Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414

Patente

2000–2024

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
09.08.2007	09.08.2007 Microwave plasma processing apparatus WO2007088904 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.01.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.08.2007	08.08.2007 Verfahren und System zur Abscheidung von Metallschichten aus Metallcarbonylvorläufern EP1815043 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.10.2005 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.08.2007	01.08.2007 Belichtungsbedingungs-Einrichtverfahren, Substratverarbeitungseinrichtung und Computerprogramm EP1814143 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.11.2005 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.07.2007	26.07.2007 Substrate processing device, license management program, license information provision device, license information provision program, license management system and recording medium WO2007083499 Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.12.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.07.2007	26.07.2007 Plasma processing apparatus WO2007083653 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.01.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.07.2007	25.07.2007 Impedanzmessungsschaltkreis, -Detektor und Verfahren zur Impedanzmessung EP1219967 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.03.2001 Erteilt am 25.07.2007 Vertretung Balsters, Robert · Onex Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.07.2007	19.07.2007 Vacuum treating device and vacuum treating method WO2007080934 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.01.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.07.2007	19.07.2007 Method of forming porous film and computer-readable recording medium WO2007080944 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.01.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.07.2007	12.07.2007 Method for cleaning/drying apparatus for transferring subject to be processed, cleaning/drying apparatus and storing medium WO2007077992 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.01.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.07.2007	11.07.2007 Plasmafilmbildungsverfahren und Plasmafilmbildungseinrichtung EP1806776 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.10.2005 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.07.2007	11.07.2007 System zur Messung der Elektronendichte und Plasma-Prozesssteuerung, das Änderungen in der Resonanzfrequenz eines Plasma Enthaltenden Offen Resonators Verwendet EP1212611 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.07.2000 Erteilt am 11.07.2007 Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.07.2007	05.07.2007 Substrate processing device and substrate processing method WO2007074607 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.11.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.07.2007	05.07.2007 Film forming apparatus, film forming method, precoating layer, and method for precoating layer formation WO2007074678 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.12.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.06.2007	27.06.2007 Verfahren und Vorrichtung zur Substratverarbeitung EP1801860 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.10.2005 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.06.2007	13.06.2007 Verfahren zur Siliziumeinlagerung in Cvd-Metallfilme EP1340245 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.10.2001 Erteilt am 13.06.2007 Vertretung Findlay, Alice Rosemary · London Reddie & Grose LLP Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.05.2007	31.05.2007 Substrate processing apparatus, substrate cleaning/drying apparatus, substrate processing method and substrate processing program WO2007060844 Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.11.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
30.05.2007	30.05.2007 Vorrichtung und Verfahren zur Substratbehandlung EP1791160 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.11.2006 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.05.2007	23.05.2007 Substratverarbeitungsverfahren EP1788618 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.07.2005 Anhängig Vertretung Goddar, Heinz J · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.05.2007	09.05.2007 Interposer und Verfahren zur Herstellung eines Interposers EP1783832 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.07.2005 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.05.2007	02.05.2007 Plasmaverarbeitungseinrichtung und Verfahren EP1780777 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.06.2005 Anhängig Vertretung Wiedemann, Peter · München Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.04.2007	26.04.2007 Substrate treating apparatus, method of substrate treatment, program, and recording medium in which program is recorded WO2007046204 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.09.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.04.2007	25.04.2007 Universelle Rückwandvorrichtung und Verfahren EP1388162 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.04.2002 Erteilt am 25.04.2007 Vertretung Findlay, Alice Rosemary · London Reddie & Grose LLP Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.04.2007	12.04.2007 Method for integrating a ruthenium layer with bulk copper in copper metallization WO2007040704 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.07.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.04.2007	12.04.2007 Method and system for etching silicon oxide and silicon nitride with high selectivity relative to silicon WO2007040716 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.07.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.04.2007	12.04.2007 Plasma-assisted vapor phase treatment of low dielectric constant films using a batch processing system WO2007040856 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.08.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.04.2007	12.04.2007 Hyperthermal neutral beam source and method of operating WO2007041194 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.09.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.04.2007	12.04.2007 Plural treatment step process for treating dielectric films WO2007040834 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.08.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.04.2007	12.04.2007 A method for metallic dry-filling WO2007041469 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.09.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.04.2007	05.04.2007 Substrate processing method WO2007037305 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.09.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.03.2007	22.03.2007 Substrate-processing apparatus, substrate-processing method, substrate-processing program, and computer-readable recording medium recorded with such program WO2007032370 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.09.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.02.2007	22.02.2007 Low temperature formation of patterned epitaxial si containing films WO2007021421 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.07.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.02.2007	01.02.2007 Substrate processing method and substrate processing apparatus WO2007013605 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.07.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.02.2007	01.02.2007 Semiconductor device, semiconductor device fabrication method, semiconductor device fabrication method program and semiconductor fabrication device WO2007013580 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.07.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.01.2007	24.01.2007 Mehrsäulige Ladungspartikel-Optikbaugruppe EP1745492 Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.05.2005 Anhängig Vertretung Jehan, Robert · Bromley Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.01.2007	11.01.2007 Removal of residues for low-k dielectric materials in wafer processing WO2007005197 Verfahrens- & Trenntechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.06.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.12.2006	20.12.2006 Verfahren und System zur Run-To-Run-Steuerung EP1733325 Steuerungs- & Regelungstechnik Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.02.2005 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.11.2006	23.11.2006 Plasma treatment apparatus WO2006123526 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.04.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.11.2006	22.11.2006 Sonde und Sondenherstellungsverfahren EP1724594 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.03.2005 Anhängig Vertretung Goddar, Heinz J · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.10.2006	25.10.2006 Abscheidung von Titannitridfilm EP1715079 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.12.2004 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.10.2006	19.10.2006 Film forming method and film forming apparatus WO2006109735 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.04.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen