ASML Patente
🇳🇱 Niederlande
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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5.380 gesamt| Patent | |||
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04.08.2022
Hollow-Core Photonic Crystal Fiber
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 20.12.2021
Anhängig
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03.08.2022
Auf Photonischer Hohlkernkristallfaser Basierender Breitbandstrahlungsgenerator mit Verlängerter Faserlebensdauer
Optik & Fototechnik
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Zusammenfassung
Disclosed is an optical component for a broadband light source device, the optical component being configured for generating a broadband output upon receiving pump radiation and comprising: a hollow-core photonic crystal fiber (HC-PCF); and a gas mixture filling said HC-PCF, wherein said gas mixture comprises a mixture of at least one first gas configured for the generation of the broadband radiation and at least one second gas comprising or consisting of Helium. |
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03.08.2022
Metrologieverfahren und -Vorrichtungen
Optik & Fototechnik
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Zusammenfassung
Disclosed is a method of determining a performance parameter or a parameter derived therefrom, the performance parameter being associated with a performance of a lithographic process for forming one or more structures on a substrate subject to the lithographic process. The method comprises obtaining a probability description distribution comprising a plurality of probability descriptions of the performance parameter, each probability description corresponding to a different position on the substrate and decomposing each probability description into a plurality of component probability descriptions to obtain a plurality of component probability description distributions. A component across-substrate-area model is determined for each of said plurality of component probability descriptions, which models its respective component probability description across a substrate area; and a value for said performance parameter or parameter derived therefrom is determined based on the component across-substrate-area models. |
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03.08.2022
Verfahren zur Bestimmung eines Fokusbetätigungsprofils für einen oder Mehrere Aktuatoren einer Lithografischen Belichtungsvorrichtung
Optik & Fototechnik
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03.08.2022
Photonische Kristallfaser mit Hohlkern
Optik & Fototechnik
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28.07.2022
Systems and methods for measuring intensity in a lithographic alignment apparatus
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 04.01.2022
Anhängig
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28.07.2022
Metrology method and system and lithographic system
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 20.12.2021
Anhängig
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28.07.2022
Verfahren zum Einrichten eines Projektionsbelichtungssystems, Projektionsbelichtungsverfahren und Projektionsbelichtungssystem für die Mikrolithographie
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 19.01.2021
Anhängig
Vertretung
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20.07.2022
Metrologieverfahren und -System und Lithografisches System
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
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20.07.2022
Verfahren zur Überwachung eines Lithographischen Verfahrens und Zugehörige Vorrichtungen
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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20.07.2022
Verfahren und Vorrichtung zur Bereitstellung einer Breitbandigen Lichtquelle
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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20.07.2022
System zur Reduzierung der Kontamination
Optik & Fototechnik
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20.07.2022
Flüssigkeitshandhabungssystem und Lithografisches Gerät
Optik & Fototechnik
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13.07.2022
Sichere Chips mit Seriennummern
Software & Datenverarbeitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.12.2017
Erteilt am 13.07.2022
Vertretung
Corcoran, Gregory Martin Mason · Veldhoven
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
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07.07.2022
Vacuum sheet bond fixturing and flexible burl applications for substrate tables
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.12.2021
Anhängig
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07.07.2022
Modular autoencoder model for manufacturing process parameter estimation
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 20.12.2021
Anhängig
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07.07.2022
Dual focus soluton for sem metrology tools
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.12.2021
Anhängig
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07.07.2022
A metrology apparatus and a metrology method
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 16.12.2021
Anhängig
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07.07.2022
Modular autoencoder model for manufacturing process parameter estimation
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 20.12.2021
Anhängig
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07.07.2022
Apparatus and method for cleaning an inspection system
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 16.12.2021
Anhängig
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07.07.2022
Modular autoencoder model for manufacturing process parameter estimation
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 20.12.2021
Anhängig
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06.07.2022
Pellikelmembran für eine Lithographische Vorrichtung
Anorganische Chemie & Werkstoffe
Textiltechnik
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30.06.2022
Optimization of lithographic process based on bandwidth and speckle
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 09.12.2021
Anhängig
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30.06.2022
Monolithic Detector
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.12.2021
Anhängig
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30.06.2022
Data-driven prediction and identification of failure modes based on wafer-level analysis and root cause analysis for semiconductor processing
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 09.12.2021
Anhängig
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30.06.2022
Machine learning-based systems and methods for generating synthetic defect images for wafer inspection
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 08.12.2021
Anhängig
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30.06.2022
Operation methods of 2d pixelated detector for an apparatus with plural charged-particle beams and mapping surface potentials
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.12.2021
Anhängig
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30.06.2022
Interferometer head with directional sensitivity
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 30.11.2021
Anhängig
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30.06.2022
Feature based cell extraction for pattern regions
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 24.11.2021
Anhängig
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30.06.2022
Feature extraction method for extracting feature vectors for identifying pattern objects
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 24.11.2021
Anhängig
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30.06.2022
Methods and apparatus for acoustic metrology
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 15.12.2021
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30.06.2022
Methods and apparatus for providing a broadband light source
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.11.2021
Anhängig
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30.06.2022
Lithographic method
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 29.11.2021
Anhängig
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30.06.2022
Methods and apparatus for controlling electron density distributions
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 23.11.2021
Anhängig
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30.06.2022
Lithographic apparatus, metrology systems, and methods thereof
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 02.12.2021
Anhängig
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30.06.2022
Machine learning based image generation of after-development or after-etch images
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 08.12.2021
Anhängig
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30.06.2022
Charged particle optical device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.12.2021
Anhängig
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30.06.2022
A method of monitoring a lithographic process
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.12.2021
Anhängig
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30.06.2022
Metrology method
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 09.12.2021
Anhängig
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29.06.2022
Mikrospiegel-Arrays
Optik & Fototechnik
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Wer vertritt ASML?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die ASML vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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