ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380

Patente

2000–2026

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
10.09.2021	10.09.2021 End-of-life monitoring of dynamic gas lock membranes and pupil facet mirrors and detection of membrane rupture in lithographic apparatuses WO2021175797 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.03.2021 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.09.2021	08.09.2021 Verfahren und Vorrichtung zur Formung einer Strukturierten Materialschicht EP3875633 Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.03.2020 Anhängig Vertretung ASML Netherlands B.V · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.09.2021	08.09.2021 Schwingungsisolationssystem und Zugehörige Anwendungen in der Lithographie EP3876036 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.03.2020 Anhängig Vertretung ASML Netherlands B.V · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.09.2021	08.09.2021 Metrologieverfahren und -Vorrichtung zur Messung einer Periodischen Struktur auf einem Substrat EP3876037 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.03.2020 Anhängig Vertretung ASML Netherlands B.V · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.09.2021	08.09.2021 Strahlmanipulator in einer Ladungsteilchenstrahl-Belichtungsvorrichtung EP3876258 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.03.2020 Anhängig Vertretung ASML Netherlands B.V · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.09.2021	08.09.2021 Vorrichtung und Verfahren zur Verlängerung der Lebensdauer eines Zielmaterialausgabesystems EP3874915 Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.10.2019 Anhängig Vertretung ASML Netherlands B.V · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.09.2021	01.09.2021 Systeme und Verfahren zur Prozessmetrikbewussten Prozesssteuerung EP3872567 Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.02.2020 Anhängig Vertretung ASML Netherlands B.V · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.09.2021	01.09.2021 Interferometersystem und Lithographievorrichtung EP3872444 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.02.2020 Anhängig Vertretung ASML Netherlands B.V · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.09.2021	01.09.2021 Elektrostatische Linsendesigns EP3872836 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.02.2020 Anhängig Vertretung ASML Netherlands B.V · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.09.2021	01.09.2021 Inspektionsvorrichtung EP3871043 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.10.2019 Anhängig Vertretung ASML Netherlands B.V · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.09.2021	01.09.2021 Optische Fasern und Herstellungsverfahren dafür EP3870547 Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.10.2019 Anhängig Vertretung ASML Netherlands B.V · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.09.2021	01.09.2021 Strahlungsfilter für einen Strahlungssensor EP3871044 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.09.2019 Anhängig Vertretung ASML Netherlands B.V · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.08.2021	26.08.2021 Charged particle assessment tool, inspection method WO2021165134 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.02.2021 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.08.2021	26.08.2021 Method for calibrating simulation process based on defect-based process window WO2021165419 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.02.2021 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.08.2021	25.08.2021 Anordnungen und Verfahren zur Führung von Strahlung EP3869270 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.02.2020 Anhängig Vertretung ASML Netherlands B.V · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.08.2021	25.08.2021 System und Verfahren zur Ausrichtung von Elektronenstrahlen in einer Mehrstrahl-Inspektionsvorrichtung EP3867942 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.09.2019 Anhängig Vertretung ASML Netherlands B.V · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.08.2021	25.08.2021 Verfahren zur Steuerung eines Herstellungsverfahrens und Zugehörige Vorrichtungen EP3869271 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.02.2020 Anhängig Vertretung ASML Netherlands B.V · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.08.2021	25.08.2021 Substrattisch und Verfahren zur Handhabung eines Substrats EP3869272 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.02.2020 Anhängig Vertretung ASML Netherlands B.V · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.08.2021	25.08.2021 Inspektionswerkzeug mit Geladenen Teilchen, Inspektionsverfahren EP3869533 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.02.2020 Anhängig Vertretung ASML Netherlands B.V · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.08.2021	25.08.2021 Beurteilungswerkzeug für Geladene Partikel, Inspektionsverfahren EP3869535 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.02.2020 Anhängig Vertretung ASML Netherlands B.V · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.08.2021	25.08.2021 Inspektionsvorrichtung EP3869536 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.02.2020 Anhängig Vertretung ASML Netherlands B.V · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.08.2021	25.08.2021 Verfahren zur Herstellung einer Membrananordnung EP3867702 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.10.2019 Anhängig Vertretung ASML Netherlands B.V · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.08.2021	19.08.2021 Methods of tuning a model for a lithographic process and associated apparatuses WO2021160351 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.01.2021 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.08.2021	19.08.2021 Contour Extraction Method From Inspection Image in Multiple Charged-Particle Beam Inspection WO2021160436 Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.01.2021 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.08.2021	19.08.2021 Reticle gripper damper and isolation system for lithographic apparatuses WO2021160423 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.01.2021 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.08.2021	19.08.2021 Method for determining a mask pattern comprising optical proximity corrections using a trained machine learning model WO2021160522 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.02.2021 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.08.2021	18.08.2021 Verfahren, Anordnung und Vorrichtung zur Verbesserten Steuerung von Breitbandiger Strahlungserzeugung EP3865931 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.02.2020 Anhängig Vertretung ASML Netherlands B.V · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.08.2021	12.08.2021 Method of using a dual stage lithographic apparatus and lithographic apparatus WO2021155991 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.12.2020 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.08.2021	12.08.2021 A stage system, stage system operating method, inspection tool, lithographic apparatus, calibration method and device manufacturing method WO2021155990 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.12.2020 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.08.2021	12.08.2021 Methods and systems for maskless lithography WO2021155994 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.12.2020 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.08.2021	12.08.2021 Apparatus for sensing alignment marks WO2021156069 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.01.2021 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.08.2021	12.08.2021 Vibration damping and resonance reduction for ion pump WO2021156387 Maschinenelemente & Fluidtechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.02.2021 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.08.2021	12.08.2021 Improved alignment of scatterometer based particle inspection system WO2021156070 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.01.2021 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.08.2021	11.08.2021 Prozessinspektionsverfahren in mehreren Schritten EP3862814 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.02.2020 Anhängig Vertretung ASML Netherlands B.V · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.08.2021	11.08.2021 Objekt in einer Lithographischen Vorrichtung EP3861405 Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.09.2019 Anhängig Vertretung ASML Netherlands B.V · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.08.2021	11.08.2021 Manipulatorvorrichtung für Geladene Partikel EP3863040 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.02.2020 Anhängig Vertretung ASML Netherlands B.V · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.08.2021	11.08.2021 Verfahren und Systeme für Maskenlose Lithografie EP3862813 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.02.2020 Anhängig Vertretung ASML Netherlands B.V · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.08.2021	11.08.2021 Gasmischung zur Schnellen Temperaturregelung einer Kühlhaube EP3861406 Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.09.2019 Anhängig Vertretung ASML Netherlands B.V · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.08.2021	05.08.2021 Metrology method and associated metrology and lithographic apparatuses WO2021151565 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.12.2020 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.08.2021	05.08.2021 Metrology method and device for measuring a periodic structure on a substrate WO2021151754 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.01.2021 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen