MKS Instruments Patente

🇺🇸 USA

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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425 gesamt

Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
15.05.2019	15.05.2019 Adaptives Periodisches Wellenform Leistungssteuergerät und Verfahren Dazu EP3227903 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.12.2015 Erteilt am 15.05.2019 Vertretung Kramer, Dani · London Mathys & Squire Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.05.2019	08.05.2019 Spurengaskonzentration in Art-Ms-Fallen EP2825875 Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.03.2013 Erteilt am 08.05.2019 Vertretung Style, Kelda Camilla Karen · Helsinki Page White & Farrer Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.05.2019	01.05.2019 Verstärker mit Variablen Klasseneigenschaften EP2553808 Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.01.2011 Erteilt am 01.05.2019 Vertretung Kramer, Dani · London Mathys & Squire Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.04.2019	24.04.2019 Ionisationsmessgerät mit Emissionsstrom- und Vorspannungspotenzialsteuerung EP2326931 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.09.2009 Erteilt am 24.04.2019 Vertretung Jenkins, Peter David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.04.2019	17.04.2019 Verfahren und Vorrichtung für Direkt Elektrisch Beheizten Durchflussreaktor EP3104941 Sport, Freizeit & Sicherheitstechnik Verfahrens- & Trenntechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.02.2015 Erteilt am 17.04.2019 Vertretung Lang, Johannes · München Bardehle Pagenberg Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.04.2019	10.04.2019 Festkörperimpedanzanpassungssysteme mit einem Hybriden Abstimmnetzwerk mit einem Schaltbaren Grobabstimmungsnetzwerk und einem Varaktor-Feinabstimmungsnetzwerk EP3465910 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.03.2017 Anhängig Vertretung Kramer, Dani · London Mathys & Squire Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.04.2019	10.04.2019 System und Verfahren zur Schnellen Impulsgaszufuhr EP3117023 Metallurgie & Oberflächentechnik Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.02.2015 Erteilt am 10.04.2019 Vertretung Wegner, Hans · München Bardehle Pagenberg Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.03.2019	06.03.2019 Verfahren und Vorrichtung zur Selbstüberprüfung von Druckbasierten Masseflussreglern EP2901227 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.08.2013 Erteilt am 06.03.2019 Vertretung Epping - Hermann - Fischer · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.02.2019	27.02.2019 Mehrpunktspannungs- und Stromsondensystem EP1995759 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.10.2007 Erteilt am 27.02.2019 Vertretung Cozens, Paul Dennis · London Mathys & Squire Moir, Michael Christopher · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.02.2019	27.02.2019 Elektrostatische Ionenfalle EP2430646 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.05.2010 Erteilt am 27.02.2019 Vertretung Jenkins, Peter David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.02.2019	13.02.2019 Pulver- und Ablagerungsbekämpfung in einer Drosselklappe EP3066369 Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.11.2014 Erteilt am 13.02.2019 Vertretung Grünecker Patent- und Rechtsanwälte PartG mbB · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.02.2019	13.02.2019 Toroidale Niederfeld- Plasma- und Reaktivgas-quelle mit dielektrischem Vakuumbehälter EP1618588 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.04.2004 Erteilt am 13.02.2019 Vertretung Lang, Johannes · München Bardehle Pagenberg Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.01.2019	23.01.2019 Schnell Ansprechende Signalschaltung mit einer Kaltkathode EP2737291 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.07.2012 Erteilt am 23.01.2019 Vertretung Grünecker, Kinkeldey, Stockmair & Schwanhäusser · München Grünecker Patent- und Rechtsanwälte PartG mbB · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.01.2019	23.01.2019 System und Verfahren zur Bereitstellung eines Druckunempfindlichen Selbstprüfenden Massendurchflussreglers EP3105647 Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.01.2015 Erteilt am 23.01.2019 Vertretung Wegner, Hans · München Bardehle Pagenberg Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.01.2019	09.01.2019 Vielseitiger Nullschaltungs-Schaltresonanzwechselrichter für Industrielle Generatoranwendungen mit Dielektrischer Sperrentladung EP2834911 Elektrische Energietechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.03.2013 Erteilt am 09.01.2019 Vertretung Finnie, Peter John · Sevenoaks Gill Jennings & Every LLP · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.01.2019	02.01.2019 Mikrobearbeiteter Volumenwellenresonatordrucksensor EP3420332 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.05.2017 Anhängig Vertretung Brown, Alexander Edward · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.12.2018	12.12.2018 Ionisierungsmessgerät mit für Hochdruckbetrieb Ausgelegten Betriebsparametern und Geometrie EP2252869 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.02.2009 Erteilt am 12.12.2018 Vertretung Jenkins, Peter David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.11.2018	14.11.2018 Stromversorung des Lastresonanztyps für eine Ozonerzeugungsvorrichtung EP1929615 Verfahrens- & Trenntechnik Anorganische Chemie & Werkstoffe	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.08.2006 Erteilt am 14.11.2018 Vertretung Lang, Johannes · München Bardehle Pagenberg Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.10.2018	31.10.2018 Ionisierungsmessgerät für Hochdruckoperationen EP2800960 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.02.2013 Erteilt am 31.10.2018 Vertretung Style, Kelda Camilla Karen · Helsinki Page White & Farrer Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.10.2018	25.10.2018 End point detection for lyophilization WO2018194925 Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.04.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.10.2018	17.10.2018 Frequenzabhängige Filterung von Signalen in einer Radiofrequenzplasmaquelle EP1520288 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.04.2003 Erteilt am 17.10.2018 Vertretung Fritzon, Rolf · Stockholm Kransell & Wennborg KB · Stockholm Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.09.2018	05.09.2018 Verstärkungseinstellung eines Reglers für Massendurchflusssteuerungen EP2089679 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.07.2007 Erteilt am 05.09.2018 Vertretung Hill, Justin John · London Hill, Justin John · London Rickard, David John · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.08.2018	01.08.2018 Mehrkanal-Funkfrequenzgenerator EP2553707 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.01.2011 Erteilt am 01.08.2018 Vertretung Kramer, Dani · London Mathys & Squire Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.07.2018	18.07.2018 Rezirkulationssystem von Ozoniertem Entionisiertem Wasser (DIO3) EP3348520 Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.11.2013 Anhängig Vertretung Lang, Johannes · München Bardehle Pagenberg Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.07.2018	12.07.2018 Protective oxide coating with reduced metal concentrations WO2018128771 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.12.2017 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.06.2018	27.06.2018 Überwachungssteuerung eines Hochfrequenten (rf) Impedanzabstimmungsbetriebs EP3338295 Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.08.2016 Anhängig Vertretung Kramer, Dani · London Mathys & Squire MKS IP Association · Berlin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.05.2018	02.05.2018 Hochleistungs-Lcl-Kombinator EP2614554 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.09.2011 Erteilt am 02.05.2018 Vertretung Morrall, Jonathan Ian McLachlan · London Kilburn & Strode LLP Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.02.2018	21.02.2018 System und Verfahren für Drucklose Rezirkulationsrückforderung von Ozoniertem D I -Wasser (DI03) EP2917152 Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.11.2013 Erteilt am 21.02.2018 Vertretung Lang, Johannes · München Bardehle Pagenberg Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.12.2017	13.12.2017 Spannungsentlastungs-Mems-Struktur und -Verpackung EP3253708 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.01.2016 Anhängig Vertretung CMS Cameron McKenna Nabarro Olswang LLP · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.12.2017	06.12.2017 Planar-basierte HF-Sensortechnologie EP2699064 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.08.2013 Anhängig Vertretung Kramer, Dani · London Mathys & Squire Zusammenfassung A radio frequency sensor system includes a printed circuit board (PCB) (12). The PCB includes a first exterior layer (14a), a second exterior layer (14b), a first interior layer (32), a second interior layer (34), and an inner perimeter that defines an aperture (18) through the PCB (12). The PCB (12) also includes a first loop. The first loop includes a first plurality of sensor pads (30) coupled to a first plurality of vias (16) by a first plurality of traces (44). The first plurality of sensor pads (30) is arranged on the inner perimeter. The PCB (12) also includes a second loop. The second loop includes a second plurality of sensor pads (30) coupled to a second plurality of vias (22) by a second plurality of traces (44). The second plurality of sensor pads (30) is arranged on the inner perimeter. A core ring (42) is embedded within the first interior layer (32) proximal to the first plurality of sensor pads (30), the first plurality of vias (16), and the first plurality of traces (44). A center conductor (20), for carrying RF current, extends through the aperture (18). The first and second loops generate an electrical signal based on the first and second plurality of sensor pads (30), the first and second plurality of vias (16, 22), the first and second plurality of traces (44), and the core ring (42). Alle Patent-Informationen
06.12.2017	06.12.2017 Korrosions- und Ablagerungsgeschützte Ventilvorrichtung und Verfahren EP2912358 Maschinenelemente & Fluidtechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.10.2013 Erteilt am 06.12.2017 Vertretung Grünecker Patent- und Rechtsanwälte PartG mbB · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.11.2017	16.11.2017 Trans-impedance amplifier with increased dynamic range WO2017197078 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.05.2017 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.08.2017	23.08.2017 Reduzierung von Kupfer- oder Spurenmetallverunreinigungen bei Plasmaelektrolytischen Oxidationsbeschichtungen EP2576872 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.06.2011 Erteilt am 23.08.2017 Vertretung Lang, Johannes · München Bardehle Pagenberg Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.08.2017	23.08.2017 Breitbandig ausgeführtes Sondenanalysensystem EP1244133 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.03.2002 Erteilt am 23.08.2017 Vertretung Moir, Michael Christopher · London Cozens, Paul Dennis · London Mathys & Squire Duhme, Torsten · Stuttgart Mathys & Squire LLP · Holborn London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.06.2017	07.06.2017 Verfahren zur Zündung einer Plasmaquelle EP2276052 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.04.2004 Erteilt am 07.06.2017 Vertretung Lang, Johannes · München Bardehle Pagenberg Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.05.2017	03.05.2017 Stromversorgungsschaltungen mit Transformatoren zum Kombinieren von Leistungsverstärkerausgängen und Isolierung von Lastspannungsbegrenzungsschaltungen EP3161948 Elektrische Energietechnik Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.06.2015 Anhängig Vertretung Kramer, Dani · London Mathys & Squire Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.03.2017	09.03.2017 Direct three phase parallel resonant inverter for reactive gas generator applications WO2017040295 Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.08.2016 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.02.2017	01.02.2017 Micro-Pirani-Vakuummessvorrichtungen EP3123135 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.02.2015 Anhängig Vertretung Wegner, Hans · München Bardehle Pagenberg Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.01.2017	12.01.2017 Feedthrough Leakage Current Detection And Decontamination in Ionization Gauges WO2017007532 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.05.2016 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.01.2017	04.01.2017 Pilotventilstrukturen und Massendurchflusssteuerungen EP3111124 Maschinenelemente & Fluidtechnik Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.02.2015 Anhängig Vertretung Wegner, Hans · München Bardehle Pagenberg Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen