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Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414
Patente
2000–2024
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.414 gesamt
Patent
23.09.2010
Substrate processing method and substrate processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.09.2010
Prüfvorrichtung und Prüfverfahren
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
16.09.2010
Method for forming cu film, and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.09.2010
Method for forming cu film and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.09.2010
Method for forming cu film, and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.09.2010
Probe Card
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.09.2010
Substrate processing apparatus, trap device, method for controlling substrate processing apparatus, and method for controlling trap device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.09.2010
Method for forming cvd-ru film and method for manufacturing semiconductor devices
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.09.2010
Vaporizer
Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
16.09.2010
WO2010104152
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik
16.09.2010
Substrate washing method
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.09.2010
Substrate cleaning method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.09.2010
Fluid Controller
Metallurgie & Oberflächentechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
10.09.2010
Gate valve and method of opening/closing the gate valve
Verpackungs- & Fördertechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik
10.09.2010
Placing table structure, film forming apparatus, and raw material recovery method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.09.2010
Turbo molecular pump and particle trap for turbo molecular pump
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
01.09.2010
Stabilisierte Oszillatorschaltung zur Messung der Plasmadichte
Elektronik & Schaltungstechnik
26.08.2010
Method for forming silicon oxide film and method for manufacturing semiconductor device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.08.2010
Method for forming cu film and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.08.2010
Method for forming cu film and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.08.2010
Plasma processing method
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
25.08.2010
Mikrostrukturinspektionsvorrichtung und Mikrostrukturinspektionsverfahren
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
12.08.2010
Plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
11.08.2010
Nadelkarte
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
11.08.2010
Sondenvorrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.08.2010
Microwave plasma processing apparatus, dielectric board provided with slot board for microwave plasma processing apparatus, and method for manufacturing dielectric board
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.08.2010
Film formation method, and plasma film formation apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.07.2010
Plasma processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
29.07.2010
Surface treatment for a fluorocarbon film
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.07.2010
Semiconductor device and method for manufacturing same
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.07.2010
Capacitor and process for manufacturing capacitor
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.07.2010
Method for measuring thickness of metal film, and method and apparatus for processing substrate
Metallurgie & Oberflächentechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
24.06.2010
Vacuum processing apparatus and vacuum transfer apparatus
Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.06.2010
System for processing of substrate, method of processing of substrate, and storage medium that stores program
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.06.2010
System and method for rinse optimization
Verfahrens- & Trenntechnik
17.06.2010
Plasma processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
17.06.2010
Film-forming method, film-forming apparatus, and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.06.2010
Probe Card
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.06.2010
Verdampfungsgerät, Filmbildungsgerät, Filmbildungsverfahren und Speichermedium
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.06.2010
Verfahren und Vorrichtung zur Diagnose von Beeinträchtigungen in Kommunikationssystemen
Nachrichtentechnik & Telekommunikation

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