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KLA Corporation Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
24
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.908 gesamt
Patent
05.06.2025
System and method for in-situ swath positioning
WO2025117225
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
04.06.2025
Abtaststrategien zur Minimierung von Ladungseffekten und Strahlungsschäden eines Systems zur Messung von Ladungsteilchenstrahlen
EP3762779
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
30.05.2025
In-situ in-band and out-of-band spectral measurement for euv tools
WO2025111006
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
30.05.2025
Position feedback sensor using out-of-band wavelengths
WO2025111232
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.05.2025
Positionsrückkopplungssensor mit Bandexternen Wellenlängen
EP4771370
30.05.2025
In-Situ In-Band und Ausserband Spektralmessung für Euv-Werkzeuge
EP4771367
28.05.2025
Systeme und Verfahren zur Vorrichtungskorrelierten Überlagerungsmetrologie
EP3721294
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.05.2025
Gebondete Wafermetrologie
EP3507826
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
28.05.2025
System und Verfahren zur Neigungsberechnung basierend auf Überlagerungsmesstechnik
EP4049009
Optik & Fototechnik
28.05.2025
Hinterleuchteter Sensor und Verfahren zur Herstellung eines Sensors
EP3895215
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.05.2025
Retikel Optimierungsalgorithmen und Optimales Zieldesign
EP3639166
Optik & Fototechnik
15.05.2025
Stage motion profile system and method
WO2025101385
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.05.2025
Transistor channel stress and mobility metrology using multi-pass spectroscopic ellipsometry and raman joint measurement
WO2025101683
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
15.05.2025
Transistorkanalbelastungs- und Mobilitätsmetrologie mit Spektroskopischer Ellipsometrie mit mehreren Durchgängen und Raman-Verbindungsmessung
EP4771357
14.05.2025
System und Verfahren zur Anwendung von Oberschwingungsdetektivität als Qualitätsindikator für Bildbasierte Überlagerungsmessungen
EP4025867
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
14.05.2025
Vakuumaktuatoreinkapselung für Molekulare Kontaminanten- und Partikelabschwächung
EP3987359
Optik & Fototechnik
08.05.2025
Back-illuminated sensor and method of making same
WO2025096479
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.05.2025
Overlay Mark Design Enabling Large Overlay Measurement
WO2025096270
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
08.05.2025
Yield Improvements in Stacked Packaging
WO2025096369
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.05.2025
Metrology method of calibrating and monitoring radiation in euv lithographic systems
WO2025096316
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.05.2025
Optical and x-ray metrology methods for patterned semiconductor structures with randomness
WO2025096486
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
08.05.2025
Metrologieverfahren zur Kalibrierung und Überwachung von Strahlung in Euv-Lithographiesystemen
EP4771361
08.05.2025
Optische und Röntgenmetrologieverfahren für Strukturierte Halbleiterstrukturen mit Zufälligkeit
EP4771372
07.05.2025
Verfahren und System zur Reinigung Optischer Elemente in Optischen Euv-Systemen
EP4548076
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
01.05.2025
Single Wafer Orientation Tool-Induced Shift Cleaning
WO2025090404
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
01.05.2025
Massive measurement sampling using multiple chucks and optical columns
WO2025090263
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
01.05.2025
Massive Messungsabtastung unter Verwendung mehrerer Spannfutter und Optischer Säulen
EP4751085
30.04.2025
Design eines Asymmetrischen Detektors und Methodologie
EP3042387
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.04.2025
Methods and systems for spectral measurements based on perturbed spectra
WO2025085462
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
24.04.2025
Spectra Delta Metrology
WO2025085304
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
24.04.2025
Multi-thickness overlay measurement system
WO2025085238
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
24.04.2025
Spektren-Delta-Metrologie
EP4751086
24.04.2025
Mehrdicken-Überlagerungsmesssystem
EP4751084
17.04.2025
Messsystem mit Zwei Planarmotorstufen
EP4751076
17.04.2025
Monitoring Of Hf in Buffered Hydrofluoric Acid (bhf)
WO2025080511
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
17.04.2025
Defect synthesis and detection via defect generative pre-trained transformer for semiconductor applications
WO2025080459
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
17.04.2025
Metrology system with twin planar motor stage
WO2025080454
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
16.04.2025
Breitband-Lichtinterferometrie zur Fokalkartenerzeugung bei der Fotomaskenkontrolle
EP4042144
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
10.04.2025
Integrated non-contact cleaning and inspection system and method for electronic components
WO2025075686
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.04.2025
Aufnahme- und Positionierkopf mit Automatischer Neigungseinstellung
EP4770931

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
1.175
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
824
Optik & Fototechnik
468
Software & Datenverarbeitung
295
Elektronik & Schaltungstechnik
47
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
23
Steuerungs- & Regelungstechnik
20
Metallurgie & Oberflächentechnik
19
Verfahrens- & Trenntechnik
15
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
14
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
10
Maschinenelemente & Fluidtechnik
7

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