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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
30.12.2009
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
23.12.2009
Vorrichtung mit einer Rotierenden Verunreinigungsfalle
Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik
23.12.2009
Lithographische Vorrichtung und Verfahren
Optik & Fototechnik
16.12.2009
Beleuchtungssystem zur Beleuchtung einer Musterungsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Beleuchtungssystems
Optik & Fototechnik
09.12.2009
Substrattisch, lithografischer Apparat und Vorrichtungsherstellungsverfahren
Optik & Fototechnik
02.12.2009
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
25.11.2009
Verfahren zum emittieren von Strahlung für lithographische Projektionsvorrichtungen
Elektronik & Schaltungstechnik
11.11.2009
Lithografische Vorrichtung, Beleuchtungssystem und Filtersystem
Optik & Fototechnik
29.10.2009
Method and apparatus for measuring line end shortening, substrate and patterning device
Optik & Fototechnik
29.10.2009
Lithographic apparatus, device manufacturing method, cleaning system and method for cleaning a patterning device
Optik & Fototechnik
29.10.2009
Apparatus and method of measuring a property of a substrate
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
29.10.2009
Robot for in-vacuum use
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.10.2009
Focus sensor, inspection apparatus, lithographic apparatus and control system
Optik & Fototechnik
22.10.2009
Lithographic apparatus comprising an internal sensor and a mini-reactor, and method for treating a sensing surface of the internal sensor
Optik & Fototechnik
22.10.2009
Rapid exchange device for lithography reticles
Optik & Fototechnik
22.10.2009
Apparatus for supporting an optical element, and method of making same
Optik & Fototechnik
22.10.2009
Diffraction elements for alignment targets
Optik & Fototechnik
15.10.2009
A method of assessing a model of a substrate, an inspection apparatus and a lithographic apparatus
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
15.10.2009
Lithographic apparatus comprising a closing device and device manufacturing method using the same
Optik & Fototechnik
15.10.2009
Shear-layer chuck for lithographic apparatus
Optik & Fototechnik
14.10.2009
Optisches Element, lithographische Vorrichtung mit einem solchen und Verfahren zur Herstellung eines Bauteils
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
14.10.2009
Strahlungssystem und lithografische Vorrichtung
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
14.10.2009
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.10.2009
Lithographic apparatus and contamination detection method
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
01.10.2009
Inspection apparatus, lithographic apparatus and method of measuring a property of a substrate
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
01.10.2009
Inspection apparatus for lithography
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
30.09.2009
Lithografisches Gerät mit zweidimensionaler Ausrichtungsmessanordnung und zweidimensionales Ausrichtungsmessverfahren
Optik & Fototechnik
24.09.2009
Inspection apparatus for lithography
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
24.09.2009
Actuator system, lithographic apparatus, and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
23.09.2009
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
Optik & Fototechnik
16.09.2009
Lithografische Vorrichtung und Herstellungsverfahren einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
11.09.2009
Lithographic apparatus and method
Optik & Fototechnik
11.09.2009
Lithographic apparatus, plasma source, and reflecting method
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
03.09.2009
Inspection method and apparatus, lithographic apparatus, lithographic processing cell and device manufacturing method
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
03.09.2009
Metrology method and apparatus, lithographic apparatus, and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
02.09.2009
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Feststellung der korrekten Festklemmung eines Objekts
Optik & Fototechnik
02.09.2009
Lithographische Vorrichtung, Substrattisch und Verfahren zum Ablösen eines Wafers
Optik & Fototechnik
27.08.2009
Lithographic apparatus comprising a magnet, method for the protection of a magnet in a lithographic apparatus and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
27.08.2009
Gas gauge compatible with vacuum environments
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
26.08.2009
Strahlungssystem und Lithografische Vorrichtung
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik

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