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KLA Corporation Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
24
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.908 gesamt
Patent
14.11.2018
Verfahren und System zur Regionalen Phasenabwicklung mit Strukturunterstützter Korrektur
EP3163251
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
08.11.2018
Metrology Guided Inspection Sample Shaping From Optical Inspection Results
WO2018204731
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.11.2018
Hybride Inspektoren
EP3397952
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
01.11.2018
System and method for photomask alignment and orientation characterization based on notch detection
WO2018200871
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.10.2018
Scatterometrie-Metrologie-Targetdesignoptimierung
EP2386114
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.10.2018
Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Form- oder Dickedaten eines Substrats
EP2399285
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.10.2018
Standortbasierte Quantifizierung einer Substrattopographie und Ihres Verhältnisses zu Defokussierung und Überlappung in der Lithographie
EP2526409
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
18.10.2018
System, method and computer program product for systematic and stochastic characterization of pattern defects identified from a fabricated component
WO2018191072
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
18.10.2018
Filter assembly for providing adjustable spectral capabilities in a broadband inspection system
WO2018191444
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
11.10.2018
Contour based defect detection
WO2018187170
Software & Datenverarbeitung
04.10.2018
Care areas for improved electron beam defect detection
WO2018183096
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.10.2018
Mehrkanalige Rückseitige Waferinspektion
EP3087593
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.10.2018
Vorrichtung und Verfahren für Kombinierte Hellfeld-, Dunkelfeld- und Fotothermische Inspektion
EP3100032
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.09.2018
Dynamic care areas for defect detection
WO2018175669
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.09.2018
Methods and systems for inline parts average testing and latent reliability defect detection
WO2018175214
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.09.2018
Stochastically-aware metrology and fabrication
WO2018175213
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.09.2018
Determining the impacts of stochastic behavior on overlay metrology data
WO2018160502
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.09.2018
Layer-to-layer feedforward overlay control with alignment corrections
WO2018160778
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.08.2018
Inspection of photomasks by comparing two photomasks
WO2018156442
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.08.2018
Mitigation Of Inaccuracies Related To Grating Asymmetries in Scatterometry Measurements
WO2018147938
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.08.2018
Electron source architecture for a scanning electron microscopy system
WO2018148150
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.08.2018
Identifying Process Variations During Product Manufacture
WO2018148318
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.08.2018
Three-dimensional calibration structures and methods for measuring buried defects on a three-dimensional semiconductor wafer
WO2018144956
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.08.2018
Multi-column scanning electron microscopy system
WO2018144947
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.08.2018
Multi-column spacing for photomask and reticle inspection and wafer print check verification
WO2018144959
Optik & Fototechnik
09.08.2018
Inspection and metrology using broadband infrared radiation
WO2018144958
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
08.08.2018
Laser mit Hoher Qualität und Stabilem Ausgangsstrahl sowie Langlebiger Nichtlinearer Kristall mit Hoher Umwandlungseffizienz
EP2742570
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
08.08.2018
Fotolacksimulation
EP2499661
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.08.2018
Wideband Spectrograph
WO2018140810
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
01.08.2018
Anordnung einer Retikelpositionierungsvorrichtung zur Strahlenuntersuchung von Euv-Retikeln
EP2836874
Optik & Fototechnik
01.08.2018
193NM-Laser und Inspektionssystem
EP2949015
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
19.07.2018
Diagnostic methods for the classifiers and the defects captured by optical tools
WO2018132321
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.07.2018
System, method for training and applying defect classifiers in wafers having deeply stacked layers
WO2018132480
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.07.2018
Determination of sampling maps for alignment measurements based on reduction of out of specification points
WO2018129084
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.07.2018
Systems and methods for focus-sensitive metrology targets
WO2018129088
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.07.2018
Diffraction based overlay scatterometry
WO2018128984
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
12.07.2018
Systems and methods for defect material classification
WO2018128995
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.07.2018
183 nm cw laser and inspection system
WO2018128963
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.07.2018
Device-Like Metrology Targets
WO2018128641
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
05.07.2018
System and method for reconstructing high-resolution point spread functions from low-resolution inspection images
WO2018125495
Software & Datenverarbeitung

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
824
Optik & Fototechnik
468
Software & Datenverarbeitung
295
Elektronik & Schaltungstechnik
47
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
23
Steuerungs- & Regelungstechnik
20
Metallurgie & Oberflächentechnik
19
Verfahrens- & Trenntechnik
15
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
14
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
10
Maschinenelemente & Fluidtechnik
7

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