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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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3.336 gesamt
Patent
09.06.2004
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und damit hergestellter Artikel
EP1426827 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
19.05.2004
Lithographischer Apparat
EP1174770 Optik & Fototechnik
19.05.2004
Anordnung und System zur Verbesserung der Abbildungsgenauigkeit einer Phasenverschiebungsmaske und verwandte Verfahren
EP1343050 Optik & Fototechnik
19.05.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1420302 Optik & Fototechnik
19.05.2004
Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung mit rückwärtigen Ausrichtmarken
EP1420449 Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.05.2004
Lithographischer Projektionsapparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1416329 Optik & Fototechnik
21.04.2004
Lithographischer Apparat mit Vakuumkammer und interferometrischem Ausrichtungssystem
EP1111473 Optik & Fototechnik
15.04.2004
Beleuchtungssystem F R eine Wellenl Nge = 193 Nm mit Sensoren zur Bestimmung der Ausleuchtung
WO2004031854 Optik & Fototechnik
07.04.2004
Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1406126 Optik & Fototechnik
07.04.2004
Strahlungsquelle, lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1406124 Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Optik & Fototechnik
31.03.2004
Hilfsmuster für lithographisches Belichtungsverfahren
EP1174764 Optik & Fototechnik erteilt
31.03.2004
System und Verfahren zur Anwendung einer zweiteiligen Abdeckung zum Schutz einer Fotomaske
EP1341042 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.03.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1403713 Optik & Fototechnik
17.03.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1398669 Optik & Fototechnik
03.03.2004
Beleuchtungssystem mit einer Vielzahl von Einzelgittern
EP1393134 Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
28.01.2004
Belichtungsgerät für die EUV-Lithographie mit einem eine selbstausrichtende Monoschicht enthaltendem optischen Element, optisches Element mit selbstausrichtender Monoschicht, Methode zum Aufbringen einer solchen Schicht und Verfahren zur Erzeugung eines Geräts
EP1385051 Optik & Fototechnik
28.01.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1385058 Optik & Fototechnik
21.01.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1383007 Optik & Fototechnik
14.01.2004
Substrathalter und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1380898 Optik & Fototechnik
07.01.2004
Lithographischer Projektionsapparat mit einer temperaturgeregelten Wärmeabschirmung
EP1124161 Optik & Fototechnik
17.12.2003
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1372036 Optik & Fototechnik
10.12.2003
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1369744 Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
03.12.2003
Lithographischer Apparat
EP1367446 Optik & Fototechnik
12.11.2003
Ausseraxiale Nivellierung in einem lithographischen Projektionsapparat
EP1037117 Optik & Fototechnik
05.11.2003
Halter, lithographischer Projektionsapparat, Verfahren zur Herstellung eines Halters und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1359466 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.10.2003
Lithographisches Gerät und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1357429 Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
29.10.2003
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1357435 Optik & Fototechnik
29.10.2003
Lithographisches Gerät und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1357434 Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
15.10.2003
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und dabei hergesteller Artikel
EP1353229 Optik & Fototechnik
15.10.2003
Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung und Rechnerprogramme
EP1353230 Optik & Fototechnik
15.10.2003
Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung, diese Vorrichtung und Rechnerprogramm
EP1353234 Optik & Fototechnik
01.10.2003
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1349008 Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
17.09.2003
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1345084 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
10.09.2003
Beleuchtungssystem für Extrem-Ultraviolett-Strahlung und dessen Anwendung in einem lithographischen Apparat
EP1037113 Optik & Fototechnik
03.09.2003
Verfahren zur Übergabe einer Maske oder eines Substrats
EP1341045 Optik & Fototechnik
27.08.2003
Isolierende Stützvorrichtungen zur Verwendung mit Vakuumkammern und deren Anwendung in lithographischen Projektionsapparaten
EP1052553 Optik & Fototechnik
20.08.2003
Lithographischer Apparat, Ausrichtverfahren und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
EP1336899 Optik & Fototechnik
13.08.2003
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1335249 Optik & Fototechnik
13.08.2003
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1335248 Optik & Fototechnik
06.08.2003
Lithographisches Projektionsverfahren
EP1059565 Optik & Fototechnik

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