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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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3.336 gesamt
Patent
22.07.2015
Strahlungsquelle
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.07.2015
Lithographic apparatus, device manufacturing method and associated data processing apparatus and computer program product
Optik & Fototechnik
16.07.2015
Actuation mechanism, optical apparatus and lithography apparatus
Optik & Fototechnik
09.07.2015
Method and apparatus for design of a metrology target
Optik & Fototechnik
09.07.2015
Method and apparatus for design of a metrology target
Optik & Fototechnik
09.07.2015
Method and apparatus for design of a metrology target
Optik & Fototechnik
09.07.2015
Method and apparatus for design of a metrology target
Optik & Fototechnik
08.07.2015
Markierungsstruktur zur groben Wafer-Ausrichtung und Verfahren zur Herstellung einer solchen Markierungsstruktur
Optik & Fototechnik
08.07.2015
Strahlungsquelle und entsprechendes Verfahren
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
01.07.2015
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
Optik & Fototechnik
01.07.2015
Lithografische Vorrichtung und Verfahren zur Positionskalibrierung eines Trägertisches
Optik & Fototechnik
25.06.2015
Inspection method and apparatus, and lithographic apparatus
Optik & Fototechnik
25.06.2015
Inspection method and apparatus and lithographic apparatus
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
25.06.2015
System For Positioning an Object in Lithography
Optik & Fototechnik
25.06.2015
Yield estimation and control
Optik & Fototechnik
25.06.2015
Inspection method, lithographic apparatus, mask and substrate
Optik & Fototechnik
25.06.2015
Inspection methods, substrates having metrology targets, lithographic system and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
18.06.2015
Radiation source device, lithographic apparatus and device manufacturing method
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
18.06.2015
Radiation source, metrology apparatus, lithographic system and device manufacturing method
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
18.06.2015
Radiation source, metrology apparatus, lithographic system and device manufacturing method
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.06.2015
Inspection apparatus and methods, lithographic system and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
18.06.2015
Radiation source device, lithographic apparatus and device manufacturing method
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
11.06.2015
Method and apparatus for measuring a structure on a substrate, models for error correction, computer program products for implementing such methods&apparatus
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
11.06.2015
Apparatus and method for manufacturing a pellicle, and a pellicle
Optik & Fototechnik
11.06.2015
Electron injector and free electron laser
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
11.06.2015
Apparatus for and method of source material delivery in a laser produced plasma euv light source
Elektronik & Schaltungstechnik
04.06.2015
Method, apparatus and substrates for lithographic metrology
Optik & Fototechnik
04.06.2015
Methods and apparatus for calculating electromagnetic scattering properties of a structure and for estimation of geometrical and material parameters thereof
Optik & Fototechnik
28.05.2015
Lithographic method and apparatus
Optik & Fototechnik
28.05.2015
Apparatus, lithographic apparatus and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
28.05.2015
An apparatus, a device and a device manufacturing method
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
28.05.2015
System and method for correcting the focus of a laser beam
Optik & Fototechnik
21.05.2015
Radiation Source
Elektronik & Schaltungstechnik
20.05.2015
Imprint-Lithographie
Optik & Fototechnik
14.05.2015
Methodology to generate a guiding template for directed self-assembly
Optik & Fototechnik
14.05.2015
Method of characterising, method of forming a model, method of simulating, mask manufacturing method and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
14.05.2015
Free Electron Laser
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
07.05.2015
Object Positioning in Lithography
Optik & Fototechnik
07.05.2015
Inspection apparatus and methods, substrates having metrology targets, lithographic system and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
07.05.2015
Lithographic apparatus and device manufacturing method
Optik & Fototechnik

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