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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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3.336 gesamt
Patent
02.11.2017
Method and apparatus for determining the property of a structure, device manufacturing method
WO2017186483
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
02.11.2017
Measurement system, calibration method, lithographic apparatus and positioner
WO2017186458
Optik & Fototechnik
02.11.2017
Hhg source, inspection apparatus and method for performing a measurement
WO2017186491
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
02.11.2017
Reducing The Effect Of Plasma On an Object in an Extreme Ultraviolet Light Source
WO2017189193
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
26.10.2017
Substrate support, lithographic apparatus and loading method
WO2017182216
Optik & Fototechnik
26.10.2017
Determination of stack difference and correction using stack difference
WO2017182235
Optik & Fototechnik
19.10.2017
Mark position determination method
WO2017178133
Optik & Fototechnik
19.10.2017
Metrology target, method and apparatus, target design method, computer program and lithographic system
WO2017178220
Optik & Fototechnik
19.10.2017
Method for adjusting actuation of a lithographic apparatus
WO2017178285
Optik & Fototechnik
19.10.2017
Mapping of patterns between design layout and patterning device
WO2017178276
Optik & Fototechnik
18.10.2017
Methode zur Erzeugung eines optischen Elements, lithographischer Apparat sowie Methode zur Herstellung eines Geräts
EP1426821
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
12.10.2017
Patterning device cooling apparatus
WO2017174284
Optik & Fototechnik
05.10.2017
Substrate Edge Detection
WO2017167637
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.10.2017
Lithographische Vorrichtung und Verfahren
EP2365390
Optik & Fototechnik
04.10.2017
Metrologisches Verfahren, Computerprodukt und System
EP3224676
Optik & Fototechnik
28.09.2017
Patterning device cooling system and method of thermally conditioning a patterning device
WO2017162377
Optik & Fototechnik
28.09.2017
Optimization of a lithographic projection apparatus accounting for an interlayer characteristic
WO2017162471
Optik & Fototechnik
27.09.2017
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1826616
Optik & Fototechnik
21.09.2017
Lithographic apparatus and device manufacturing method
WO2017157552
Optik & Fototechnik
21.09.2017
Inspection method, inspection apparatus and illumination method and apparatus
WO2017157645
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
14.09.2017
Level sensor and lithographic apparatus
WO2017153069
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
14.09.2017
Measurement system, lithographic apparatus and device manufacturing method
WO2017153085
Optik & Fototechnik
14.09.2017
Inspection apparatus and method, lithographic apparatus, method of manufacturing devices and computer program
WO2017153133
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
14.09.2017
Electron source for a free electron laser
WO2017153104
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
14.09.2017
Multilayer reflector, method of manufacturing a multilayer reflector and lithographic apparatus
WO2017153152
Optik & Fototechnik
14.09.2017
Illumination system and metrology system
WO2017153130
Optik & Fototechnik
14.09.2017
Method of calculating corrections for controlling a manufacturing process, metrology apparatus, device manufacturing method and modeling method
WO2017153171
Optik & Fototechnik
13.09.2017
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1555575
Optik & Fototechnik
08.09.2017
Vibration isolator, lithographic apparatus and device manufacturing method
WO2017148650
Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik
08.09.2017
Wavelength combining of multiple sources
WO2017148656
Optik & Fototechnik
08.09.2017
Metrology apparatus, method of measuring a structure and lithographic apparatus
WO2017148665
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
08.09.2017
Metrology method and lithographic method, lithographic cell and computer program
WO2017148738
Optik & Fototechnik
08.09.2017
Method for characterizing distortions in a lithographic process, lithographic apparatus, lithographic cell and computer program
WO2017148759
Optik & Fototechnik
08.09.2017
Method and apparatus to determine a patterning process parameter
WO2017149009
Optik & Fototechnik
08.09.2017
Method and apparatus to determine a patterning process parameter
WO2017148986
Optik & Fototechnik
08.09.2017
Method and apparatus to determine a patterning process parameter
WO2017148982
Optik & Fototechnik
08.09.2017
Method and apparatus to determine a patterning process parameter
WO2017149003
Optik & Fototechnik
08.09.2017
Method and apparatus to determine a patterning process parameter
WO2017148996
Optik & Fototechnik
08.09.2017
Method and apparatus for purifying target material for euv light source
WO2017151288
Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik
31.08.2017
Actuator system and lithographic apparatus
WO2017144236
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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33
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