KLA Corporation Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
495
Patente
2000–2019
Anmeldejahre
18
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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495 gesamt| Patent | |||
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02.02.2017
System and method for dynamic care area generation on an inspection tool
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.05.2016
Anhängig
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19.01.2017
Methods and apparatus for speckle suppression in laser dark-field systems
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.07.2016
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04.01.2017
Automatisierte In-Line-Inspektion und Metrologie mit Shadowgram-Bildern
Software & Datenverarbeitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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04.01.2017
Miniaturisierte Abbildungsvorrichtung für Waferkante
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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28.12.2016
Bestückungsvorrichtung mit Automatischer Aufnahmehöhenanpassung und Verfahren und Computerprogrammprodukt zur Automatischen Anpassung der Aufnahmehöhe einer Bestückungsvorrichtung
Elektronik & Schaltungstechnik
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22.12.2016
Pre-layer defect site review using design
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.06.2016
Anhängig
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21.12.2016
Defektinspektionsmethoden, die das Aufnehmen des Projizierten Maskenabbildes unter Verschiedenen Lithographischen Prozessvariablen Beinhalten
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 15.07.2003
Erteilt am 21.12.2016
Vertretung
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08.12.2016
Method and system for iterative defect classification
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 02.06.2016
Anhängig
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07.12.2016
Vorrichtung zur Erfassung von Prozessbedingungen für eine Plasmakammer
Metallurgie & Oberflächentechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 11.01.2011
Erteilt am 07.12.2016
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24.11.2016
Multi-oscillator, continuous cody-lorentz model of optical dispersion
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.05.2016
Anhängig
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24.11.2016
Self-moiré target design principles for measuring unresolved device-like pitches
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 19.05.2016
Anhängig
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24.11.2016
Photocathode including field emitter array on a silicon substrate with boron layer
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.05.2016
Anhängig
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24.11.2016
Voltage contrast based fault and defect inference in logic chips
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 17.05.2016
Anhängig
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24.11.2016
Topographic phase control for overlay measurement
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Angemeldet am 19.05.2016
Anhängig
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17.11.2016
System and method for reducing radiation-induced false counts in an inspection system
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Angemeldet am 11.05.2016
Anhängig
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17.11.2016
Sensor with electrically controllable aperture for inspection and metrology systems
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 13.05.2016
Anhängig
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16.11.2016
Extrem-Ultraviolett (euv)-Inspektionssysteme
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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27.10.2016
Outlier detection on pattern of interest image populations
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.04.2016
Anhängig
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13.10.2016
Method and system for determining in-plane distortions in a substrate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.04.2016
Anhängig
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29.09.2016
Model-Based Single Parameter Measurement
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.03.2016
Anhängig
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22.09.2016
Adaptive sampling for process window determination
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.03.2016
Anhängig
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14.09.2016
Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung einer Wafergeometriemetrik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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25.08.2016
Optimizing computational efficiency by multiple truncation of spatial harmonics
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.02.2016
Anhängig
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18.08.2016
Prediction based chucking and lithography control optimization
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.02.2016
Anhängig
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04.08.2016
Device metrology targets and methods
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.01.2016
Anhängig
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21.07.2016
Measurement system optimization for x-ray based metrology
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.01.2016
Anhängig
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14.07.2016
System and method for inhibiting radiative emission of a laser-sustained plasma source
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.01.2016
Anhängig
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07.07.2016
Alignment of inspection to design using built in targets
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.12.2015
Anhängig
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06.07.2016
Gerät und Verfahren zum Sammeln von Globalen Daten Während einer Photomaskinsektion
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 28.04.2000
Erteilt am 06.07.2016
Vertretung
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23.06.2016
Plasma-Based Light Source
Optik & Fototechnik
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 15.12.2015
Anhängig
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09.06.2016
Inspection systems and techniques with enhanced detection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.11.2015
Anhängig
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09.06.2016
Predicting and controlling critical dimension issues and pattern defectivity in wafers using interferometry
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.11.2015
Anhängig
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09.06.2016
Apparatus and method for providing a humidity-controlled environment in which to perform optical contacting
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 24.06.2015
Anhängig
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02.06.2016
Analyzing and utilizing landscapes
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.11.2015
Anhängig
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11.05.2016
Vorrichtung und Verfahren zur Messung von Variationen der Form oder der Dicke von polierten, opaken Platten
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 16.03.2004
Erteilt am 11.05.2016
Vertretung
Keane, Paul Fachtna · Dublin
Johnstone, Helen Margaret · Nottingham
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06.05.2016
Measurement systems having linked field and pupil signal detection
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 31.10.2015
Anhängig
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06.05.2016
Automated decision-based energy-dispersive x-ray methodology and apparatus
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 27.10.2015
Anhängig
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06.05.2016
Quality estimation and improvement of imaging metrology targets
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 27.10.2015
Anhängig
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04.05.2016
System und Verfahren zur Fehlererkennung und Photolumineszenzmessung einer Probe
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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28.04.2016
Critical dimension uniformity enhancement techniques and apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.10.2015
Anhängig
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Wer vertritt KLA Corporation?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die KLA Corporation vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
301
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
195
Optik & Fototechnik
114
Software & Datenverarbeitung
56
Elektronik & Schaltungstechnik
15
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
4
Steuerungs- & Regelungstechnik
4
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
3
Verpackungs- & Fördertechnik
2
Verfahrens- & Trenntechnik
2
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
2
Metallurgie & Oberflächentechnik
2