ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336

Patente

2000–2026

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
03.01.2019	03.01.2019 Metrology parameter determination and metrology recipe selection WO2019002003 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.06.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.01.2019	02.01.2019 Lichtleitwertregelvorrichtung für einen gepulsten Strahl EP2204695 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.11.2009 Erteilt am 02.01.2019 Vertretung Maas, Abraham Johannes · Veldhoven Raukema, Age · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.01.2019	02.01.2019 Verfahren und Strukturierungsvorrichtungen sowie Vorrichtungen zur Messung der Fokusleistung einer Lithografievorrichtung, Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung EP3422102 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.06.2017 Anhängig Vertretung Peters, John Antoine · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.01.2019	02.01.2019 Verfahren zur Bestimmung eines Güteparameters eines Prozesses EP3422103 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.06.2017 Anhängig Vertretung Broeken, Petrus Henricus Johannes · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.01.2019	02.01.2019 Metrologieparameterbestimmung und Metrologierezeptauswahl EP3422105 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.06.2017 Anhängig Vertretung Broeken, Petrus Henricus Johannes · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.12.2018	27.12.2018 Methods and apparatus for optical metrology WO2018233946 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.05.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.12.2018	27.12.2018 Sensor, lithographic apparatus, and device manufacturing method WO2018233929 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.05.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.12.2018	27.12.2018 Determining Edge Roughness Parameters WO2018233947 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.05.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.12.2018	27.12.2018 Method and apparatus for detecting substrate surface variations WO2018233951 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.05.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.12.2018	27.12.2018 Radiation source module and lithographic apparatus WO2018234061 Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.06.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.12.2018	27.12.2018 Supply system for an extreme ultraviolet light source WO2018234260 Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.06.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.12.2018	26.12.2018 Phasenvorrichtung zur Verwendung in einer Lithografischen Vorrichtung EP3385792 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.04.2018 Anhängig Vertretung Ras, Michael Adrianus Josephus · Veldhoven Zusammenfassung The invention provides a stage apparatus (101) for use in a lithographic apparatus, the stage apparatus comprising an object support (102) comprising a surface for mounting an object (105a) on, the surface extending in a plane, and a plurality of support members (103) for supporting the object, arranged to receive the object from a gripper (104) and to arrange the object on the surface and/or vice versa. The support members are moveable in at least a first direction which is perpendicular to the plane. The stage apparatus comprises a control unit comprising an input terminal for receiving shape information regarding an out-of-plane-shape of the object, and a processing unit configured to determine, based on said shape information, a supporting arrangement relating to positions of the support members relative to each other in at least the first direction. The control unit is configured to control the positions of the support members based on the supporting arrangement. Alle Patent-Informationen
26.12.2018	26.12.2018 Verfahren und Vorrichtung für Optische Metrologie EP3418806 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.06.2017 Anhängig Vertretung Broeken, Petrus Henricus Johannes · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.12.2018	20.12.2018 Device manufacturing methods WO2018228750 Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.05.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.12.2018	20.12.2018 Lithographic apparatus and method WO2018228820 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.05.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.12.2018	19.12.2018 Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung EP3415988 Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.06.2017 Anhängig Vertretung Peters, John Antoine · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.12.2018	13.12.2018 Method of unloading an object from a support table WO2018224218 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.05.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.12.2018	13.12.2018 Alignment measurement system WO2018224251 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.05.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.12.2018	13.12.2018 A system for cleaning a substrate support, a method of removing matter from a substrate support, and a lithographic apparatus WO2018224303 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.05.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.12.2018	13.12.2018 System and method for measurement of alignment WO2018224293 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.05.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.12.2018	13.12.2018 Measurement method and apparatus WO2018224349 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.05.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.12.2018	06.12.2018 Particle removal apparatus and associated system WO2018219509 Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.03.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.12.2018	06.12.2018 Lithographic apparatus WO2018219569 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.05.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.12.2018	06.12.2018 Patterning device WO2018219572 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.05.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.12.2018	06.12.2018 Radiation Source WO2018219578 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.05.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.12.2018	06.12.2018 Metrology apparatus WO2018219639 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.05.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.12.2018	06.12.2018 Methods and apparatus for predicting performance of a measurement method, measurement method and apparatus WO2018219585 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.05.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.12.2018	05.12.2018 Verfahren und Vorrichtung zur Vorhersage der Leistung eines Messverfahrens, Messverfahren und Vorrichtung EP3410211 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.05.2017 Anhängig Vertretung Broeken, Petrus Henricus Johannes · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.12.2018	05.12.2018 Metrologiesystem EP3410212 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.06.2017 Anhängig Vertretung Broeken, Petrus Henricus Johannes · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.11.2018	29.11.2018 Setpoint generator, lithographic apparatus, lithographic apparatus operating method, and device manufacturing method WO2018215140 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.04.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.11.2018	29.11.2018 Control system, method to increase a bandwidth of a control system, and lithographic apparatus WO2018215153 Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.04.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.11.2018	29.11.2018 Substrates and methods of using those substrates WO2018215172 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.05.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.11.2018	29.11.2018 Assist feature placement based on machine learning WO2018215188 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.05.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.11.2018	29.11.2018 Method of measuring a parameter of interest, inspection apparatus, lithographic system and device manufacturing method WO2018215177 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.05.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.11.2018	22.11.2018 Metrology sensor, lithographic apparatus and method for manufacturing devices WO2018210505 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.04.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.11.2018	22.11.2018 Method of measuring a target, metrology apparatus, lithographic cell, and target WO2018210557 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.05.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.11.2018	22.11.2018 Transport system having a magnetically levitated transportation stage WO2018213825 Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.05.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.11.2018	21.11.2018 Verfahren zur Messung eines Ziels, Metrologievorrichtung, Lithographiezelle und Ziel EP3404488 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.05.2017 Anhängig Vertretung Broeken, Petrus Henricus Johannes · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.11.2018	15.11.2018 Metrology sensor, lithographic apparatus and method for manufacturing devices WO2018206177 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.03.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.11.2018	15.11.2018 Method of determining a focus of a projection system, device manufacturing method, and apparatus for determining a focus of a projection system WO2018206199 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.04.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen