ASML Patente
🇳🇱 Niederlande
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
5.380 gesamt| Patent | |||
|---|---|---|---|
|
05.08.2021
Metrology method and device for measuring a periodic structure on a substrate
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 20.01.2021
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
05.08.2021
Metrology method and associated metrology and lithographic apparatuses
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 07.12.2020
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
04.08.2021
Positioniervorrichtung und Verfahren zur Verwendung einer Positioniervorrichtung
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
04.08.2021
Vorrichtung und Verfahren zur Steuerung der Einführung von Euv-Zielmaterial in eine Euv-Kammer
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
04.08.2021
Zielbildungsvorrichtung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
29.07.2021
Method for region of interest processing for reticle particle detection
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 21.01.2021
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
28.07.2021
Lithografisches Strukturierungsverfahren und Fotolacke zur Verwendung Darin
Kunststoff- & Polymertechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 30.05.2012
Erteilt am 28.07.2021
Vertretung
Slenders, Petrus J. W · Eindhoven
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
28.07.2021
Verdrehsichere Fluidverbindung
Maschinenelemente & Fluidtechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
28.07.2021
Vorrichtung für Hochdruckanschluss
Maschinenelemente & Fluidtechnik
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
22.07.2021
Lithographic apparatus and method for drift compensation
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 04.01.2021
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
22.07.2021
Improved lithography apparatus
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 16.12.2020
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
22.07.2021
Method, assembly, and apparatus for improved control of broadband radiation generation
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 14.12.2020
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
22.07.2021
Substrate, patterning device and lithographic apparatuses
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 07.12.2020
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
21.07.2021
Ladungsteilchenbeurteilungswerkzeug, Inspektionsverfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
21.07.2021
Saugklemme, Objekthandhabungsvorrichtung, Bühnenvorrichtung und Lithographische Vorrichtung
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
21.07.2021
Verfahren zur Korrektur von Messungen bei der Herstellung von Integrierten Schaltungen und Zugehörige Vorrichtungen
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
15.07.2021
Apparatus for and method of control of a charged particle beam
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 04.01.2021
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
15.07.2021
High Brightness Low Energy Spread Pulsed Electron Source
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 21.12.2020
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
14.07.2021
Verfahren zur Steuerung einer Lithographischen Vorrichtung
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
14.07.2021
Elektronenquelle mit Hoher Helligkeit
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Systems and methods for enhancing inspection throughput with a high brightness electron source are described. A plurality of pulsed constituent electron beams are generated. In some embodiments, generating the constituent electron beams comprises causing energy spread in individual beams. The plurality of pulsed constituent electron beams are combined into a combined electron inspection beam using a deflecting cavity. The combined electron inspection beam has a greater brightness than each of the individual constituent pulsed electron beams. In some embodiments, the combined electron inspection beam is passed through a curved path such as a chicane and then accelerated. In some embodiments, a spherical aberration associated with the electron inspection beam is corrected with a multipole corrected. A substrate may be inspected with the combined electron inspection beam. The greater brightness and/or other characteristics of the combined electron inspection beam enhances the inspection throughput. |
|||
|
08.07.2021
Lithographic apparatus, metrology systems, illumination sources and methods thereof
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 08.12.2020
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
08.07.2021
Contaminant detection metrology system, lithographic apparatus, and methods thereof
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 08.12.2020
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
08.07.2021
Systems and methods for manufacturing a double-sided electrostatic clamp
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 04.12.2020
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
07.07.2021
Vorrichtung und Verfahren zur Steuerung eines Geladenen Teilchenstrahls
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
01.07.2021
Wafer clamp hard burl production and refurbishment
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 08.12.2020
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
01.07.2021
Method of determining a value of a parameter of interest of a target formed by a patterning process
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 23.12.2020
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
01.07.2021
Metrology method
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 19.12.2020
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
30.06.2021
Messverfahren
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
24.06.2021
Improved lithography methods
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 04.12.2020
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
24.06.2021
Dark field digital holographic microscope and associated metrology method
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 21.10.2020
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
24.06.2021
Optically Determining Electrical Contact Between Metallic Features in Different Layers in A Structure
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 20.11.2020
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
24.06.2021
Multi-modal operations for multi-beam inspection system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 18.12.2020
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
24.06.2021
Beam current adjustment for charged-particle inspection system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 17.12.2020
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
24.06.2021
System and method for defect inspection using voltage contrast in a charged particle system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 17.12.2020
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
24.06.2021
Enhanced Thermal Conductivity in Vacuum
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 02.12.2020
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
24.06.2021
Method for determining a measurement recipe and associated apparatuses
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 17.12.2020
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
24.06.2021
Target material tank for extreme ultraviolet light source
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 20.11.2020
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
24.06.2021
Method for correcting measurements in the manufacture of integrated circuits and associated apparatuses
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 27.11.2020
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
24.06.2021
Source material delivery system, euv radiation system, lithographic apparatus, and methods thereof
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 02.12.2020
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
24.06.2021
Metrology method and associated metrology and lithographic apparatuses
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 03.12.2020
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
Wer vertritt ASML?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die ASML vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-Profil