ASML Logo

ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

Patente durchsuchen

5.380 gesamt
Patent
10.11.2010
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
EP1510872
Optik & Fototechnik
03.11.2010
Für die Erzeugung von Strahlung Konstruiertes und Konfiguriertes Gerät, Lithographie-Vorrichtung und Geräteherstellungsverfahren
EP2245910
Elektronik & Schaltungstechnik
21.10.2010
Mask inspection with fourier filtering and image compare
WO2010118927
Optik & Fototechnik
14.10.2010
Shared compliance in a rapid exchange device for reticles, and reticle stage
WO2010115657
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.10.2010
Halter, lithographisches Gerät und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1391786
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.10.2010
Verfahren und Vorrichtung zur Charakterisierung der Lithographie mittels winkelaufgelöster Spektroskopie
EP1628164
Optik & Fototechnik
06.10.2010
Verfahren und Apparat zur Erzeugung überlagerter Strukturen auf einem Substrat
EP2132599
Optik & Fototechnik
06.10.2010
Extreme UV-Strahlungslichtquelle und Verfahren für die Erzeugung von extremer UV-Strahlung
EP2236014
Elektronik & Schaltungstechnik
06.10.2010
Lithographischer Apparat und Verfahren zum Kalibrieren desselben
EP2204696
Optik & Fototechnik
29.09.2010
Euv-Lichtquellenkomponenten und Verfahren zu Ihrer Herstellung, Verwendung und Überholung
EP2232210
Metallurgie & Oberflächentechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
18.08.2010
Lithographischer Apparat und Methode zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1580603
Optik & Fototechnik
28.07.2010
Lithographische Vorrichtung
EP2210012
Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik
07.07.2010
Lithographische Vorrichtung und Verfahren
EP1970764
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.06.2010
Lithographische Projektionsapparat mit einer Teilchenbarriere
EP1391785
Optik & Fototechnik
26.05.2010
Lithographischer Apparat und eine Messeinrichtung
EP1403714
Optik & Fototechnik
19.05.2010
Lithografische Vorrichtung und Vorrichtungsherstellungsverfahren
EP2186386
Elektronik & Schaltungstechnik
19.05.2010
System für die Immersionsphotolithographie mit Mikrokanaldüsen
EP1489462
Optik & Fototechnik
19.05.2010
Räumlicher Lichtmodulator mit IC-Aktuator und Methode zur Herstellung desselben
EP1510848
Optik & Fototechnik
14.05.2010
Scatterometer and lithographic apparatus
WO2010052098
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
12.05.2010
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1582929
Optik & Fototechnik
06.05.2010
Inspection method and apparatus
WO2010049348
Optik & Fototechnik
05.05.2010
Strahlungsquelle und lithografische Vorrichtung
EP2182412
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
28.04.2010
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1666973
Optik & Fototechnik
28.04.2010
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1672432
Optik & Fototechnik
22.04.2010
Collector assembly, radiation source, lithographic appparatus and device manufacturing method
WO2010043288
Optik & Fototechnik
21.04.2010
Lithografische Vorrichtung und Vorrichtungsherstellungsverfahren
EP2177091
Elektronik & Schaltungstechnik
21.04.2010
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1628163
Optik & Fototechnik
14.04.2010
Unterdrucksystem für die Immersionsfotolithographie
EP1756672
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
07.04.2010
Lithografische Vorrichtung und Feuchtigkeitsmesssystem
EP2172766
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
31.03.2010
Schmutzverhinderungssystem und Lithographische Vorrichtung
EP2168010
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
25.03.2010
Inspection method for lithography
WO2010031510
Optik & Fototechnik
11.03.2010
A substrate, an inspection apparatus, and a lithographic apparatus
WO2010025950
Optik & Fototechnik
10.03.2010
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1528432
Optik & Fototechnik
10.03.2010
Lithografische Vorrichtung und Herstellungsverfahren
EP1681597
Optik & Fototechnik
03.03.2010
Lithographischer Immersionsapparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP2159639
Optik & Fototechnik
25.02.2010
Euv reticle substrates with high thermal conductivity
WO2010020337
Optik & Fototechnik
11.02.2010
Lithographic apparatus and device manufacturing method
WO2010015511
Optik & Fototechnik
10.02.2010
Volle Waferbreitenabtastung mittels Step-und-Scan-System
EP2151717
Optik & Fototechnik
27.01.2010
Trägervorrichtung, lithografische Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1744216
Optik & Fototechnik
13.01.2010
Lithografischer Apparat und Herstellungsverfahren einer Vorrichtung
EP1736830
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Wer vertritt ASML?

Die Kanzleien und Patentanwälte, die ASML vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.

Zum Anmelder-Profil

Technologiefelder

Optik & Fototechnik
4.274
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
1.232
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
615
Elektronik & Schaltungstechnik
366
Software & Datenverarbeitung
277
Elektrische Energietechnik
171
Steuerungs- & Regelungstechnik
92
Maschinenelemente & Fluidtechnik
67
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
60
Verfahrens- & Trenntechnik
55
Anorganische Chemie & Werkstoffe
39
Metallurgie & Oberflächentechnik
35

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen