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MKS Instruments Patente

🇺🇸 USA

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

425
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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425 gesamt
Patent
31.01.2013
Systems for and methods of controlling time-multiplexed deep reactive-ion etching processes
WO2013016532
Metallurgie & Oberflächentechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
13.12.2012
Mass spectrometry for gas analysis with a one-stage charged particle deflector lens between a charged particle source and a charged particle analyzer both offset from a central axis of the deflector lens
WO2012170168
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.12.2012
Mass Spectrometry For Gas Analysis in Which Both A Charged Particle Source And A Charged Particle Analyzer Are Offset From an Axis Of A Deflector Lens, Resulting in Reduced Baseline Signal Offsets
WO2012170170
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.11.2012
Method and system for shoot-through protection
WO2012158427
Elektrische Energietechnik Elektronik & Schaltungstechnik
07.11.2012
Kapazitiver Druckwandler
EP1218715
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
18.10.2012
Measuring Bulk Lifetime
WO2012141955
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.10.2012
Differentialkombination und absolutdruckwandler zur Kontrolle von Ladungsschleusen
EP1388888
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.09.2012
System to remove dissolved gases selectively from liquids
WO2012125820
Verfahrens- & Trenntechnik Anorganische Chemie & Werkstoffe
19.09.2012
Vakuumqualitätsmesssystem
EP2499476
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.09.2012
Optimization of data processing parameters
WO2012118884
Software & Datenverarbeitung
30.08.2012
System for and method of fast pulse gas delivery
WO2012116281
Metallurgie & Oberflächentechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
29.08.2012
Kapazitätsmanometer und Verfahren in Zusammenhang mit Automatischer Driftkorrektur
EP2137505
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
11.07.2012
Orthogonaler Radiofrequenz-Spannungs-/Stromsensor mit breitem Dynamikbereich
EP2108965
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
20.06.2012
Verfahren und Systeme zum Stabilisieren eines Verstärkers
EP1779507
Elektronik & Schaltungstechnik
14.06.2012
Measuring and controlling parameters of a plasma generator
WO2012078253
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.05.2012
Controlling a discrete-type manufacturing process with a multivariate model
WO2012067727
Steuerungs- & Regelungstechnik
19.04.2012
Method of and apparatus for multiple-channel pulse gas delivery system
WO2012050866
Metallurgie & Oberflächentechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
11.04.2012
Ventilanordnung
EP1864040
Maschinenelemente & Fluidtechnik
11.04.2012
Drucksteuerungssystem mit Optimierter Leistung
EP1996988
Metallurgie & Oberflächentechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik
05.04.2012
System for and method of fast pulse gas delivery
WO2012044658
Metallurgie & Oberflächentechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
22.03.2012
Monitoring, Detecting And Quantifying Chemical Compounds in A Gas Sample Stream
WO2012036970
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
01.02.2012
Heizgerät mit Temperaturregelung für Druckwandler
EP1327130
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
25.01.2012
System und Verfahren zur gepulsten Massenstromzuführung
EP2410076
Metallurgie & Oberflächentechnik
25.01.2012
System und Verfahren zur gepulsten Massenstromzuführung
EP2390382
Metallurgie & Oberflächentechnik
11.01.2012
Flussdefinitionsstruktur zur Verwendung mit einem Kapazitiven Drucksensor
EP1839024
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
05.01.2012
Capacitive pressure sensor with a groove for relieving diaphragm stresses
WO2012003110
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
04.01.2012
Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Zusammensetzung und Anderer Eigenschaften von Dünnfilmen
EP1257806
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
22.09.2011
Optimized Electrostatic Pinning And/or Charging
WO2011115605
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
14.09.2011
Fehlervorhersageschema für ein Leistungsabgabesystem zur Verarbeitung dünner Industriefolien
EP1816670
Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.08.2011
Capacitive Pressure Sensor
WO2011097249
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
28.07.2011
Control for and method of pulsed gas delivery
WO2011090825
Metallurgie & Oberflächentechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
21.07.2011
Apparatus for measuring minority carrier lifetime and method for using the same
WO2011088021
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.07.2011
Verfahren zum Beseitigen von metallhaltigen Gasen
EP1831425
Metallurgie & Oberflächentechnik
29.06.2011
Thermischer Differenz-Massenflusssensor mit Konstanten Temperaturgradienten
EP1272819
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
16.06.2011
Methods of and apparatus for controlling pressure in multiple zones of a process tool
WO2011071706
Metallurgie & Oberflächentechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
12.05.2011
Butterfly Valve
WO2011056385
Maschinenelemente & Fluidtechnik
11.05.2011
Ozonkonzentrationssensor
EP1730495
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
20.04.2011
Hochfrequenz-Bzw. (hf)-Envelopenpulsierung unter Verwendung von Phasenumschaltung von Schalt-Leistungsverstärkern
EP2311186
Elektronik & Schaltungstechnik
13.04.2011
Teilchenfalle für eine Plasmaquelle
EP2308075
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.01.2011
Upstream volume mass flow verification systems and methods
WO2011011255
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
163
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
114
Elektronik & Schaltungstechnik
78
Steuerungs- & Regelungstechnik
60
Metallurgie & Oberflächentechnik
51
Maschinenelemente & Fluidtechnik
34
Elektrische Energietechnik
25
Verfahrens- & Trenntechnik
16
Anorganische Chemie & Werkstoffe
14
Software & Datenverarbeitung
14
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
4
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
3

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