KLA Corporation Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
24
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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1.908 gesamt| Patent | |||
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04.07.2018
Verfahren und System zur Gasdurchflussreduzierung in Molekularen Verunreinigungen von Optischen Elementen
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 25.02.2014
Erteilt am 04.07.2018
Vertretung
Keane, Paul Fachtna · Dublin
FRKelly · Dublin
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28.06.2018
Electron beam emitters with ruthenium coating
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.12.2017
Anhängig
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28.06.2018
Method and system for weak pattern quantification
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.12.2017
Anhängig
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14.06.2018
Data augmentation for convolutional neural network-based defect inspection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.12.2017
Anhängig
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07.06.2018
Defect discovery and recipe optimization for inspection of three-dimensional semiconductor structures
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 30.11.2017
Anhängig
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31.05.2018
Wafer Noise Reduction By Image Subtraction Across Layers
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.11.2017
Anhängig
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30.05.2018
Systeme zur Bereitstellung von Beleuchtung in der Optischen Messtechnik
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 21.02.2014
Erteilt am 30.05.2018
Vertretung
Keane, Paul Fachtna · Dublin
FRKelly · Dublin
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24.05.2018
System, method and non-transitory computer readable medium for tuning sensitivies of, and determinng a process window for, a modulated wafer
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 20.11.2017
Anhängig
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23.05.2018
Streulichtmessung mit Diskreter Polarisation
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 14.06.2011
Erteilt am 23.05.2018
Vertretung
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17.05.2018
High Sensitivity Repeater Defect Detection
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 08.11.2017
Anhängig
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17.05.2018
Target Location in Semiconductor Manufacturing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.10.2017
Anhängig
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17.05.2018
System and method for generation of wafer inspection critical areas
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.10.2017
Anhängig
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17.05.2018
Lithography systems with integrated metrology tools having enhanced functionalities
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 21.08.2017
Anhängig
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03.05.2018
Process Module(s) Integrated Into A Metrology And/or Inspection Tool
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 24.10.2017
Anhängig
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03.05.2018
Fault discrimination and calibration of scatterometry overlay targets
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.10.2017
Anhängig
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26.04.2018
Hybrid metrology for patterned wafer characterization
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 19.10.2017
Anhängig
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26.04.2018
Calibration of a small angle x-ray scatterometry based metrology system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.10.2017
Anhängig
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26.04.2018
Optimizing training sets used for setting up inspection-related algorithms
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.10.2017
Anhängig
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26.04.2018
Full beam metrology for x-ray scatterometry systems
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 17.10.2017
Anhängig
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26.04.2018
Quantifying and reducing total measurement uncertainty
Steuerungs- & Regelungstechnik
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Status
Angemeldet am 19.10.2017
Anhängig
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26.04.2018
Method and system for generating programmed defects for use in metrology measurements
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.10.2017
Anhängig
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19.04.2018
Multi-column electron beam lithography including field emitters on a silicon substrate with boron layer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.10.2017
Anhängig
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19.04.2018
Defect review sampling and normalization based on defect and design attributes
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.10.2017
Anhängig
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19.04.2018
Metrology systems and methods for process control
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.10.2017
Anhängig
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19.04.2018
Diagnostic systems and methods for deep learning models configured for semiconductor applications
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 18.09.2017
Anhängig
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12.04.2018
Spectroscopy with tailored spectral sampling
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 03.10.2017
Anhängig
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12.04.2018
Three-dimensional imaging for semiconductor wafer inspection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 05.10.2017
Anhängig
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12.04.2018
Phase contrast monitoring for extreme ultra-violet (euv) masks defect inspection
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 07.10.2017
Anhängig
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12.04.2018
Expediting Spectral Measurement in Semiconductor Device Fabrication
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.08.2017
Anhängig
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05.04.2018
Direct Focusing With Image Binning in Metrology Tools
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 25.08.2017
Anhängig
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05.04.2018
Measurement of overlay and edge placement errors with an electron beam column array
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.09.2017
Anhängig
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05.04.2018
Infrared spectroscopic reflectometer for measurement of high aspect ratio structures
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 27.09.2017
Anhängig
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05.04.2018
Power-conserving clocking for scanning sensors
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
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Angemeldet am 26.09.2017
Anhängig
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05.04.2018
Defect marking for semiconductor wafer inspection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.09.2017
Anhängig
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05.04.2018
Three dimensional mapping of a wafer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.09.2017
Anhängig
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28.03.2018
Doppeltablett-Trägereinheit
Verpackungs- & Fördertechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 05.01.2011
Erteilt am 28.03.2018
Vertretung
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22.03.2018
Convolutional neural network-based mode selection and defect classification for image fusion
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.09.2017
Anhängig
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22.03.2018
Systems and methods for optimizing focus for imaging-based overlay metrology
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 14.09.2017
Anhängig
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22.03.2018
Simultaneous Multi-Directional Laser Wafer Inspection
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 14.09.2017
Anhängig
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21.03.2018
Modellbasierte Hotspot-Überwachung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Wer vertritt KLA Corporation?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die KLA Corporation vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
1.175
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
824
Optik & Fototechnik
468
Software & Datenverarbeitung
295
Elektronik & Schaltungstechnik
47
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
23
Steuerungs- & Regelungstechnik
20
Metallurgie & Oberflächentechnik
19
Verfahrens- & Trenntechnik
15
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
14
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
10
Maschinenelemente & Fluidtechnik
7