Lam Research Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.725 gesamt

Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
28.05.2003	28.05.2003 Verfahren und Vorrichtung zum Stabilisieren der Bearbeitungstemperatur Während Chemisch-Mechanischem Polieren EP1165288 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.03.2000 Erteilt am 28.05.2003 Vertretung Bucks, Teresa Anne · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.05.2003	21.05.2003 Cmp Vorrichtung mit einer Schwingenden Polierscheibe, die Entgegen der Drehrichtung der Halbleiterscheibe Dreht EP1311366 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.07.2001 Anhängig Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.05.2003	08.05.2003 Method and apparatus for controlling cmp pad surface finish WO03037566 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.10.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.05.2003	08.05.2003 Verfahren und Vorrichtung für Nitridspacer-Ätzprozess bei dem Bzw. bei der Endpunkt-Detektion mit Bzw. ohne Interferometrie Verwendet Wird WO03038889 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.10.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.04.2003	02.04.2003 Bürste zur Reinigung von Wafern EP1107290 Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.12.2000 Anhängig Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Walker, Ross Thomson · München Forresters IP LLP Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.03.2003	26.03.2003 Chemisch-Mechanische Poliervorrichtung mit Schwingendem Polierwerkzeug, mit Fixiertem Schleifstoff und Verfahren zu dessen Anwendung EP1294535 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.06.2001 Anhängig Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.03.2003	26.03.2003 Verfahren zur Entfernung von Photoresist nach einer Ätzung unter Verwendung von Wasserstoff EP1295315 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.06.2001 Anhängig Vertretung Browne, Robin Forsythe · Leeds Browne, Robin Forsythe · Leeds Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.03.2003	26.03.2003 Verfahren zum Ätzen von Doppeldamaszen-Strukturen in Organischem Silikatglas EP1295330 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.06.2001 Anhängig Vertretung Browne, Robin Forsythe · Leeds Browne, Robin Forsythe · Leeds Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.03.2003	26.03.2003 Geschaltete Homogenitätssteuerung EP1295309 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.06.2001 Anhängig Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Browne, Robin Forsythe · Leeds Browne, Robin Forsythe · Leeds Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.03.2003	26.03.2003 Halbleiter-Bearbeitungsvorrichtung mit Verringerter Erzeugung von Partikeln EP1295317 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.06.2001 Anhängig Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Shindler, Nigel · Tunbridge Wells Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.02.2003	20.02.2003 Gasverteilungselektrodenanordnung für Halbleiterbehandlungsreaktor WO03015133 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.07.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.01.2003	02.01.2003 Lineares Polierband mit Fixiertem Schleifmittel und Vorrichtung mit einem Solchen Band EP1268130 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.03.2001 Anhängig Vertretung Bucks, Teresa Anne · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.01.2003	02.01.2003 Vorrichtung zur Herstellung eines Trägermaterials mit Fixiertem Schleifmittel und zum Polieren von einer Halbleiterscheibe in Nur einem Prozessschritt EP1268132 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.03.2001 Anhängig Vertretung Bucks, Teresa Anne · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.01.2003	02.01.2003 Trägerkopf der einen Ausgeglichenen Auf- und Abtrieb auf eine Halbleiterscheibe Ausübt EP1268131 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.03.2001 Anhängig Vertretung Bucks, Teresa Anne · London Grünecker Patent- und Rechtsanwälte PartG mbB · München Grünecker, Kinkeldey, Stockmair & Schwanhäusser Anwaltssozietät · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.01.2003	02.01.2003 In Situ And Ex Situ Ätzverfahren für Sti und Anwendung zur Herstellung von Oxydkragen EP1269536 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.03.2001 Anhängig Vertretung Browne, Robin Forsythe · Leeds Browne, Robin Forsythe · Leeds Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.01.2003	02.01.2003 Magnetfeldveränderungsverfahren und -Vorrichtung zur Steuerung eines Plasmavolumens EP1269515 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.03.2001 Anhängig Vertretung Browne, Robin Forsythe · Leeds Browne, Robin Forsythe · Leeds Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.01.2003	02.01.2003 Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung einer Innen Magnetischen Flasche zur Steuerung eines Plasmavolumens EP1269516 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.03.2001 Anhängig Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Browne, Robin Forsythe · Leeds Browne, Robin Forsythe · Leeds Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.12.2002	19.12.2002 Plasmabehandlungsvorrichtung WO02101784 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.06.