ASML Patente
🇳🇱 Niederlande
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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5.380 gesamt| Patent | |||
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29.06.2022
Optische Vorrichtung mit Geladenen Teilchen, Objektivlinsenanordnung, Detektor, Detektoranordnung und Verfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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29.06.2022
Detektorsubstrat, Inspektionsvorrichtung und Verfahren zur Probenbeurteilung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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29.06.2022
Metrologievorrichtung und Metrologieverfahren
Optik & Fototechnik
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29.06.2022
Maschinenlernen Basierte Erzeugung von Bildern nach der Entwicklung oder nach dem Ätzen
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
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29.06.2022
Verfahren zur Herstellung einer Kapillare für eine Photonische Hohlkernkristallfaser
Anorganische Chemie & Werkstoffe
Optik & Fototechnik
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Zusammenfassung
Disclosed is a method for manufacturing a capillary usable as part of a hollow-core photonic crystal fiber. The method comprises obtaining a capillary having capillary wall comprising a first wall thickness; and chemically etching the capillary walls to reduce the wall thickness of the capillary wall. During performance of said etching step a control parameter is locally varied along the length of the capillary, the control parameter relating to reactivity of an etchant used in the etching step, so as to control the etched wall thickness of the capillary wall along the capillary length. Also disclosed is a capillary manufactured to such a method and various devices comprising such a capillary. |
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29.06.2022
Mikrospiegelanordnungen
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
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29.06.2022
Mikrospiegel-Arrays
Optik & Fototechnik
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29.06.2022
Verfahren und Vorrichtung für Akustische Metrologie
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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29.06.2022
Maskenanordnung und Zugehörige Verfahren
Optik & Fototechnik
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29.06.2022
Messverfahren
Optik & Fototechnik
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23.06.2022
Method for determining mask pattern and training machine learning model
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 02.12.2021
Anhängig
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23.06.2022
Charge Dissipative Reticle Table Cleaning Reticle
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 09.12.2021
Anhängig
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23.06.2022
Dual-Use Read-Out Circuitry in Charged Particle Detection System
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.12.2021
Anhängig
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23.06.2022
Cleaning apparatus and method
Verfahrens- & Trenntechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 05.11.2021
Anhängig
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23.06.2022
Apparatus and method for determining three dimensional data based on an image of a patterned substrate
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 24.11.2021
Anhängig
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23.06.2022
Training machine learning models based on partial datasets for defect location identification
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 08.12.2021
Anhängig
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23.06.2022
Metrology method for measuring an etched trench and associated metrology apparatus
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.12.2021
Anhängig
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23.06.2022
Metrology Target Simulation
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 08.12.2021
Anhängig
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22.06.2022
Freie-Elektronen-Laser und Verfahren zum Erzeugen eines Euv Strahlungsbündels unter Verwendung Desselben
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 17.06.2014
Erteilt am 22.06.2022
Vertretung
Slenders, Petrus J. W · Eindhoven
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
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22.06.2022
Lithographiegerätekomponente und Verfahren
Optik & Fototechnik
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22.06.2022
Metrologieverfahren zur Messung eines Geätzten Grabens und Zugehörige Metrologievorrichtung
Optik & Fototechnik
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22.06.2022
Metrologiezielsimulation
Optik & Fototechnik
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22.06.2022
Verfahren und Vorrichtung zur Steuerung von Elektronendichteverteilungen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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16.06.2022
Apparatus and method for directing charged particle beam towards a sample
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.11.2021
Anhängig
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16.06.2022
Method of metrology and associated apparatuses
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 02.12.2021
Anhängig
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16.06.2022
Charged-particle beam apparatus with beam-tilt and methods thereof
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.11.2021
Anhängig
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16.06.2022
Hollow-core photonic crystal fiber based broadband radiation generator
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 17.11.2021
Anhängig
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16.06.2022
Metrology system and coherence adjusters
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 02.12.2021
Anhängig
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16.06.2022
Intensity order difference based metrology system, lithographic apparatus, and methods thereof
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 02.12.2021
Anhängig
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15.06.2022
Breitbandstrahlungsgenerator mit Hohlkern auf der Basis von Photonischen Kristallfasern
Optik & Fototechnik
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Zusammenfassung
A broadband light source device, being configured for generating a broadband output radiation upon receiving pump radiation, comprising: a hollow-core photonic crystal fiber (HC-PCF) comprising at least one structurally varied portion having at least one structural parameter of the HC-PCF varied with respect to one or more main portions of the HC-PCF, wherein said at least one structurally varied portion comprises at least a first structurally varied portion located downstream of a position along the length of the HC-PCF where the pump radiation will be spectrally expanded by a modulation instability dominated nonlinear optical process, and wherein said at least one structurally varied portion is configured and located such that said broadband output radiation comprises wavelengths in the ultraviolet region. |
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15.06.2022
Breitbandstrahlungsgenerator mit Hohlkern auf der Basis von Photonischen Kristallfasern
Optik & Fototechnik
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09.06.2022
Method and apparatus for imaging nonstationary object
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 16.11.2021
Anhängig
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08.06.2022
Vorrichtung und Verfahren zur Inspektion mit Ladungsträgerteilchen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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08.06.2022
Verfahren und Vorrichtung zur Abbildung eines Nichtstationären Objekts
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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08.06.2022
Vorrrichtung für Geladene Teilchen, Kalibrierverfahren, Prüfverfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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02.06.2022
Multiple objectives metrology system, lithographic apparatus, and methods thereof
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 16.11.2021
Anhängig
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02.06.2022
Mems Array Interconnection Design
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Status
Angemeldet am 15.11.2021
Anhängig
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02.06.2022
A mirror spot position calibrating method, a lithographic apparatus and a device manufacturing method
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 28.10.2021
Anhängig
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02.06.2022
Metrology method and associated metrology and lithographic apparatuses
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 04.11.2021
Anhängig
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02.06.2022
High Force Low Voltage Piezoelectric Micromirror Actuator
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.11.2021
Anhängig
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Wer vertritt ASML?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die ASML vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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