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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
21.04.2022
Object table, stage apparatus, holding method and lithographic apparatus
WO2022078743
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.04.2022
Apparatus and methods to generate deblurring model and deblur image
WO2022078740
Software & Datenverarbeitung
21.04.2022
Aperture patterns for defining multi-beams
WO2022078802
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.04.2022
Lochmuster zur Definition von Multistrahlen
EP3985710
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.04.2022
Interferometersystem, Verfahren zur Bestimmung eines Modussprungs einer Laserquelle eines Interferometersystems, Verfahren zur Bestimmung einer Position eines Beweglichen Objekts und Lithografische Vorrichtung
EP3983750
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
13.04.2022
System für Geladene Teilchen, Blendenanordnung, Werkzeug für Geladene Teilchen und Verfahren zum Betreiben eines Systems für Geladene Teilchen
EP3982390
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.04.2022
Elektronenoptische Anordnung mit Elektromagnetischer Abschirmung
EP3982391
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.04.2022
Druckregelventil, Flüssigkeitshandhabungsstruktur für Lithografische Vorrichtung und Lithografische Vorrichtung
EP3529665
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Maschinenelemente & Fluidtechnik
13.04.2022
Mehrstrahlige Ladungsteilchensäule
EP3982392
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.04.2022
Vacuum system for mitigating damage due to a vacuum pump malfunction
WO2022069420
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
07.04.2022
Achromatic Optical Relay Arrangement
WO2022069218
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
07.04.2022
Method to produce a structured transmissive optical element
WO2022069019
Optik & Fototechnik
06.04.2022
Geteilter Doppelseitiger Waffer und Fadenkreuzklemmen
EP3977207
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.04.2022
Vorrichtung mit Geladenem Mehrfachteilchenstrahl
EP3977501
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.04.2022
Vorrichtung für Mehrfachladungsteilchenstrahl und Verfahren zum Betrieb davon
EP3977500
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.04.2022
Ladungsteilchenstrahlengerät mit Geringem Übersprechen
EP3977499
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.04.2022
Achromatische Optische Relaisanordnung
EP3978964
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
31.03.2022
Optimization of scanner throughput and imaging quality for a patterning process
WO2022064016
Optik & Fototechnik
31.03.2022
Target structure and associated methods and apparatus
WO2022064033
Optik & Fototechnik
31.03.2022
Anti-scanning operation mode of secondary-electron projection imaging system for apparatus with plurality of beamlets
WO2022063540
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.03.2022
Metrology tool with position control of projection system
WO2022063508
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
31.03.2022
Pressure relief apparatus and method in a target material supply system
WO2022063509
Elektronik & Schaltungstechnik
31.03.2022
Pump
WO2022063526
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
30.03.2022
Verfahren zur Erzeugung von Breitbandstrahlung und Zugehörige Breitbandquelle und Metrologievorrichtung
EP3974899
Optik & Fototechnik
30.03.2022
Pumpe
EP3974905
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
30.03.2022
Beurteilungswerkzeug für Geladene Partikel, Inspektionsverfahren
EP3975222
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.03.2022
Base plate and substrate assembly
WO2022058094
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.03.2022
Mark to be projected on an object during a lithograhpic process and method for designing a mark
WO2022058170
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.03.2022
Pressure Vessel Having Pressure Bearing Shell
WO2022058131
Elektronik & Schaltungstechnik
24.03.2022
Method of performing metrology, method of training a machine learning model, method of providing a layer comprising a two-dimensional material, metrology apparatus
WO2022058111
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
23.03.2022
Positionsmesssystem und Lithographische Vorrichtung
EP3317725
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
23.03.2022
Grundplatte und Substratanordnung
EP3971647
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.03.2022
Austauschbares Modul für Geladene Teilchen
EP3971938
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.03.2022
Verfahren zur Durchführung von Metrologie
EP3971555
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
23.03.2022
Hochspannungs-Verbinder und Durchführung für eine Vakuum-Vorrichtung
EP3971941
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.03.2022
Objektivlinsenanordnung, Elektronenoptisches System, Elektronenoptisches System-Array, Verfahren zur Fokussierung, Objektivlinsenanordnung
EP3971940
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.03.2022
Beurteilungswerkzeug für Geladene Partikel, Inspektionsverfahren
EP3971939
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.03.2022
Auf ein Objekt Während eines Lithografischen Prozesses zu Projizierende Markierung und Verfahren zum Entwurf einer Markierung
EP3971648
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.03.2022
Pod handling systems and methods for a lithographic device
WO2022053283
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Optik & Fototechnik
17.03.2022
Verfahren und Vorrichtung zur Bearbeitung einer Wafer-Haltevorrichtung für eine Wafer-Lithographie
WO2022053327
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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92
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60
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55
Anorganische Chemie & Werkstoffe
39
Metallurgie & Oberflächentechnik
35

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