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.12.2002	05.12.2002 Plasma etching of silicon carbide WO02097852 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.03.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.11.2002	21.11.2002 Hohlkathoden-Plasmareaktor und Verfahren zu dessen Betrieb WO02093616 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.05.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.11.2002	14.11.2002 Duo-step plasma cleaning of chamber residues WO02090615 Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.05.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.11.2002	14.11.2002 High pressure wafer-less auto clean for etch applications WO02091453 Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.05.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.11.2002	07.11.2002 Plasma-Einschluss mittels Bevorzugten Rf-Rückführungspfades WO02089173 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.04.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.10.2002	24.10.2002 Vorrichtung und Verfahren zur Steuerung der an einem in einem Plasmaerzeuger Verwendeten Elektrostatischen Schirm Angelegten Spannung WO02084699 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.04.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.10.2002	24.10.2002 Steurung eines Induktiv Gekoppelten Plasmas durch ein Externes Magnetisches Material WO02084700 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.04.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.10.2002	16.10.2002 Elektrodenanordnung EP1249033 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.12.2000 Anhängig Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Kontrus, Gerhard · Villach Browne, Robin Forsythe · Leeds Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.10.2002	10.10.2002 Plasmabehandlungs-Verfahren und -Gerät mit Steuerung der Plasma Anregungsleistung WO02080214 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.03.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.10.2002	10.10.2002 Verfahren zur Plasma-Ätzung von Organosilikatmaterialen mit Niedriger Dielektrizitätskonstante WO02080230 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.03.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.10.2002	10.10.2002 Aufgestapelte Erregerspule für einen Induktiven Plasmaprozessor WO02080219 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.03.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.10.2002	10.10.2002 Induktives Plasmabearbeitungsgerät mit Mehrerem Wicklungen und Verfahren zur Steuerung der Plasmadichte WO02080221 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.03.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.10.2002	10.10.2002 Ceriumoxid Enthaltende Keramische Bauteile und Beschichtungen für Anlage zur Behandlung von Halbleitern WO02079538 Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.03.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.10.2002	10.10.2002 Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von einer Ultrareinen Miniumgebung durch Örtliche Luftströmungserhöhung WO02080236 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.03.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.10.2002	10.10.2002 Hebevorrichtung für Halbleiterwafer und Verfahren zu dessen Anwendung WO02080231 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.03.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.10.2002	10.10.2002 Vacuum plasma processor and method of operating same WO02080265 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.03.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.08.2002	22.08.2002 Verfahren zur Ätzung von Materialien mit Niedriger Dielektrizitätskonstante WO02065512 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.01.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.08.2002	22.08.2002 Verwendung von Ammoniak zum Ätzen von Dielektrischen Schichten mit Niedrigen Dielektrizitätskonstanten WO02065528 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.01.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.08.2002	22.08.2002 Verwendung von Kohlenwasserstoffenzugabe zur Entfernung von Mikromaskierung Während der Ätzung WO02065530 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.02.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.08.2002	22.08.2002 Photoresist Veraschung mit O2 und NH3 für Organosilikatglass Anwendungen WO02065513 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.01.2002 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.08.2002	14.08.2002 Temperaturregelungssystem für eine Plasmabehandlungsvorrichtung EP1230663 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.11.2000 Anhängig Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Browne, Robin Forsythe · Leeds Browne, Robin Forsythe · Leeds Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.07.2002	03.07.2002 Interferometrischer Endpunkt von Plasmaätzprozessen EP1218935 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.09.2000 Anhängig Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen