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KLA Corporation Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
24
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.908 gesamt
Patent
02.02.2017
System and method for dynamic care area generation on an inspection tool
WO2017019171
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.02.2017
Variable Bildfeldkrümmung zur Objektinspektion
EP3123501
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.01.2017
Methods and apparatus for speckle suppression in laser dark-field systems
WO2017011226
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.01.2017
Power-Scalable Nonlinear Optical Wavelength Converter
WO2017004528
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.01.2017
Automatisierte In-Line-Inspektion und Metrologie mit Shadowgram-Bildern
EP3111468
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.01.2017
Miniaturisierte Abbildungsvorrichtung für Waferkante
EP3111469
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.12.2016
Process-induced asymmetry detection, quantification, and control using patterned wafer geometry measurements
WO2016209625
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.12.2016
Determining Multi-Patterning Step Overlay Error
WO2016209600
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.12.2016
Bestückungsvorrichtung mit Automatischer Aufnahmehöhenanpassung und Verfahren und Computerprogrammprodukt zur Automatischen Anpassung der Aufnahmehöhe einer Bestückungsvorrichtung
EP3108728
Elektronik & Schaltungstechnik
22.12.2016
System and method for monitoring parameters of a semiconductor factory automation system
WO2016205075
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.12.2016
Pre-layer defect site review using design
WO2016205777
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.12.2016
Defektinspektionsmethoden, die das Aufnehmen des Projizierten Maskenabbildes unter Verschiedenen Lithographischen Prozessvariablen Beinhalten
EP1523696
Optik & Fototechnik
08.12.2016
Method and system for iterative defect classification
WO2016196760
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
07.12.2016
Vorrichtung zur Erfassung von Prozessbedingungen für eine Plasmakammer
EP2526743
Metallurgie & Oberflächentechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
01.12.2016
High-speed hotspot or defect imaging with a charged particle beam system
WO2016191482
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.12.2016
System and method for production line monitoring
WO2016191712
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.11.2016
System and method for imaging a sample with an illumination source modified by a spatial selective wavelength filter
WO2016187139
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
24.11.2016
System and method for focus determination using focus-sensitive overlay targets
WO2016187062
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.11.2016
Multi-oscillator, continuous cody-lorentz model of optical dispersion
WO2016187579
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.11.2016
Voltage contrast based fault and defect inference in logic chips
WO2016187229
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
24.11.2016
Topographic phase control for overlay measurement
WO2016187468
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
24.11.2016
Self-moiré target design principles for measuring unresolved device-like pitches
WO2016187453
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
24.11.2016
Photocathode including field emitter array on a silicon substrate with boron layer
WO2016187603
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.11.2016
Method and system for aberration correction in electron beam system
WO2016182948
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.11.2016
Method and system for defect classification
WO2016182857
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.11.2016
Optical metrology with small illumination spot size
WO2016183031
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
17.11.2016
System and method for reducing radiation-induced false counts in an inspection system
WO2016183194
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
17.11.2016
Sensor with electrically controllable aperture for inspection and metrology systems
WO2016183451
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
16.11.2016
Extrem-Ultraviolett (euv)-Inspektionssysteme
EP3092657
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
03.11.2016
Multiple pin probes with support for performing parallel measurements
WO2016176469
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
03.11.2016
Metrology system, method, and computer program product employing automatic transitioning between utilizing a library and utilizing regression for measurement processing
WO2016176647
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
03.11.2016
System and method for imaging a sample with an electron beam with a filtered energy spread
WO2016176507
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.11.2016
Computationally efficient x-ray based overlay measurement
WO2016176502
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.10.2016
Metrology target design for tilted device designs
WO2016172122
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.10.2016
Outlier detection on pattern of interest image populations
WO2016172622
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.10.2016
Rauscharmer Sensor und Inspektionssystem mit Rauscharmem Sensor
EP3085077
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation
13.10.2016
Feed forward of metrology data in a metrology system
WO2016164372
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.10.2016
Method and system for determining in-plane distortions in a substrate
WO2016164415
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.10.2016
Sub-pixel and sub-resolution localization of defects on patterned wafers
WO2016161181
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.10.2016
Optical die To Database Inspection
WO2016161370
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
1.175
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
824
Optik & Fototechnik
468
Software & Datenverarbeitung
295
Elektronik & Schaltungstechnik
47
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
23
Steuerungs- & Regelungstechnik
20
Metallurgie & Oberflächentechnik
19
Verfahrens- & Trenntechnik
15
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
14
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
10
Maschinenelemente & Fluidtechnik
7

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