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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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3.336 gesamt
Patent
05.01.2005
Lithographischer Apparat mit Spülgassystem
EP1447716 Optik & Fototechnik
05.01.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1494078 Optik & Fototechnik
29.12.2004
Heizungsanlage und Verfahren zur Heizung für einen Reaktor
EP1256973 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente erteilt
29.12.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1491955 Optik & Fototechnik
29.12.2004
Dichtungsanordnung, lithographischer Projektionsapparat, und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1491954 Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik
29.12.2004
Verfahren und Vorrichtung zur Positionierung eines Substrats auf einem Substrattisch
EP1491967 Optik & Fototechnik
29.12.2004
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und damit erzeugter Artikel
EP1491953 Optik & Fototechnik
29.12.2004
Biosensor und Methode zur Herstellung
EP1491884 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
29.12.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1491959 Optik & Fototechnik
29.12.2004
Eichverfahren für einen lithographischen Apparat
EP1491966 Optik & Fototechnik
29.12.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1491965 Optik & Fototechnik
29.12.2004
Lithographic apparatus, device manufacturing method, and device manufactured thereby
WO2004114018 Optik & Fototechnik
22.12.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1489461 Optik & Fototechnik
22.12.2004
Räumlicher Lichtmodulator
EP1489449 Optik & Fototechnik
22.12.2004
Tragstruktur zur Verwending in einem lithographischen Gerät
EP1465012 Optik & Fototechnik
15.12.2004
Bewegliches Trägersystem für einen lithographischen Belichtungsapparat, lithographischer Belichtungssapparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1486824 Optik & Fototechnik
15.12.2004
Stützvorrichtung, lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung eines Artikels, das eine Stützvorrichtung und ein Positionskontrollsystem zur Verwendung in einer Stützvorrichtung verwendet
EP1486825 Optik & Fototechnik
15.12.2004
Kalibrationsverfahren, Kalibrationssubstrate, lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung von Artikeln
EP1341046 Optik & Fototechnik
15.12.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1403712 Optik & Fototechnik
01.12.2004
Lithographischer Apparat
EP1482363 Optik & Fototechnik
01.12.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
EP1482373 Optik & Fototechnik
01.12.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1480083 Optik & Fototechnik
01.12.2004
Verfahren zur Kalibrierung eines lithographischen Apparates
EP1482371 Optik & Fototechnik
24.11.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1480080 Optik & Fototechnik
24.11.2004
Lithographischer Projektionsapparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1480084 Optik & Fototechnik
24.11.2004
Methode zum Beschichten eines Substrats für die EUV-Lithographie, sowie Substrat mit Fotoresistschicht
EP1480078 Optik & Fototechnik
24.11.2004
Steuerungssystem, lithographisches Gerät, Verfahren zur Herstellung eines Gerätes und hiermit hergestelltes Gerät
EP1480093 Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
24.11.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1480086 Optik & Fototechnik
17.11.2004
Zur Herstellung eines mikroelektronischen Elements geeignete Struktur einer lithographischen Marke
EP1477860 Optik & Fototechnik
17.11.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
EP1477850 Optik & Fototechnik
17.11.2004
Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung und lithographischer Apparat
EP1477851 Optik & Fototechnik
17.11.2004
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und dabei hergestellter Artikel
EP1477852 Optik & Fototechnik
17.11.2004
Verfahren zur Eichung eines lithographischen Geräts, Ausrichtverfahren, Komputerprogramm, lithographisches Gerät und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1477861 Optik & Fototechnik
17.11.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1477856 Optik & Fototechnik
17.11.2004
Verfahren zum Charakterisieren eines Verfahrensschritts und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1477857 Optik & Fototechnik
10.11.2004
Substrathalter für einen lithographischen Apparat
EP1475666 Optik & Fototechnik
10.11.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1475667 Optik & Fototechnik
10.11.2004
Verfahren zur Herstellung von Komponenten für einen lithographischen Apparat
EP1475668 Optik & Fototechnik
10.11.2004
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und damit erzeugter Artikel
EP1475669 Optik & Fototechnik
27.10.2004
Lithographisches Verfahren, sowie damit hergestelltes Gerät
EP1471386 Optik & Fototechnik

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