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KLA Corporation Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.913
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
24
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.913 gesamt
Patent
27.11.2008
Inspection systems and methods for extending the detection range of an inspection system by forcing the photodetector into the non-linear range
WO2008144318
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.11.2008
Methods and systems for detecting defects in a reticle design pattern
WO2008141064
Optik & Fototechnik
13.11.2008
Computer-implemented methods, computer-readable media, and systems for identifying one or more optical modes of an inspection system as candidates for use in inspection of a layer of a wafer
WO2008137919
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.11.2008
Methods for detecting and classifying defects on a reticle
WO2008137920
Optik & Fototechnik
13.11.2008
Computer-implemented methods, systems, and computer-readable media for determining a model for predicting printability of reticle features on a wafer
WO2008137922
Optik & Fototechnik
06.11.2008
Optical gain approach for enhancement of overlay and alignment systems performance
WO2008134378
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
30.10.2008
Methods and systems for creating or performing a dynamic sampling scheme for a process during which measurements are performed on wafers
WO2008131422
Steuerungs- & Regelungstechnik
02.10.2008
Temperature Effects On Overlay Accuracy
WO2008118780
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.09.2008
Methods for identifying array areas in dies formed on a wafer and methods for setting up such methods
WO2008109820
Software & Datenverarbeitung
04.09.2008
Methods for accurate identification of an edge of a care area for an array area formed on a wafer and methods for binning defects detected in an array area formed on a wafer
WO2008106577
Software & Datenverarbeitung
28.08.2008
Method and instrument for chemical defect characterization in high vacuum
WO2008103617
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
28.08.2008
Process condition measuring device
WO2008103700
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
31.07.2008
Purge gas flow control for high-precision film measurements using ellipsometry and reflectometry
WO2008092121
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
17.07.2008
Methods and systems for using electrical information for a device being fabricated on a wafer to perform one or more defect-related functions
WO2008086282
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
16.07.2008
Verbesserte Linse für Mikroskopische Untersuchung
EP1261890
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
26.06.2008
Systems and methods for creating inspection recipes
WO2008077100
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
12.06.2008
Methods, designs, defect review tools, and systems for determining locations on a wafer to be reviewed during defect review
WO2008070772
Software & Datenverarbeitung
28.03.2007
Verfahren und Vorrichtung zur Untersuchung von Retikeln mit paralleler Verarbeitung
EP1768066
Software & Datenverarbeitung
03.01.2007
Verfahren und Vorrichtung zur Untersuchung von Retikeln mit Paralleler Verarbeitung
EP1175660
Software & Datenverarbeitung
19.01.2005
Breitbandiges Katadioptrisches Uv-Abbildungssystem
EP1194803
Optik & Fototechnik
22.01.2004
Overlay Error Detection
WO2004008068
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
23.07.2003
Verbesserte Teststrukturen, deren Inspektionsmethode und Verwendung
EP1328971
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.07.2003
Messmarkierung mit Verbesserter Überlagerungsausrichtung
EP1328774
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
17.07.2003
Differential detector coupled with defocus for improved phase defect sensitivity
WO03058681
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.07.2003
Design Driven Inspection Or Measurement
WO03056476
Software & Datenverarbeitung
03.07.2003
Parametric profiling using optical spectroscopic systems
WO03054475
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
19.06.2003
A photoelectron emission microscope for wafer and reticle inspection
WO03050841
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.06.2003
Methode und System zur Halbleiterherstellung
EP1319244
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.05.2003
Method and apparatus for the production of process sensitive lithographic features
WO03043075
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.05.2003
Messung der Folienstärke durch Elektronenstrahl Induzierte Röntgen-Mikroanalyse
EP1305815
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.04.2003
Systems and methods for forming an image of a specimen at an oblique viewing angle
WO03027644
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
06.03.2003
Predicting Chip Yields Through Critical Area Matching
WO03019456
Software & Datenverarbeitung
13.02.2003
Systems and methods for measuring properties of conductive layers
WO03012828
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.02.2003
Symmetrisches Differenz-Interferometer mit Streifendem Einfall mit Verringerter Kohärenz
EP1281040
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
09.01.2003
Apparatus and methods for monitoring self-aligned contact arrays
WO03003375
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.01.2003
Wafer-Inspektion mit Optimierter Geometrie
WO03002984
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
09.01.2003
Energy Filter Multiplexing
WO03003402
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.01.2003
Apparatus and methods reliable and efficient detection of voltage contrast defects
WO03003034
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
09.01.2003
I in-situ /i end point detection for semiconductor wafer polishing
WO03003422
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
03.01.2003
Systems and methods for inspection of transparent mask substrates
WO03001185
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
1.175
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
824
Optik & Fototechnik
470
Software & Datenverarbeitung
295
Elektronik & Schaltungstechnik
47
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
23
Steuerungs- & Regelungstechnik
20
Metallurgie & Oberflächentechnik
19
Verfahrens- & Trenntechnik
15
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
14
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
10
Maschinenelemente & Fluidtechnik
7

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