ASML Logo

ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

Patente durchsuchen

5.380 gesamt
Patent
02.06.2022
Mems Array Interconnection Design
WO2022112037
01.06.2022
Metrologische Vorrichtung und Metrologische Verfahren basierend auf der Erzeugung Hoher Oberschwingungen aus einer Diffraktiven Struktur
EP4006640
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
01.06.2022
Messvorrichtung basierend auf der Erzeugung von Hohen Oberschwingungen und Zugehöriges Verfahren
EP4006641
Optik & Fototechnik
01.06.2022
Rasterelektronenmikroskopiesysteme und -Verfahren für Mehrere Landeenergien
EP4004963
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.06.2022
Pellikelmembran
EP4004647
Optik & Fototechnik
01.06.2022
Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung eines Lithographischen Herstellungsverfahrens
EP3583467
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
01.06.2022
Verfahren zur Steuerung eines Herstellungsverfahrens und Zugehörige Vorrichtungen
EP3899662
Optik & Fototechnik
27.05.2022
Inspection method and inspection tool
WO2022106143
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.05.2022
Simulation-Assisted Metrology Image Alignment
WO2022106132
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
27.05.2022
Method of forming a patterned layer of material
WO2022106157
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
27.05.2022
Semiconductor charged particle detector for microscopy
WO2022106161
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.05.2022
Metrology system and lithographic system
WO2022106182
Optik & Fototechnik
25.05.2022
Verfahren und Vorrichtung zur Thermischen Verformung einer Optischen Oberfläche eines Optischen Elements
EP4002009
Optik & Fototechnik
25.05.2022
Objektivlinsengruppenanordnung, Elektronenoptisches System, Elektronenoptisches Systemarray, Verfahren zur Fokussierung
EP4002421
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.05.2022
Hohlkernfaserlichtquelle und Verfahren zur Herstellung einer Hohlkernfaser
EP4001976
Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik
25.05.2022
Digitales Holographisches Dunkelfeldmikroskop und Zugehöriges Messverfahren
EP4002015
Optik & Fototechnik
25.05.2022
Elektrostatische Klemme
EP4002010
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.05.2022
Verfahren zur Herstellung einer Gemusterten Materialschicht
EP4001455
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
25.05.2022
Inspektionsverfahren und Inspektionswerkzeug
EP4001903
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.05.2022
Measurement system and method of use
WO2022100930
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
19.05.2022
Dark field digital holographic microscope and associated metrology method
WO2022100939
Optik & Fototechnik
19.05.2022
Conditioning apparatus and method
WO2022100955
Optik & Fototechnik
19.05.2022
A method for modeling measurement data over a substrate area and associated apparatuses
WO2022101204
Optik & Fototechnik
18.05.2022
Substratformmessvorrichtung
EP3997517
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
18.05.2022
Messsystem zur Verwendung mit einem Hohlraum zur Lichtverstärkung
EP3997518
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
12.05.2022
Polarization selection metrology system, lithographic apparatus, and methods thereof
WO2022096249
Optik & Fototechnik
11.05.2022
Konditioniervorrichtung und -Verfahren
EP3995896
Optik & Fototechnik
11.05.2022
Metrologieverfahren und Zugehörige Metrologie- und Lithografievorrichtungen
EP3994523
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.05.2022
Spiegelkalibrierungsverfahren, Positionsmessverfahren, Lithografische Vorrichtung und Vorrichtungsherstellungsverfahren
EP3994524
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
11.05.2022
Verfahren zum Aufbringen eines Abscheidungsmodells in einem Halbleiterherstellungsprozess
EP3994526
Optik & Fototechnik
11.05.2022
Verfahren zum Konfigurieren eines Produktionsprozesses zur Herstellung eines Halbleiterartikels, Lithographisches Gerät und Computerprogrammprodukt dafür
EP3807720
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
04.05.2022
Verfahren zum Kennzeichnen von Substraten basierend auf Prozessparametern
EP3785077
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
04.05.2022
Lithografisches Verfahren
EP3488294
Optik & Fototechnik
04.05.2022
Optische Komponente auf Basis von Photonischen Hohlkernkristallfasern zur Breitbandigen Strahlungserzeugung
EP3991255
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.04.2022
Method for generating mask pattern
WO2022083977
Optik & Fototechnik
28.04.2022
Binäre Intensitätsmaske für den Euv-Spektralbereich
WO2022084317
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
28.04.2022
Substrate Level Sensing in A Lithographic Apparatus
WO2022083954
Optik & Fototechnik
28.04.2022
Residual Gas Analyser
WO2022083976
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.04.2022
Breitbandstrahlungsgenerator mit Hohlkern auf der Basis von Photonischen Kristallfasern
EP3988996
Optik & Fototechnik
21.04.2022
Interferometer system and lithographic apparatus
WO2022078657
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Wer vertritt ASML?

Die Kanzleien und Patentanwälte, die ASML vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.

Zum Anmelder-Profil

Technologiefelder

Optik & Fototechnik
4.274
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
1.232
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
615
Elektronik & Schaltungstechnik
366
Software & Datenverarbeitung
277
Elektrische Energietechnik
171
Steuerungs- & Regelungstechnik
92
Maschinenelemente & Fluidtechnik
67
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
60
Verfahrens- & Trenntechnik
55
Anorganische Chemie & Werkstoffe
39
Metallurgie & Oberflächentechnik
35

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen