KLA Corporation Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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1.908 gesamt| Patent | |||
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01.07.2026
Weiche Röntgenoptik mit Verbesserter Filterung
Elektrische Energietechnik
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Zusammenfassung
Optical elements that efficiently propagate x-ray radiation over a desired energy range and reject radiation outside the desired energy range are presented herein. In one aspect, one or more optical elements of an x-ray based system include an integrated optical filter including one or more material layers that absorb radiation having energy outside the desired energy band. In general, the integrated filter improves the optical performance of an x-ray based system by suppressing reflectivity within infrared (IR), visible (vis), ultraviolet (UV), extreme ultraviolet (EUV) portions of the spectrum, or any other undesired wavelength region. In a further aspect, one or more diffusion barrier layers prevent degradation of the integrated optical filter, prevent diffusion between the integrated optical filter and other material layers, or both. In some embodiments, the thickness of one or more material layers of an integrated optical filter vary over the spatial area of the filter. |
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11.03.2026
Instrumentierter Wafer für Miniumgebung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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11.03.2026
Flexible Messmodelle für Modellbasierte Messungen von Halbleiterstrukturen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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11.03.2026
Verfahren zur Kalibrierung, Vorhersage und Steuerung Stochastischer Defekte in der Euv-Lithographie
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
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11.03.2026
Höhenmesssystem für Elektronenstrahlmetrologiewerkzeug
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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11.03.2026
System und Verfahren zur Dynamischen Aberrationskorrektur
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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11.03.2026
Vorwärtsbibliotheksbasiertes Säen für Effiziente Röntgenstreumessung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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11.03.2026
Einfallswinkel- und Azimutwinkelaufgelöste Spektroskopische Ellipsometrie für Halbleitermetrologie
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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04.03.2026
Automatische Schräglagenkorrektur Mithilfe von Designdateien oder Inspektionsbildern
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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04.03.2026
Wafer-Defektinspektions- und Prüfsysteme
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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25.02.2026
Kaltfeldemitterelektronenkanone mit Selbstreinigendem Extraktor mit Umgekehrtem Elektronenstrahlstrom
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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18.02.2026
Systeme und Verfahren zur Hochauflösenden Überprüfung zur Halbleiterprüfung in Backend- und Waferebenenverpackung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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05.02.2026
System and method for scanning electron beam image-formation with elemental analysis
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.07.2025
Anhängig
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05.02.2026
Method and system for construction of crystals for frequency conversion
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.07.2025
Anhängig
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05.02.2026
Localized region of interest based image grabs for improved metrology cost of ownership
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.07.2025
Anhängig
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29.01.2026
Image sensors with sinusoidal reset, noise cancellation, and non-pulsed charge transfer for inspection and metrology
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.07.2025
Anhängig
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29.01.2026
Dark field imaging system with twice-diffracted light for overlay metrology
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 17.07.2025
Anhängig
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22.01.2026
Systems and methods for wafer overview image scan and pre-alignment of film frame carrier
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Status
Angemeldet am 14.07.2025
Anhängig
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22.01.2026
Focus detection system for mutually-coherent illumination metrology
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 14.07.2025
Anhängig
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15.01.2026
Stress control of thinned epitaxial silicon devices and mems structures
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Status
Angemeldet am 10.07.2025
Anhängig
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08.01.2026
Polarization control and optimization for photomask defect detection
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 30.06.2025
Anhängig
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08.01.2026
Multi-Spot Laser-Sustained Plasma Light Source
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 30.06.2025
Anhängig
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02.01.2026
Piece of glass and rotational motor to provide variable polarization
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 19.06.2025
Anhängig
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02.01.2026
Duv led array for an ultraviolet-ozone cleaning system
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 24.06.2025
Anhängig
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02.01.2026
Scanning Diffraction-Based Overlay Scatterometry
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 24.06.2025
Anhängig
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02.01.2026
Waveplate Compensator Design
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 24.06.2025
Anhängig
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02.01.2026
Assembly for an ultraviolet-ozone cleaning system
Verfahrens- & Trenntechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 26.06.2025
Anhängig
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02.01.2026
Heat exchanger for uvo cleaning system
Verfahrens- & Trenntechnik
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Status
Angemeldet am 26.06.2025
Anhängig
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31.12.2025
Verfahren und Vorrichtung zur Strahlstabilisierung und Referenzkorrektur für Euv-Inspektion
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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31.12.2025
System und Verfahren zur Inspektion und Messtechnik von Vier Seiten von Halbleiterbauelementen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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31.12.2025
Defekterkennung für Mehrchipmasken
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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31.12.2025
Inspektion von Verrauschten Gemusterten Merkmalen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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26.12.2025
Deep-black borders on euv reticles with blazed gratings
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 18.06.2025
Anhängig
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26.12.2025
Speckle noise reduction using pupil masks
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 17.06.2025
Anhängig
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26.12.2025
System and method for overlay measurement using design data and deep learning segmentation
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 16.06.2025
Anhängig
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24.12.2025
Automatisierte Bildbasierte Prozessüberwachung und Steuerung
Software & Datenverarbeitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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18.12.2025
High-voltage column with permanent magnet lens and positive wafer bias for overlay
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.06.2025
Anhängig
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18.12.2025
Method for fast focusing based on frequency domain linnik interferometry
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 05.06.2025
Anhängig
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17.12.2025
Verfahren und Systeme zur Messung von Dickschichten und Strukturen mit Hohem Aspektverhältnis
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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11.12.2025
Metrology using reference-based synthetic spectra
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Angemeldet am 30.01.2025
Anhängig
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Wer vertritt KLA Corporation?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die KLA Corporation vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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