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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
21.09.2022
Neuartige Schnittstellendefinition für Lithografische Vorrichtung
EP4060409
Optik & Fototechnik
21.09.2022
Verfahren und System zur Vorhersage von Prozessinformation mit einem Parametrisierten Modell
EP4060408
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
15.09.2022
Measuring apparatus and method for roughness and/or defect measurement on a surface
WO2022189250
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.09.2022
Method of pattern selection for a semiconductor manufacturing related process
WO2022189180
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
15.09.2022
System and method for inspection by deflector control in a charged particle system
WO2022189085
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
15.09.2022
Apparatus comprising an electrostatic clamp and method
WO2022189087
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.09.2022
Target material transfer system components and methods of making the same
WO2022189088
Maschinenelemente & Fluidtechnik Elektronik & Schaltungstechnik
14.09.2022
Optische Komponente und Klemme für Lithografische Vorrichtung
EP4055445
Optik & Fototechnik
14.09.2022
Verfahren und Vorrichtung zur Charakterisierung eines Halbleiterherstellungsprozesses
EP4057069
Optik & Fototechnik
14.09.2022
Vorrichtung mit einer Elektrostatischen Klemme und Verfahren
EP4057068
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.09.2022
Configuration of patterning process
WO2022184578
Optik & Fototechnik
09.09.2022
Data filter for scanning metrology
WO2022184479
Optik & Fototechnik
09.09.2022
Alignment method and associated alignment and lithographic apparatuses
WO2022184405
Optik & Fototechnik
09.09.2022
Operating a metrology system, lithographic apparatus, and methods thereof
WO2022184375
Optik & Fototechnik
07.09.2022
Variables Beugungsgitter
EP4052095
Optik & Fototechnik
07.09.2022
Verfahren und Vorrichtung zur Effizienten Erzeugung von Hohen Oberschwingungen
EP4052092
Optik & Fototechnik
07.09.2022
System zur Inspektion und Erdung einer Maske in einem Geladenen Teilchensystem
EP4052277
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.09.2022
Ausrichtungsverfahren
EP4053636
Optik & Fototechnik
07.09.2022
Substratrückhaltesystem
EP4053634
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Optik & Fototechnik
07.09.2022
Verfahren zur Herstellung einer Kapillare für eine Photonische Hohlkernkristallfaser
EP4053086
Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik
01.09.2022
Method to predict metrology offset of a semiconductor manufacturing process
WO2022179773
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
31.08.2022
Verfahren zur Vorhersage eines Metrologieversatzes eines Halbleiterherstellungsprozesses
EP4050328
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
31.08.2022
Lithografisches Verfahren
EP4050416
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
25.08.2022
Contaminant-detecting system and method
WO2022175019
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
25.08.2022
Augmented Reality (ar) Assisted Particle Contamination Detection
WO2022175025
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
24.08.2022
Membranreinigungsgerät
EP4045974
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
24.08.2022
Tröpfchenerzeugerdüse
EP4045468
Anorganische Chemie & Werkstoffe Elektronik & Schaltungstechnik
24.08.2022
Anordnung zur Trennung von Strahlung im Fernfeld
EP4047400
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.08.2022
Beleuchtungsquelle und Zugehörige Messvorrichtung
EP4045973
Optik & Fototechnik
24.08.2022
Verfahren zur Anpassung von Messdaten an ein Modell und Modellierung einer Leistungsparameterverteilung und Zugehörige Vorrichtungen
EP4045976
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
17.08.2022
Verfahren zur Bestimmung einer Sichtfeldeinstellung
EP4042244
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.08.2022
A method of determining a measurement recipe and associated metrology methods and appratuses
WO2022167178
Optik & Fototechnik
11.08.2022
Lithographic apparatus, assembly, and method
WO2022167177
Optik & Fototechnik
10.08.2022
Metrologiesensor für Positionsmetrologie
EP3853666
Optik & Fototechnik
10.08.2022
Verfahren zur Bestimmung eines Messrezepts und Zugehörige Messtechnische Verfahren und Vorrichtungen
EP4040233
Optik & Fototechnik
10.08.2022
Verfahren und System zur Vorhersage von Aberrationen in einem Projektionssystem
EP4040234
Optik & Fototechnik
10.08.2022
Strahlungsleitung
EP4038455
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
04.08.2022
Hollow-Core Photonic Crystal Fiber
WO2022161703
Optik & Fototechnik
04.08.2022
Fast Uniformity Drift Correction
WO2022161795
Optik & Fototechnik
04.08.2022
Cleaning apparatus and method
WO2022161771
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik

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