Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414

Patente

2000–2024

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
29.11.2007	29.11.2007 Method and apparatus for forming silicon oxide film WO2007136049 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.05.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.11.2007	08.11.2007 Apparatus for inspecting fine structure and method for inspecting fine structure WO2007125756 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.04.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.11.2007	08.11.2007 Method for depositing ti film WO2007125836 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.04.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.11.2007	08.11.2007 Process information managing device and program WO2007125886 Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.04.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.11.2007	08.11.2007 Film position adjusting method, memory medium and substrate processing system WO2007126016 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.04.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.11.2007	08.11.2007 Sequential oxide removal using fluorine and hydrogen WO2007126460 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.01.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.11.2007	01.11.2007 Probe card and glass substrate drilling method WO2007123150 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.04.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.11.2007	01.11.2007 Method for depositing ti film WO2007123211 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.04.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.11.2007	01.11.2007 In-Die Optical Metrology WO2007123696 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.03.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.11.2007	01.11.2007 Creating a library for measuring a damaged structure formed on a wafer using optical metrology WO2007123698 Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.03.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.10.2007	25.10.2007 Feeder for drug solution or ultrapurified water, board treating system, board treating device or board treating method WO2007119745 Maschinenelemente & Fluidtechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.04.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.10.2007	18.10.2007 Dynamic metrology sampling with wafer uniformity control WO2007117737 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.01.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.10.2007	18.10.2007 Processing apparatus WO2007116940 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.04.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.10.2007	18.10.2007 Measuring a damaged structure formed on a wafer using optical metrology WO2007117436 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.03.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.10.2007	18.10.2007 Method for introducing a precursor gas to a vapor deposition system WO2007117803 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.03.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.10.2007	18.10.2007 Method for integrating a conformal ruthenium layer into copper metallization of high aspect ratio features WO2007117802 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.03.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.10.2007	18.10.2007 Semiconductor device with gate dielectric containing mixed rare earth elements WO2007117991 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.03.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.10.2007	11.10.2007 Substrate processing apparatus and substrate placing table WO2007114335 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.03.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.10.2007	11.10.2007 Exhaust structure of film-forming apparatus, film-forming apparatus, and method for processing exhaust gas WO2007114427 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.04.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.10.2007	11.10.2007 Method of forming mixed rare earth oxide and aluminate films by atomic layer deposition WO2007115029 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.03.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.10.2007	11.10.2007 Monitoring a system during low-pressure processes WO2007115084 Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.03.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.10.2007	11.10.2007 Monitoring a single-wafer processing system WO2007115080 Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.03.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.10.2007	11.10.2007 Monitoring a monolayer deposition (mld) system using a built-in self test (bist) table WO2007115136 Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.03.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.10.2007	10.10.2007 Mikrostrukturelement-Füllprozess und Vorrichtung mit Hexachlorodisilan oder einem Anderen Chlorhaltigen Silizium-Precursor EP1842231 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.11.2005 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.10.2007	04.10.2007 Method of substrate treatment, process for producing semiconductor device, substrate treating apparatus, and recording medium WO2007111126 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.03.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.10.2007	04.10.2007 Semiconductor processing system with wireless sensor network monitoring system incorporated therewith WO2007112180 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.03.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.09.2007	27.09.2007 Plasma processing apparatus WO2007108366 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.03.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.09.2007	27.09.2007 Ceramic coating member for semiconductor processing apparatus WO2007108546 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.03.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.09.2007	20.09.2007 Method for forming ti-based film and storage medium WO2007105432 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.02.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.09.2007	13.09.2007 Processing device WO2007102464 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.03.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.09.2007	07.09.2007 Plasma oxidation method and method for manufacturing semiconductor device WO2007099922 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.02.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
30.08.2007	30.08.2007 Method for forming amorphous carbon film and method for manufacturing semiconductor device using same WO2007097432 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.02.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.08.2007	23.08.2007 Film precursor evaporation system and method of using WO2007095407 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.01.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.08.2007	23.08.2007 Exhaust Deposit Buildup Monitoring in Semiconductor Processing WO2007095487 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.02.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.08.2007	16.08.2007 Plasma treatment apparatus WO2007091435 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.01.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.08.2007	16.08.2007 Film forming method, plasma film forming apparatus and storage medium WO2007091682 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.02.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.08.2007	16.08.2007 Apparatus for controlling substrate processing apparatus and program for controlling substrate processing apparatus WO2007091555 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.02.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.08.2007	16.08.2007 Plasma treatment device, and plasma treatment method WO2007091672 Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.02.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.08.2007	09.08.2007 Light source device, substrate treating device, and substrate treating method WO2007088817 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.01.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.08.2007	09.08.2007 Substrate processing apparatus, substrate placing table used for same, and member exposed to plasma WO2007088894 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.01.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen