Lam Research Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.725 gesamt

Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
15.09.2004	15.09.2004 Atmosphärisches Wafertransportmodul mit einer Kontrollierten Umgebung EP1218926 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.09.2000 Erteilt am 15.09.2004 Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.09.2004	15.09.2004 Luftunterlage zur Vorder- und Hinterkantensteuerung EP1455988 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.12.2002 Anhängig Vertretung Bucks, Teresa Anne · London Grünecker Patent- und Rechtsanwälte PartG mbB · München Grünecker, Kinkeldey, Stockmair & Schwanhäusser Anwaltssozietät · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.08.2004	26.08.2004 Methods of reducing photoresist distortion while etching in a plasma processing system WO2004073025 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.02.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.08.2004	18.08.2004 Bandpoliervorrichtung mit Doppeltem Haltering EP1349703 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.12.2001 Erteilt am 18.08.2004 Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.08.2004	11.08.2004 Polierscheibe mit Druckbeaufschlagter Membran EP1349704 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.12.2001 Erteilt am 11.08.2004 Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.07.2004	28.07.2004 Verfahren zum Planarisierung-Ätzen mit In-Situ-Überwachung durch Interferometrie vor einem Grabenätzen EP1440466 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.10.2002 Anhängig Vertretung Walker, Ross Thomson · München Forresters IP LLP Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.06.2004	09.06.2004 Plattenanordnung mit einer Topgraphisch Geänderten Plattenoberfläche EP1425136 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.07.2002 Anhängig Vertretung Bucks, Teresa Anne · London Grünecker Patent- und Rechtsanwälte PartG mbB · München Grünecker, Kinkeldey, Stockmair & Schwanhäusser Anwaltssozietät · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.05.2004	21.05.2004 Substrate processing apparatus and method WO2004041454 Verfahrens- & Trenntechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.10.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.05.2004	06.05.2004 Verfahren und Vorrichtung zur Endpunktbestimmung Während des Plasmaätzens von Dünnen Filmen WO2004038788 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.10.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.04.2004	29.04.2004 System and method for determining a return-on-investment in a semiconductor or data storage fabrication facility WO2004036477 Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.10.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.04.2004	21.04.2004 Vorrichtung und Vefahren für das Kontrollierte Polieren und Planarisieren von Halbleiterschleifen EP1250215 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.01.2001 Erteilt am 21.04.2004 Vertretung Bucks, Teresa Anne · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.04.2004	14.04.2004 Vorrichtung und Verfahren zur Inhibierung von Galvanischen Korrosionseffekten in einem Reinigungssystem für Einzelhalbleiterscheiben EP1407481 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.07.2002 Anhängig Vertretung Walker, Ross Thomson · München Forresters IP LLP Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.04.2004	01.04.2004 Poliermittel zur Chemisch-Mechanischem Planarisierung (cmp) WO2004026983 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.09.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.02.2004	19.02.2004 Methods and apparatus for in situ substrate temperature monitoring by electromagnetic radiation emission WO2004015157 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.08.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.02.2004	11.02.2004 Fensterloses Polierband und Verfahren zum Vor-Ort Überwachen einer Halbleiterscheibe EP1214174 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.08.2000 Erteilt am 11.02.2004 Vertretung Viering, Jentschura & Partner mbB Patent- und Rechtsanwälte · Dresden Viering, Jentschura & Partner · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.02.2004	11.02.2004 Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Substrats durch die Durchfürung von der Verminderung der Oberflächenspannung EP1388164 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.05.2002 Anhängig Vertretung Dendorfer, Claus · München Dendorfer & Herrmann Dendorfer, Claus · München Dendorfer & Herrmann Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.01.2004	21.01.2004 Chemisch-Mechanische Poliervorrichtung mit einer mittels Druckluft Justierbaren Andruckplatte EP1381492 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.03.2002 Anhängig Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.01.2004	14.01.2004 Verfahren und Vorrichtung zur Endpunktauslösung mit Integrierter Lenkung EP1379356 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.03.2002 Anhängig Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.01.2004	07.01.2004 Spindelanordnung für Poliervorrichtung EP1207981 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.08.2000 Erteilt am 07.01.2004 Vertretung Bucks, Teresa Anne · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.01.2004	02.01.2004 Akustische Bestimmung der Entlassung/ Aufhebung und Vorrichtung dafür EP1374283 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.03.2002 Anhängig Vertretung Kemp, Paul Geoffrey · Nice Brookes IP · Tunbridge Wells Brookes Batchellor LLP · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.01.2004	02.01.2004 Verfahren zur Ätzung einer Organischen Antireflektionsschicht EP1374288 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.03.2002 Anhängig