototechnik
28.06.2023
Flüssigmetallzuführanordnung
EP4202447
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
28.06.2023
Gefäss für eine Strahlungsquelle
EP4203626
Elektronik & Schaltungstechnik
28.06.2023
Verfahren und Computerprogramm zur Ausrichtungsbestimmung
EP4202970
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.06.2023
Verfahren zur Bestimmung einer Mechanischen Eigenschaft einer auf einem Substrat Aufgebrachten Schicht und Zugehörige Vorrichtungen
EP4202551
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.06.2023
Elektronenoptische Vorrichtung mit Kompensation von Eigenschaftsschwankungen von Teilstrahlen
EP4202969
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.06.2023
Vorrichtung zur Verarbeitung einer Retikel- und Pellikelanordnung
EP4200670
Optik & Fototechnik

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