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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
25.05.2023
A liquid target material supplying apparatus, fuel emitter, radiation source, lithographic apparatus, and liquid target material supplying method
WO2023089080
Elektronik & Schaltungstechnik
25.05.2023
Simulation model stability determination method
WO2023088641
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
25.05.2023
A valve system, liquid target material supply apparatus, fuel emitter, radiation source, lithographic apparatus and flow regulating method
WO2023088646
Elektronik & Schaltungstechnik
25.05.2023
Systems and methods for defect detection and defect location identification in a charged particle system
WO2023088623
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.05.2023
Verfahren und Vorrichtung für die Metrologie
EP4184426
Software & Datenverarbeitung
24.05.2023
Erlangung eines einen Herstellungsprozess Charakterisierenden Parameters
EP4184250
Optik & Fototechnik
24.05.2023
Verfahren zur Klassifizierung von Halbleiterscheiben
EP4182967
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
24.05.2023
Verfahren zur Bestimmung einer Korrekturstrategie in einem Halbleiterherstellungsverfahren und Zugehörige Vorrichtungen
EP4182758
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
24.05.2023
Vorrichtung zum Schutz von Flüssigkeitsleitungen in einer Euv-Quelle
EP4182587
Maschinenelemente & Fluidtechnik Elektronik & Schaltungstechnik
24.05.2023
Emitter zur Emission Geladener Teilchen
EP4182960
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.05.2023
Generating Augmented Data To Train Machine Learning Models To Preserve Physical Trends
WO2023084063
Optik & Fototechnik
19.05.2023
Charged particle assessment system and method
WO2023083545
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.05.2023
Method and system of image analysis and critical dimension matching for charged-particle inspection apparatus
WO2023083559
Software & Datenverarbeitung
19.05.2023
Aligning A Distorted Image
WO2023083560
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.05.2023
Latent space synchronization of machine learning models for in device metrology inference
WO2023083564
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
19.05.2023
Valves with reduced particle generation and increased cycle life
WO2023083574
Maschinenelemente & Fluidtechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.05.2023
Utility stage for photolithographic apparatus and method
WO2023083582
Optik & Fototechnik
19.05.2023
Method and system of reducing chamber vibration
WO2023083573
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.05.2023
Latente Raumsynchronisierung von Maschinenlernmodellen für Metrologie-Inferenz in Vorrichtungen
EP4181018
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
17.05.2023
Modensteuerung von Photonischen Kristallfaserbasierten Breitbandigen Lichtquellen
EP3786703
Optik & Fototechnik
17.05.2023
System und Verfahren zur Untersuchung mittels Geladener Partikel
EP4181167
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.05.2023
Ausrichtung eines Verzerrten Bildes
EP4181168
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.05.2023
Mehrachsige Magnetische Immersionsobjektivlinse
EP3232444
Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.05.2023
Wafer edge inspection of charged particle inspection system
WO2023078628
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.05.2023
Detektorsubstrat zur Verwendung in einem Mehrstrahl-Bewertungswerkzeug für Geladene Teilchen
EP4176467
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.05.2023
Optische Metrologie von Lithographischen Prozessen mit Asymmetrischen Subauflösungsmerkmalen zur Verbesserung der Messung
EP3391150
Optik & Fototechnik
10.05.2023
Mehrstrahlsäule für Geladene Teilchen, Mehrstrahlsäulenanordnung für Geladene Teilchen, Inspektionsverfahren
EP4176460
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.05.2023
Verfahren zur Thermomechanischen Steuerung eines Wärmeempfindlichen Elements und Vorrichtung zur Verwendung in einem Lithographischen Herstellungsverfahren
EP4176313
Optik & Fototechnik
04.05.2023
Methods and systems to calibrate reticle thermal effects
WO2023072603
Optik & Fototechnik
04.05.2023
Inspection apparatus, polarization-maintaining rotatable beam displacer, and method
WO2023072880
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
04.05.2023
Metrology apparatus and metrology methods based on high harmonic generation from a diffractive structure
WO2023072573
Optik & Fototechnik
03.05.2023
Verfahren zur Bestimmung einer Leistungsparameterverteilung
EP4174577
Optik & Fototechnik
03.05.2023
Verfahren zur Bestimmung der Leistungsbeiträge von Merkmalen
EP3994525
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
03.05.2023
Breitbandstrahlungsgenerator mit Hohlkern auf der Basis von Photonischen Kristallfasern
EP4174567
Optik & Fototechnik
03.05.2023
Breitbandstrahlungsgenerator mit Hohlkern auf der Basis von Photonischen Kristallfasern
EP4174568
Optik & Fototechnik
03.05.2023
Klammer zum Halten eines Gegenstandes und Verfahren
EP4174576
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.04.2023
Pattern matching method
WO2023066657
Optik & Fototechnik
27.04.2023
Out-of-band leakage correction method and metrology apparatus
WO2023066617
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
27.04.2023
Fuel Droplet Nozzle Assembly
WO2023066650
Elektronik & Schaltungstechnik
26.04.2023
Endfacettenschutz für eine Lichtquelle und Verfahren zur Verwendung in Metrologieanwendungen
EP3786701
Optik & Fototechnik

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