KLA Corporation Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
24
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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1.908 gesamt| Patent | |||
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06.11.2008
Optical gain approach for enhancement of overlay and alignment systems performance
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 23.04.2008
Anhängig
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30.10.2008
Methods and systems for creating or performing a dynamic sampling scheme for a process during which measurements are performed on wafers
Steuerungs- & Regelungstechnik
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Status
Angemeldet am 23.04.2008
Anhängig
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02.10.2008
Temperature Effects On Overlay Accuracy
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.03.2008
Anhängig
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12.09.2008
Methods for identifying array areas in dies formed on a wafer and methods for setting up such methods
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 07.03.2008
Anhängig
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04.09.2008
Methods for accurate identification of an edge of a care area for an array area formed on a wafer and methods for binning defects detected in an array area formed on a wafer
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 28.02.2008
Anhängig
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28.08.2008
Method and instrument for chemical defect characterization in high vacuum
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 15.02.2008
Anhängig
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28.08.2008
Process condition measuring device
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 20.02.2008
Anhängig
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31.07.2008
Purge gas flow control for high-precision film measurements using ellipsometry and reflectometry
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 25.01.2008
Anhängig
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17.07.2008
Methods and systems for using electrical information for a device being fabricated on a wafer to perform one or more defect-related functions
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 07.01.2008
Anhängig
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16.07.2008
Verbesserte Linse für Mikroskopische Untersuchung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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26.06.2008
Systems and methods for creating inspection recipes
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 19.12.2007
Anhängig
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12.06.2008
Methods, designs, defect review tools, and systems for determining locations on a wafer to be reviewed during defect review
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 06.12.2007
Anhängig
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28.03.2007
Verfahren und Vorrichtung zur Untersuchung von Retikeln mit paralleler Verarbeitung
Software & Datenverarbeitung
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03.01.2007
Verfahren und Vorrichtung zur Untersuchung von Retikeln mit Paralleler Verarbeitung
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 28.04.2000
Erteilt am 03.01.2007
Vertretung
Browne, Robin Forsythe · Leeds
Browne, Robin Forsythe · Leeds
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19.01.2005
Breitbandiges Katadioptrisches Uv-Abbildungssystem
Optik & Fototechnik
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22.01.2004
Overlay Error Detection
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 26.10.2001
Anhängig
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23.07.2003
Verbesserte Teststrukturen, deren Inspektionsmethode und Verwendung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.12.2000
Anhängig
Vertretung
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23.07.2003
Messmarkierung mit Verbesserter Überlagerungsausrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 30.08.2001
Anhängig
Vertretung
Gover, Richard Paul · Leeds
Browne, Robin Forsythe · Leeds
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17.07.2003
Differential detector coupled with defocus for improved phase defect sensitivity
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.12.2002
Anhängig
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10.07.2003
Design Driven Inspection Or Measurement
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 19.12.2002
Anhängig
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03.07.2003
Parametric profiling using optical spectroscopic systems
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 19.12.2002
Anhängig
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19.06.2003
A photoelectron emission microscope for wafer and reticle inspection
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.12.2001
Anhängig
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18.06.2003
Methode und System zur Halbleiterherstellung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.09.2001
Anhängig
Vertretung
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22.05.2003
Method and apparatus for the production of process sensitive lithographic features
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.11.2002
Anhängig
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02.05.2003
Messung der Folienstärke durch Elektronenstrahl Induzierte Röntgen-Mikroanalyse
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.06.2001
Anhängig
Vertretung
Browne, Robin Forsythe · Leeds
Browne, Robin Forsythe · Leeds
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03.04.2003
Systems and methods for forming an image of a specimen at an oblique viewing angle
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 24.09.2002
Anhängig
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06.03.2003
Predicting Chip Yields Through Critical Area Matching
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 23.08.2002
Anhängig
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13.02.2003
Systems and methods for measuring properties of conductive layers
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.04.2002
Anhängig
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05.02.2003
Symmetrisches Differenz-Interferometer mit Streifendem Einfall mit Verringerter Kohärenz
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 04.04.2001
Anhängig
Vertretung
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09.01.2003
Apparatus and methods for monitoring self-aligned contact arrays
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.06.2002
Anhängig
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09.01.2003
Wafer-Inspektion mit Optimierter Geometrie
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 26.06.2002
Anhängig
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09.01.2003
Energy Filter Multiplexing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.06.2002
Anhängig
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09.01.2003
Apparatus and methods reliable and efficient detection of voltage contrast defects
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 26.06.2002
Anhängig
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09.01.2003
I in-situ /i end point detection for semiconductor wafer polishing
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 27.06.2002
Anhängig
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03.01.2003
Systems and methods for inspection of transparent mask substrates
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 25.06.2002
Anhängig
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03.01.2003
Apparatus and methods for reducing thin film color variation in optical inspection of semiconductor devices and other surfaces
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 21.06.2002
Anhängig
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03.01.2003
Method for determining lithographic focus and exposure
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 26.06.2002
Anhängig
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03.01.2003
Systems and methods for a wafer inspection system using multiple angles and multiple wavelength illumination
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 26.06.2002
Anhängig
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19.12.2002
Apparatus and methods for modeling process effects and imaging effects in scanning electron microscopy
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 13.06.2002
Anhängig
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21.11.2002
Advanced phase shift inspection method
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 12.11.2001
Anhängig
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Wer vertritt KLA Corporation?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die KLA Corporation vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
1.175
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
824
Optik & Fototechnik
468
Software & Datenverarbeitung
295
Elektronik & Schaltungstechnik
47
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
23
Steuerungs- & Regelungstechnik
20
Metallurgie & Oberflächentechnik
19
Verfahrens- & Trenntechnik
15
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
14
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
10
Maschinenelemente & Fluidtechnik
7