Vertretung Kemp, Paul Geoffrey · Nice Brookes IP · Tunbridge Wells Brookes Batchellor LLP · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.01.2004	02.01.2004 Verstärktes Polierkissen mit einer Geformten oder Flexiblen Fensterkonstruktion EP1372908 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.03.2002 Anhängig Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.01.2004	02.01.2004 Winkelschleuder-, Spül- und Trockenmodul und Verfahren zur Herstellung und Implementierung des Moduls EP1374285 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.03.2002 Anhängig Vertretung Walker, Ross Thomson · München Forresters IP LLP Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.01.2004	02.01.2004 Stütze für Polierband EP1372909 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.03.2002 Anhängig Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.12.2003	03.12.2003 Herstellungsvorrichtung für Halbleiter mit Keramischer Fliesenauskleidung EP1138055 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.09.2000 Erteilt am 03.12.2003 Vertretung Barnard, Eric Edward · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.11.2003	26.11.2003 Bornitrid-Yttriumoxid Verbundbauteile einer Halbleiterbearbeitungsvorrichtung und dessen Herstellungsverfahren EP1364075 Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.11.2001 Anhängig Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Kemp, Paul Geoffrey · Nice Brookes Batchellor LLP · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.10.2003	22.10.2003 Verfahren und Vorrichtung zum Chemisch-Mechanischen Polieren mit einer Zylinderförmigen Polierscheibe EP1212170 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.08.2000 Erteilt am 22.10.2003 Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.10.2003	22.10.2003 Substratverarbeitung in einem Immersions-, Scheuer- und Trocknungssystem EP1354337 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.10.2001 Anhängig Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.10.2003	22.10.2003 Methode und Apparat zur Kontrolle einer Halbleiterscheibe Während des Schleudertrockenvorgangs EP1354344 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.12.2001 Anhängig Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Walker, Ross Thomson · München Forresters IP LLP Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.10.2003	22.10.2003 Carbonitridbeschichtetes Bauelement von Halbleiterverarbeitungseinrichtungen und Verfahren zu Seiner Herstellung EP1354072 Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.11.2001 Anhängig Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Shindler, Nigel · Tunbridge Wells Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.10.2003	08.10.2003 Polierkissen mit Rillenmuster zur Verwendung in einer Chemisch-Mechanischen Poliervorrichtung EP1178872 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.05.2000 Erteilt am 08.10.2003 Vertretung Bucks, Teresa Anne · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.10.2003	01.10.2003 Vorrichtung und Verfahren zum Polieren und Planarisieren von Halbleiterscheiben mittels Polierkissen mit Verringerter Spezifischer Oberfläche EP1347861 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.12.2001 Anhängig Vertretung Bucks, Teresa Anne · London Grünecker Patent- und Rechtsanwälte PartG mbB · München Grünecker, Kinkeldey, Stockmair & Schwanhäusser Anwaltssozietät · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.09.2003	24.09.2003 Fullerenbeschichtetes Bauelement von Halbleiterverarbeitungseinrichtungen EP1346078 Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.11.2001 Anhängig Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Brookes Batchellor · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.09.2003	24.09.2003 Elektrode für Plasmaverfahren, Herstellungsverfahren und Verwendung Derselben EP1346394 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.12.2001 Anhängig Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Kemp, Paul Geoffrey · Nice Brookes Batchellor LLP · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.08.2003	06.08.2003 Infra-Rot Endpunktsystem für Cmp EP1332515 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.10.2001 Anhängig Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
30.07.2003	30.07.2003 Polierkissen mit Rillenmuster zur Verwendung in einer chemisch-mechanischen Poliervorrichtung EP1329290 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.05.2000 Anhängig Vertretung Bucks, Teresa Anne · London Grünecker Patent- und Rechtsanwälte PartG mbB · München Grünecker, Kinkeldey, Stockmair & Schwanhäusser Anwaltssozietät · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.07.2003	02.07.2003 Gasverteilungsvorrichtung für Plasmabehandlungsgerät EP1323178 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.09.2001 Anhängig Vertretung Kemp, Paul Geoffrey · Nice Brookes IP · Tunbridge Wells Brookes Batchellor LLP · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.06.2003	25.06.2003 Trägervorrichtung für eine Chemisch-Mechanische Poliervorrichtung EP1320440 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.09.2001 Anhängig Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.06.2003	25.06.2003 Cmp Vorrichtung und Verfahren zur Steuerung der Neigung des Trägerkopfs, des Halterrings und des Abrichtkopfs EP1320441 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.09.2001 Anhängig Vertretung Thomson, Paul Anthony · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.06.2003	11.06.2003 Verfahren und Einrichtung zur Messung der Kavitation EP1317806 Verfahrens- & Trenntechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.07.2001 Anhängig Vertretung Kontrus, Gerhard · Villach Kontrus, Gerhard · Villach Hallam, Arnold Vincent · Birmingham Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen