MKS Instruments Patente

🇺🇸 USA

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

425

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

Patente durchsuchen

425 gesamt

Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
30.11.2016	30.11.2016 Verfahren und Vorrichtung zur Durchfluss- und Konzentrationssteuerung ozonisierten Wassers EP1962165 Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.04.2003 Erteilt am 30.11.2016 Vertretung Taylor, Adam David · London Piésold, Alexander James · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.08.2016	17.08.2016 Vorrichtung und Verfahren zur Molekularen Druckdifferenzialspektroskopie für Komprimierbare Fluide EP3055670 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.10.2014 Anhängig Vertretung Carpmaels & Ransford LLP · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.08.2016	11.08.2016 Apparatus and method for metastable enhanced plasma ignition WO2016126475 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.01.2016 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.07.2016	27.07.2016 Gaslieferungsverfahren und System mit Strömungsratensteuerung mit Mehrfacher Antisymmetrischer Optimaler Steueranordnung EP2113098 Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.01.2008 Erteilt am 27.07.2016 Vertretung Rickard, David John · London Hill, Justin John · London EIP · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.07.2016	21.07.2016 Digitalization of analog mfc control input WO2016114836 Maschinenelemente & Fluidtechnik Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.10.2015 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.07.2016	21.07.2016 Radial Sealing Butterfly Valve WO2016115339 Maschinenelemente & Fluidtechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.01.2016 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.06.2016	29.06.2016 Verfahren und vorrichtung für ein system zur steuerung eines strömungsverhältnisses in mehreren kanälen EP2845921 Metallurgie & Oberflächentechnik Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.09.2012 Erteilt am 29.06.2016 Vertretung EIP · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.03.2016	16.03.2016 Hochpräziser Massenflussprüfer mit mehreren Eingängen EP2255166 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.01.2009 Erteilt am 16.03.2016 Vertretung Wegner, Hans · München Bardehle Pagenberg Müller-Boré & Partner Patentanwälte PartG mbB · München Müller-Boré & Partner Patentanwälte · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.01.2016	20.01.2016 Torusförmige Plasmabeseitigungsvorrichtung und Verfahren EP2969134 Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.03.2014 Anhängig Vertretung Lang, Johannes · München Bardehle Pagenberg Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.01.2016	06.01.2016 Drucksensor mit Echtzeitgesundheitsüberwachung und -Kompensation EP2962079 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.02.2014 Anhängig Vertretung Wegner, Hans · München Bardehle Pagenberg Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.11.2015	18.11.2015 Selbstkalibrierendes Drucksensorsystem mit Drucksensor und Referenzsensor mit Gemeinsamer Versiegelter Kammer EP2943764 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.04.2014 Anhängig Vertretung Wegner, Hans · München Bardehle Pagenberg Müller-Boré & Partner Patentanwälte PartG mbB · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.09.2015	16.09.2015 Vorrichtung für ein System zur Steuerung eines Strömungsverhältnisses in mehreren Kanälen EP2764134 Metallurgie & Oberflächentechnik Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.09.2012 Erteilt am 16.09.2015 Vertretung EIP · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.04.2015	02.04.2015 Cold Cathode Ionization Vacuum Gauge WO2015048664 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.09.2014 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.02.2015	11.02.2015 Verfahren und Vorrichtung zur Verhinderung von Instabilitäten bei der Hochfrequenz-Plasmaverarbeitung EP1671347 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.09.2004 Erteilt am 11.02.2015 Vertretung Lang, Johannes · München Bardehle Pagenberg Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.01.2015	21.01.2015 Verfahren und Systeme zum Stabilisieren eines Verstärkers EP2490330 Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.07.2004 Anhängig Vertretung Lang, Johannes · München Bardehle Pagenberg Zusammenfassung The invention generally relates to stabilizing an amplifier. In one aspect, a stabilization module that is in electrical communication with the amplifier is provided. The stabilization module includes both an open loop control system and a closed loop control system. The open loop control system is used to modify at least one characteristic of an input signal received by the stabilization module and to pass control to the closed loop control system. The closed loop control system is then used to modify the at least one characteristic of the input signal. The modified input signal is provided to the amplifier. Alle Patent-Informationen
27.11.2014	27.11.2014 Gas analyzer system with one or more retroreflectors WO2014189724 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.05.2014 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.11.2014	26.11.2014 Verfahren und Vorrichtung für Siloxanmessungen in einem Biogas EP2805148 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.01.2013 Anhängig Vertretung Lang, Johannes · München Bardehle Pagenberg Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.11.2014	06.11.2014 Pressure-Balanced Control Valves WO2014179412 Maschinenelemente & Fluidtechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.04.2014 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.10.2014	15.10.2014 Gasinjektor für Plasmaapplikator EP2789005 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.12.2012 Anhängig Vertretung Hill, Justin John · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.09.2014	18.09.2014 Pulse Synchronization By Monitoring Power in Another Frequency Band WO2014143215 Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.11.2013 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.09.2014	10.09.2014 Verfahren und Vorrichtung zur Abstimmung einer Elektrostatischen Ionenfalle EP2774169 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.10.2012 Anhängig Vertretung Jenkins, Peter David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.09.2014	03.09.2014 Ozonsystem für Mehrkammerwerkzeuge EP1899781 Anorganische Chemie & Werkstoffe Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.07.2006 Erteilt am 03.09.2014 Vertretung Lang, Johannes · München Bardehle Pagenberg Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.08.2014	28.08.2014 Methods and apparatus for automated predictive design space estimation WO2014130172 Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.01.2014 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.08.2014	27.08.2014 Massenspektrometrie von Chemischen Ionisationsreaktionen oder Protonentransferreaktionen mit einem Quadrupol- oder Laufzeit-Massenspektrometer EP2212903 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.09.2008 Erteilt am 27.08.2014 Vertretung Lang, Johannes · München Bardehle Pagenberg Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.03.2014	06.03.2014 Method and apparatus for a large area inductive plasma source WO2014035688 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.08.2013 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.03.2014	05.03.2014 Verfahren und Vorrichtung zum Speichern von Kalibrierungsparametern und Messdaten eines Vakuummeters in einer Vakuummessanordnung EP1825241 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.11.2005 Erteilt am 05.03.2014 Vertretung Jenkins, Peter David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.01.2014	22.01.2014 Verfahren und Vorrichtung zur Verhinderung von Instabilitäten bei der Hochfrequenz-Plasmaverarbeitung EP2092547 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.10.2006 Erteilt am 22.01.2014 Vertretung Lang, Johannes · München Bardehle Pagenberg Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.01.2014	08.01.2014 Plasmagerät mit Kühlkörper EP2296166 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.04.2004 Erteilt am 08.01.2014 Vertretung Lang, Johannes · München Bardehle Pagenberg Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.10.2013	10.10.2013 Multivariate monitoring of a batch manufacturing process WO2013152345 Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.04.2013 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.10.2013	09.10.2013 Architektur für Hochfrequenzgenerator mit hoher Betriebssicherheit EP2276169 Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.07.2006 Anhängig Vertretung Cozens, Paul Dennis · London Mathys & Squire Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.06.2013	12.06.2013 Vielseitige Halbleiterherstellungssteuerung mit Statistisch Wiederholbaren Ansprechzeiten EP1880336 Steuerungs- & Regelungstechnik Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.04.2006 Erteilt am 12.06.2013 Vertretung Horner, David Richard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.05.2013	23.05.2013 Toroidal plasma channel with varying cross-section areas along the channel WO2013074597 Metallurgie & Oberflächentechnik Elektrische Energietechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.11.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.05.2013	08.05.2013 Drucksteuerung für Vakuumbearbeitungssystem EP2137586 Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.03.2008 Erteilt am 08.05.2013 Vertretung Hill, Justin John · London Sharples, Andrew John · London Rickard, David John · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.05.2013	08.05.2013 Architektur für Hochfrequenzgenerator mit hoher Betriebssicherheit EP2276170 Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.07.2006 Anhängig Vertretung Cozens, Paul Dennis · London Mathys & Squire Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.04.2013	24.04.2013 Partial least squares Analyse (PLS-trees) zur hierarchischen Datenanordnung EP2584472 Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.12.2008 Anhängig Vertretung Greene, Simon Kenneth · Sevenoaks Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.04.2013	17.04.2013 System und Verfahren zur Karbonierung von Entionisiertem Wasser EP2104648 Anorganische Chemie & Werkstoffe	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.10.2007 Erteilt am 17.04.2013 Vertretung Lang, Johannes · München Bardehle Pagenberg Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.04.2013	10.04.2013 Vorrichtungen, Systeme und Verfahren zur Karbonisierung von Entionisiertem Wasser EP2577717 Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.05.2011 Anhängig Vertretung Lang, Johannes · München Bardehle Pagenberg Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.04.2013	03.04.2013 Methode und Apparat Fur Optische Messungen von Schichten und Oberflacheneigenschaften EP1212580 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.09.2000 Erteilt am 03.04.2013 Vertretung Jackson, Derek Charles · Claines Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.03.2013	06.03.2013 Verfahren zur Kalibration eines RF-Metrologiesystems EP1690278 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.07.2004 Erteilt am 06.03.2013 Vertretung Cozens, Paul Dennis · London Mathys & Squire Moir, Michael Christopher · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.02.2013	13.02.2013 Architektur für Hochfrequenzgenerator mit hoher Betriebssicherheit EP1750366 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.07.2006 Erteilt am 13.02.2013 Vertretung Cozens, Paul Dennis · London Mathys & Squire Moir, Michael Christopher · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen