Tokyo Electron Patente
🇯🇵 Japan
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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2.414 gesamt| Patent | |||
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23.09.2010
Substrate processing method and substrate processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.02.2010
Anhängig
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22.09.2010
Prüfvorrichtung und Prüfverfahren
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 10.07.2008
Erteilt am 22.09.2010
Vertretung
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16.09.2010
Method for forming cu film, and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.02.2010
Anhängig
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16.09.2010
Method for forming cu film and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.02.2010
Anhängig
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16.09.2010
Method for forming cu film, and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.02.2010
Anhängig
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16.09.2010
Probe Card
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.02.2010
Anhängig
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16.09.2010
Substrate processing apparatus, trap device, method for controlling substrate processing apparatus, and method for controlling trap device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.03.2010
Anhängig
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16.09.2010
Method for forming cvd-ru film and method for manufacturing semiconductor devices
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.02.2010
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16.09.2010
Vaporizer
Verfahrens- & Trenntechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 11.03.2010
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16.09.2010
WO2010104152
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 11.03.2010
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16.09.2010
Substrate washing method
Verfahrens- & Trenntechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.03.2010
Anhängig
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16.09.2010
Substrate cleaning method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.03.2010
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10.09.2010
Fluid Controller
Metallurgie & Oberflächentechnik
Steuerungs- & Regelungstechnik
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Status
Angemeldet am 06.11.2009
Anhängig
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10.09.2010
Gate valve and method of opening/closing the gate valve
Verpackungs- & Fördertechnik
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 12.02.2010
Anhängig
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10.09.2010
Placing table structure, film forming apparatus, and raw material recovery method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.03.2010
Anhängig
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02.09.2010
Turbo molecular pump and particle trap for turbo molecular pump
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 05.02.2010
Anhängig
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01.09.2010
Stabilisierte Oszillatorschaltung zur Messung der Plasmadichte
Elektronik & Schaltungstechnik
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26.08.2010
Method for forming silicon oxide film and method for manufacturing semiconductor device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.12.2009
Anhängig
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26.08.2010
Method for forming cu film and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.01.2010
Anhängig
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26.08.2010
Method for forming cu film and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.01.2010
Anhängig
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26.08.2010
Plasma processing method
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 17.02.2010
Anhängig
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25.08.2010
Mikrostrukturinspektionsvorrichtung und Mikrostrukturinspektionsverfahren
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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12.08.2010
Plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 14.01.2010
Anhängig
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11.08.2010
Nadelkarte
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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11.08.2010
Sondenvorrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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05.08.2010
Microwave plasma processing apparatus, dielectric board provided with slot board for microwave plasma processing apparatus, and method for manufacturing dielectric board
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.12.2009
Anhängig
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05.08.2010
Film formation method, and plasma film formation apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.01.2010
Anhängig
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29.07.2010
Plasma processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 02.11.2009
Anhängig
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29.07.2010
Surface treatment for a fluorocarbon film
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.01.2010
Anhängig
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22.07.2010
Semiconductor device and method for manufacturing same
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.01.2010
Anhängig
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22.07.2010
Capacitor and process for manufacturing capacitor
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 14.01.2010
Anhängig
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01.07.2010
Method for measuring thickness of metal film, and method and apparatus for processing substrate
Metallurgie & Oberflächentechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 15.12.2009
Anhängig
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24.06.2010
Vacuum processing apparatus and vacuum transfer apparatus
Verpackungs- & Fördertechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.12.2009
Anhängig
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24.06.2010
System for processing of substrate, method of processing of substrate, and storage medium that stores program
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.12.2009
Anhängig
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24.06.2010
System and method for rinse optimization
Verfahrens- & Trenntechnik
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Status
Angemeldet am 18.11.2009
Anhängig
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17.06.2010
Plasma processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 02.11.2009
Anhängig
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17.06.2010
Film-forming method, film-forming apparatus, and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.12.2009
Anhängig
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10.06.2010
Probe Card
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.10.2009
Anhängig
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09.06.2010
Verdampfungsgerät, Filmbildungsgerät, Filmbildungsverfahren und Speichermedium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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02.06.2010
Verfahren und Vorrichtung zur Diagnose von Beeinträchtigungen in Kommunikationssystemen
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
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Wer vertritt Tokyo Electron?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Tokyo Electron vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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