Lam Research Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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2.725 gesamt| Patent | |||
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30.08.2018
Systems and methods for tuning to reduce reflected power in multiple states
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 20.02.2018
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30.08.2018
Helium Plug Design To Reduce Arcing
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 21.02.2018
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23.08.2018
Cooling system for rf power electronics
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 10.01.2018
Anhängig
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23.08.2018
Surface coating for plasma processing chamber components
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.01.2018
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23.08.2018
Ion Directionality Esc
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Angemeldet am 17.01.2018
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23.08.2018
Systems and methods for patterning of high density standalone mram devices
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 13.02.2018
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23.08.2018
Tin Oxide Films in Semiconductor Device Manufacturing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 13.02.2018
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15.08.2018
Begrenzungsring und Halbleiterwaferbearbeitungssystem damit
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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09.08.2018
Dielectric Contact Etch
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 09.01.2018
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09.08.2018
Hydrogen Activated Atomic Layer Etching
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 09.01.2018
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02.08.2018
Isotropic etching of film with atomic layer control
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 24.01.2018
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26.07.2018
Near-substrate supplemental plasma density generation with low bias voltage within inductively coupled plasma processing chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Angemeldet am 20.10.2017
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26.07.2018
A virtual metrology method for esc temperature estimation using thermal control elements
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.01.2018
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19.07.2018
Cathode with improved rf power efficiency for semiconductor processing equipment with rf plasma
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 30.10.2017
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19.07.2018
Rf detector with double balanced linear mixer and corresponding method of operation
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 07.11.2017
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18.07.2018
Verfahren zum Identifizieren von einem Prozesspunkt in einem Multi-Modus Puls-Verfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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12.07.2018
Substrate support with improved process uniformity
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 07.11.2017
Anhängig
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11.07.2018
Duschkopf-Elektrodenbaugruppen für Plasmaverarbeitungsvorrichtungen
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.05.2009
Erteilt am 11.07.2018
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Gritschneder, Martin · München
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28.06.2018
Conical wafer centering and holding device for semiconductor processing
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.12.2017
Anhängig
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28.06.2018
Atomic layer etching methods and apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.12.2017
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28.06.2018
Designer Atomic Layer Etching
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.12.2017
Anhängig
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28.06.2018
High power low pressure uv bulb with plasma resistant coating
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.12.2017
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28.06.2018
Systems and methods for metastable activated radical selective strip and etch using dual plenum showerhead
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.12.2017
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21.06.2018
System and method for calculating substrate support temperature
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 14.12.2017
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21.06.2018
Method for providing a low-k spacer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.12.2017
Anhängig
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21.06.2018
Integrated showerhead with thermal control for delivering radical and precursor gas to a downstream chamber to enable remote plasma film deposition
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.12.2017
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21.06.2018
Systems and methods for providing shunt cancellation of parasitic components in a plasma reactor
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 04.12.2017
Anhängig
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21.06.2018
Densification of silicon carbide film using remote plasma treatment
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 30.11.2017
Anhängig
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07.06.2018
Method for generating vertical profiles in organic layer etches
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 07.11.2017
Anhängig
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31.05.2018
Staircase Encapsulation in 3D Nand Fabrication
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 21.11.2017
Anhängig
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23.05.2018
Verbundduschkopfelektrodenanordnung für eine Plasmaverarbeitungsvorrichtung
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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17.05.2018
Plasma Light Up Suppression
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 19.10.2017
Anhängig
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17.05.2018
Edge ring centering method using ring dynamic alignment data
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.11.2017
Anhängig
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17.05.2018
Method for high modulus ald sio2 spacer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 08.11.2017
Anhängig
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17.05.2018
Method for reducing the wet etch rate of a sin film without damaging the underlying substrate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 06.11.2017
Anhängig
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11.05.2018
Electrostatically Clamped Edge Ring
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 19.10.2017
Anhängig
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11.05.2018
Carrier plate for use in plasma processing systems
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Angemeldet am 26.10.2017
Anhängig
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26.04.2018
Pin lifter assembly with small gap
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 19.10.2017
Anhängig
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26.04.2018
Silicon Oxide Silicon Nitride Stack Ion-Assisted Etch
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 09.10.2017
Anhängig
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26.04.2018
High Aspect Ratio Etch
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 05.10.2017
Anhängig
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Wer vertritt Lam Research?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Lam Research vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.172
Metallurgie & Oberflächentechnik
774
Elektronik & Schaltungstechnik
177
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
141
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
118
Optik & Fototechnik
116
Verfahrens- & Trenntechnik
105
Software & Datenverarbeitung
50
Elektrische Energietechnik
44
Steuerungs- & Regelungstechnik
42
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
39
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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