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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
29.08.2019
Deep learning for semantic segmentation of pattern
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
29.08.2019
Method for determining a corrected dimensional parameter value relating to a feature formed by a lithographic process and associated apparatuses
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
29.08.2019
Guided patterning device inspection
Optik & Fototechnik
29.08.2019
Methods for training machine learning model for computation lithography
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
29.08.2019
Systems and methods for improving resist model predictions
Optik & Fototechnik
28.08.2019
Vorrichtung zum Bewegen eines Objekts in Und/oder aus einem Gehäuse
Optik & Fototechnik
28.08.2019
Steuerung basierend auf der Wahrscheinlichkeitsdichtefunktion eines Parameters
Optik & Fototechnik
28.08.2019
Systeme und Verfahren zur Verbesserung von Resistmodellvorhersagen
Optik & Fototechnik
28.08.2019
Metrologievorrichtung und Verfahren zum Bestimmen einer Eigenschaft einer oder mehrerer Strukturen auf einem Substrat
Optik & Fototechnik
28.08.2019
Ausrichtungsmarkierungspositionierung in einem Lithographischen Prozess
Optik & Fototechnik
22.08.2019
Apparatus incorporating a gas lock
Optik & Fototechnik
22.08.2019
Method and apparatus for measuring a parameter of interest using image plane detection techniques
Optik & Fototechnik
22.08.2019
Substrate positioning device and electron beam inspection tool
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.08.2019
Apparatus for and method of in-situ particle removal in a lithography apparatus
Optik & Fototechnik
22.08.2019
Binarization method and freeform mask optimization flow
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
22.08.2019
Cleaning A Structure Surface in an Euv Chamber
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
21.08.2019
Verfahren für Lpp-Gesteuerte Laserausgabe Während Nicht-Ultraviolettstrahlungs-Perioden
Elektronik & Schaltungstechnik
21.08.2019
Haltevorrichtung, Lithographievorrichtung und Verfahren zur Verwendung der Haltevorrichtung
Optik & Fototechnik
21.08.2019
Verfahren und Vorrichtung zum Messen eines Interessierenden Parameters mit Bildebenenerfassungstechniken
Optik & Fototechnik
21.08.2019
Metrologische Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung einer Interessierenden Charakteristik einer Struktur auf einem Substrat
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
21.08.2019
Metrologieverfahren und -Vorrichtung mit Erhöhter Bandbreite
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
15.08.2019
System, device and method for reconditioning a substrate support
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Optik & Fototechnik
14.08.2019
Verfahren zur Bestimmung des Beitrags zu einem Fingerabdruck
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
08.08.2019
A measurement apparatus and a method for determining a substrate grid
Optik & Fototechnik
08.08.2019
Two-Dimensional Diffraction Grating
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
08.08.2019
Inspection apparatus and inspection method
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
08.08.2019
Method and apparatus for determining optical aberrations
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
08.08.2019
Method of optimizing a metrology process
Optik & Fototechnik
08.08.2019
Method of determining an optimal focus height for a metrology apparatus
Optik & Fototechnik
08.08.2019
Method of patterning at least a layer of a semiconductor device
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.08.2019
Elektrostatische Klemme, Lithografievorrichtung und -Verfahren
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.08.2019
Positionskodierer, Positionsmesssystem und Lithografische Vorrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
07.08.2019
Trägervorrichtung, Lithografievorrichtung und Vorrichtungsherstellungsverfahren
Optik & Fototechnik
07.08.2019
Verfahren zur Bestimmung einer Optimalen Fokushöhe für eine Metrologievorrichtung
Optik & Fototechnik
07.08.2019
Verfahren zur Optimierung eines Metrologieverfahrens
Optik & Fototechnik
01.08.2019
Apparatus and methods for determining the position of a target structure on a substrate
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
01.08.2019
Pre-scan feature determination methods and systems
Optik & Fototechnik
31.07.2019
Flüssigkeitshandhabungsstruktur, lithografische Vorrichtung und Vorrichtungsherstellungsverfahren
Optik & Fototechnik
31.07.2019
Messvorrichtung und Verfahren zur Bestimmung eines Substratgitters
Optik & Fototechnik
31.07.2019
Inspektionsvorrichtung und Inspektionsverfahren
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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