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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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3.336 gesamt
Patent
20.10.2004
Lithographischer Projektionsapparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1469347 Optik & Fototechnik
20.10.2004
Lithographischer Gerät und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1431830 Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
20.10.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1469351 Optik & Fototechnik
13.10.2004
Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung und Photomaskensatz zur Durchführung des Verfahrens
EP1467252 Optik & Fototechnik
13.10.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1467253 Optik & Fototechnik
13.10.2004
Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung und Photomaskensatz zur Durchführung des Verfahrens
EP1467256 Optik & Fototechnik
13.10.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1467254 Optik & Fototechnik
13.10.2004
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung und Computerprogramm
EP1467255 Optik & Fototechnik
06.10.2004
Vorrichtung zur Übertragung eines Objekts, Verfahren zur deren Verwendung und lithographischer Belichtungsapparat diese Übertragungsvorrichtung enthaltend
EP1465011 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Optik & Fototechnik
06.10.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1465015 Optik & Fototechnik
15.09.2004
Substrathandhabungsvorrichtung zur Verwendung in lithographischen Projektionsapparaten
EP1052546 Optik & Fototechnik erteilt
15.09.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer integrierten Schaltungsanordnung
EP1209526 Optik & Fototechnik erteilt
15.09.2004
Lithographischer Projektionsapparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1457824 Optik & Fototechnik
15.09.2004
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und damit erzeugter Artikel
EP1457825 Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
15.09.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
EP1457826 Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
15.09.2004
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und damit erzeugter Artikel
EP1457827 Optik & Fototechnik
15.09.2004
Verfahren und Vorrichtung zur Wartung eines Maschinenteils
EP1457831 Optik & Fototechnik
15.09.2004
Lithographische Projektionsanordnung, Gerät und Verfahren zur Substrathandhabung
EP1457829 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.09.2004
Lithographische Projektionsanordnung, Schleuseneinrichtung und Verfahren zur Übertragung von Gegenständen
EP1457832 Optik & Fototechnik
08.09.2004
Vorrichtung und Verfahren zur Manipulation und Lenkung eines Messstrahls
EP1455204 Optik & Fototechnik
01.09.2004
Strukturen und Verfahren zur Verringerung der Aberration in Optischen Systemen
EP1451619 Optik & Fototechnik
01.09.2004
Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Oberflächenkontamination eines Teils eines Lithographischen Apparatus
EP1452851 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
18.08.2004
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und damit hergestellter Artikel
EP1160627 Optik & Fototechnik
11.08.2004
Apparat und Verfahren für Lithographie
EP1091252 Optik & Fototechnik
28.07.2004
Kühlung von linearen Schwingmotoren in lithographischen Projektionsapparaten
EP1124160 Optik & Fototechnik
21.07.2004
Detektoranordnung und mit einer solchen Detektoranordnung ausgestatteter lithographischer Apparat
EP1439424 Optik & Fototechnik
21.07.2004
Lithographischer Belichtungsapparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1439425 Optik & Fototechnik
30.06.2004
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und damit erzeugter Artikel
EP1434092 Optik & Fototechnik
30.06.2004
Behälter für eine Maske
EP1434094 Optik & Fototechnik
30.06.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
EP1434096 Optik & Fototechnik
30.06.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1434095 Optik & Fototechnik
30.06.2004
Lithographischer Apparat
EP1434100 Optik & Fototechnik
23.06.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1431832 Optik & Fototechnik
23.06.2004
Lithographisches Gerät, Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung, und diese Vorrichtung
EP1431824 Optik & Fototechnik
23.06.2004
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung und Substrathalter
EP1431825 Optik & Fototechnik
23.06.2004
Lithographisches Gerät, Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung, und diese Vorrichtung
EP1431827 Optik & Fototechnik
23.06.2004
Verfahren zur Reinigung einer Oberfläche einer Komponente eines lithographischen Projektionsaparats, lithographischer Projektionsapparat, Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung und Reinigungssystem
EP1431828 Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
23.06.2004
Lithographischer Projektionsapparat
EP1431829 Optik & Fototechnik
09.06.2004
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und damit hergestellter Artikel
EP1426824 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
09.06.2004
Lithgraphischer Apparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikel und damit erzeugter Artikel
EP1426823 Optik & Fototechnik

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