Lam Research Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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2.725 gesamt| Patent | |||
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07.02.2019
High aspect ratio selective lateral etch using cyclic passivation and etching
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 26.07.2018
Anhängig
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07.02.2019
Integrated atomic layer passivation in tcp etch chamber and in-situ etch-alp method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.07.2018
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07.02.2019
Selective deposition of sin on horizontal surfaces
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.08.2018
Anhängig
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31.01.2019
Showerhead Tilt Mechanism
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.07.2018
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31.01.2019
Monolithic Ceramic Gas Distribution Plate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.07.2018
Anhängig
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24.01.2019
In Situ Vapor Deposition Polymerization To Form Polymers As Precursors To Viscoelastic Fluids For Particle Removal From Substrates
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.07.2018
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24.01.2019
Systems and methods for increasing efficiency of delivered power of a megahertz radio frequency generator in the presence of a kilohertz radio frequency generator
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.06.2018
Anhängig
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24.01.2019
Atomic layer clean for removal of photoresist patterning scum
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.07.2018
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17.01.2019
Step ladder with component rack system for fabrication facility
Hochbau & Gebäudetechnik
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Angemeldet am 06.07.2018
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03.01.2019
Remote detection of plating on wafer holding apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 27.06.2018
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03.01.2019
Tungsten Nitride Barrier Layer Deposition
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.06.2018
Anhängig
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27.12.2018
High aspect ratio etch of oxide metal oxide metal stack
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.06.2018
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13.12.2018
Systems and methods for transformer coupled plasma pulsing with transformer coupled capacitive tuning switching
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.05.2018
Anhängig
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13.12.2018
Metal Doped Carbon Based Hard Mask Removal in Semiconductor Fabrication
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.06.2018
Anhängig
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13.12.2018
Depositing Ruthenium Layers in Interconnect Metallization
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.06.2018
Anhängig
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06.12.2018
Porous Low-K Dielectric Etch
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.05.2018
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06.12.2018
Passivation mixture and systems and methods for selectively passivating substrate materials including germanium or type iii-iv materials using the passivation mixture
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.05.2018
Anhängig
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06.12.2018
Detection system for tunable/replaceable edge coupling ring
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.05.2018
Anhängig
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29.11.2018
Wafer edge contact hardware and methods to eliminate deposition at wafer backside edge and notch
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.05.2018
Anhängig
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28.11.2018
Plasmaeinschlussringanordnungen mit Verringerten Polymerabscheidungseigenschaften
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.03.2006
Erteilt am 28.11.2018
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Gritschneder, Martin · München
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22.11.2018
Systems and methods for detecting undesirable dynamic behavior of liquid dispensed onto a rotating substrate
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.05.2018
Anhängig
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22.11.2018
Eliminating Yield Impact Of Stochastics in Lithography
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.05.2018
Anhängig
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15.11.2018
Temperature-tuned substrate support for substrate processing systems
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.05.2018
Anhängig
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01.11.2018
Euv photopatterning and selective deposition for negative pattern mask
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.04.2018
Anhängig
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25.10.2018
Rapid chamber clean using concurrent in-situ and remote plasma sources
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.04.2018
Anhängig
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25.10.2018
Method for depositing high deposition rate, thick tetraethyl orthosilicate film with low compressive stress, high film stability and low shrinkage
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.04.2018
Anhängig
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18.10.2018
Low Resistivity Films Containing Molybdenum
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.04.2018
Anhängig
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11.10.2018
Auxiliary Circuit in Rf Matching Network For Frequency Tuning Assisted Dual-Level Pulsing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.04.2018
Anhängig
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10.10.2018
Vorrichtung zur Nassbehandlung von Plattenartigen Artikeln
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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04.10.2018
Electrostatic chuck with flexible wafer temperature control
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.03.2018
Anhängig
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04.10.2018
Gas additives for sidewall passivation during high aspect ratio cryogenic etch
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.03.2018
Anhängig
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04.10.2018
Monitoring Surface Oxide On Seed Layers During Electroplating
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.03.2018
Anhängig
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03.10.2018
Verfahren und Vorrichtung zur Materialabscheidung
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 07.12.2004
Erteilt am 03.10.2018
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Wombwell, Francis · Birkenhead
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27.09.2018
Atomic layer etching of silicon nitride
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.02.2018
Anhängig
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20.09.2018
Layer-by-layer deposition using hydrogen
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 07.03.2018
Anhängig
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19.09.2018
Vorrichtung und Verfahren zur Flüssigbehandlung Waferförmiger Artikel
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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13.09.2018
Electroplating apparatus and methods utilizing independent control of impinging electrolyte
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 07.03.2018
Anhängig
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13.09.2018
Methods for wet metal seed deposition for bottom up gapfill of features
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.03.2018
Anhängig
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13.09.2018
Boltless Substrate Support Assembly
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.03.2018
Anhängig
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13.09.2018
Selective growth of silicon oxide or silicon nitride on silicon surfaces in the presence of silicon oxide
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.03.2018
Anhängig
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Wer vertritt Lam Research?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Lam Research vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.172
Metallurgie & Oberflächentechnik
774
Elektronik & Schaltungstechnik
177
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
141
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
118
Optik & Fototechnik
116
Verfahrens- & Trenntechnik
105
Software & Datenverarbeitung
50
Elektrische Energietechnik
44
Steuerungs- & Regelungstechnik
42
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
39
Maschinenelemente & Fluidtechnik
31