Lam Research Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.725 gesamt

Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
03.07.2002	03.07.2002 Methode und Apparate zur Grabentiefe-Fühlung und Kontrolle EP1218936 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.09.2000 Anhängig Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.07.2002	03.07.2002 Verfahren zur Reinigung und Behandlung einer Halbleiterscheibe nach einem Chemisch-Mechanischen Polierverfahren EP1218931 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.09.2000 Anhängig Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.06.2002	26.06.2002 Verfahren und Vorrichtung zur Charakterisierung von Mikroelektronischer Merkmalsqualität EP1216412 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.09.2000 Anhängig Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Walker, Ross Thomson · München Forresters IP LLP Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.06.2002	26.06.2002 Verfahren und Apparat zur Behandlung einer Keimschicht in Kupfer-Verbindungsleitungen EP1216486 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.09.2000 Anhängig Vertretung Walker, Ross Thomson · München Forresters IP LLP Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.04.2002	04.04.2002 Reaktorkammergestaltung zur Plasmaeinschliessung WO0227755 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.09.2001 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.04.2002	03.04.2002 Atmosphärisches Wafertransportmodul mit Legenest für Wafertransportroboter und Implementierungsverfahren dafür EP1192645 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.06.2000 Anhängig Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.04.2002	03.04.2002 Spül-, Schleuder-, Trocknungsstation mit einer Verstellbaren Düsenanordnung zum Spülen von Halbleiterwaferrückseiten EP1192642 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.06.2000 Anhängig Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.03.2002	27.03.2002 Verfahren zur Kantenabrundung und Gleichmässigen Tiefen-Ätzungen Während der Ätzung von Flachen Grabenisolationsstrukturen EP1190443 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.06.2000 Anhängig Vertretung Browne, Robin Forsythe · Leeds Browne, Robin Forsythe · Leeds Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.03.2002	27.03.2002 Megaschallreinigung mit Hoher Drehzahl EP1189710 Verfahrens- & Trenntechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.06.2000 Anhängig Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.03.2002	27.03.2002 Komponente mit Gleichförmigem Temperaturprofil für einen Plasmareaktor EP1190435 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.06.2000 Anhängig Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Barnard, Eric Edward · London Brookes Batchellor LLP · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.03.2002	20.03.2002 Post-Plasma Reinigungsverfahren und -System für Halbleiterscheibe EP1188177 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.06.2000 Anhängig Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.03.2002	13.03.2002 Methode und Apparat, eine Konventionelle Drahtverbindung auf einer Anschlussfläche aus Kupfer zu Ermöglichen EP1186022 Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.03.2000 Anhängig Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.01.2002	10.01.2002 A conditioning mechanism in a chemical mechanical polishing apparatus for semiconductor wafers WO0202277 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.06.2001 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.01.2002	10.01.2002 Integrated electronic hardware for wafer processing control and diagnostic WO0203416 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.06.2001 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.01.2002	10.01.2002 Rad und Förderband zum Transportieren von Halbleiterscheiben und Verfahren zum Überführen von Halbleiterscheiben WO0203433 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.06.2001 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.01.2002	02.01.2002 Umfangswaferhochhebung EP1166335 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.03.2000 Anhängig Vertretung Browne, Robin Forsythe · Leeds Browne, Robin Forsythe · Leeds Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.10.2001	11.10.2001 Verfahren zur Ausführung von Halbleiterscheiben-Vorbereitungsarbeitsgängen an Senkrechtausgerichteten Halbleiterscheiben WO0174533 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.03.2001 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.10.2001	04.10.2001 Polierkissen und Herstellungsverfahren EP1112816 Kunststoff- & Polymertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.12.2000 Anhängig Vertretung Bucks, Teresa Anne · London Grünecker Patent- und Rechtsanwälte PartG mbB · München Grünecker, Kinkeldey, Stockmair & Schwanhäusser Anwaltssozietät · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.09.2001	19.09.2001 Verfahren zum Ätzen von Schichten auf einem Halbleitersubstrat EP1069604 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.07.2000 Anhängig Vertretung Viering, Jentschura & Partner · München Viering, Jentschura & Partner mbB Patent- und Rechtsanwälte · Dresden Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.08.2001	01.08.2001 Dielektrische Doppel-Damaszen-Struktur und Verfahren zu deren Herstellung EP1119874 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.06.2000 Anhängig Vertretung Walker, Ross Thomson · München Forresters IP LLP Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.07.2001	12.07.2001 Verfahren und Vorrichtung zum Abrichten eines Poliertuches WO0149453 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.12.2000 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.07.2001	12.07.2001 Flexible Polishing Pad Having Reduced Surface Stress WO0149449 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.12.2000 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.07.2001	05.07.2001 In Situ Entfernung von Nach-Ätzung Photoresist und Polymeren, und Ätzkammerreinigung WO0148804 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.12.2000 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.07.2001	04.07.2001 Verfahren zum Strukturieren einer Schicht mit Niedriger Dielektrizitätskonstante EP1112590 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.06.2000 Anhängig Vertretung Hackney, Nigel John · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.06.2001	28.06.2001 Halbleiter-Verarbeitungseinrichtung WO0146986 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.12.2000 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.04.2001	05.04.2001 Spannungsregelungssensor und Steuerungsschnittstelle zur Radiofrequenz-Leistungsregelung in einem Plasmareaktor WO0124221 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.09.2000 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.04.2001	05.04.2001 Techniken zur Verbesserung der Ätzung in einem Plasmaverfahren WO0124230 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.09.2000 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.04.2001	05.04.2001 Vorbehandelte Gasverteilerplatte WO0124216 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.09.2000 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.04.2001	05.04.2001 Verfahren und Gerät um die Kammerinnerfläche in einem Halbleiterbehandlungsreaktor zu Kontrollieren WO0123636 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.09.2000 Anhängig Vertretung Browne, Robin Forsythe · Leeds Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.03.2001	29.03.2001 Gasverteilungsvorrichtung für Halbleiterverarbeitung WO0122479 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.09.2000 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.01.2001	11.01.2001 Gasverteilungsvorrichtung für Halbleiterverarbeitung WO0103163 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.06.2000 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.01.2001	04.01.2001 Verfahren und Apparat zum Ätzen eines mit Kohlenstoff Dotierten Organischen Silikatglases WO0101470 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.06.2000 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.01.2001	04.01.2001 Verfahren und Vorrichtung zur Ätzung einer Goldschicht mit einer Titan-Hardmaske WO0101473 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.06.2000 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.01.2001	04.01.2001 Verfahren und Vorrichtung zur Seitenwandpassivierung für Organische Ätzung WO0101471 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.06.2000 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.01.2001	04.01.2001 Bewegliche Barriere für Mehrere Ätzprozesse WO0101457 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.06.2000 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.01.2001	04.01.2001 Korrosionsbeständiges Bauteil für Anlage zur Behandlung von Halbleitern und Verfahren zu Seiner Herstellung WO0100901 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.06.2000 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.12.2000	21.12.2000 Optical view port for chemical mechanical planarization endpoint detection WO0076725 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.06.2000 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.12.2000	07.12.2000 Vorrichtung und Verfahren zum Trocknen von Scheibengruppen WO0074116 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.05.2000 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.12.2000	07.12.2000 Vorrichtung und Verfahren zum Trocknen von Scheibengruppen WO0074111 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.05.2000 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.12.2000	07.12.2000 Kaskadereiniger für Platten WO0074114 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.05.2000 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen