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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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3.336 gesamt
Patent
30.04.2015
Lithography apparatus, patterning device, and lithographic method
WO2015058978
Optik & Fototechnik
23.04.2015
Radiation source, lithographic apparatus device manufacturing method, sensor system and sensing method
WO2015055374
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
23.04.2015
Photon source, metrology apparatus, lithographic system and device manufacturing method
WO2015055387
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.04.2015
Methods&apparatus For Obtaining Diagnostic Information Relating To an Industrial Process
WO2015049087
Optik & Fototechnik
09.04.2015
Profile Aware Source-Mask Optimization
WO2015049099
Optik & Fototechnik
02.04.2015
System and method for controlling droplets of target material in an euv light source
WO2015047725
Elektronik & Schaltungstechnik
01.04.2015
Strahlungsquelle und Lithografischer Apparat
EP2742387
Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
12.03.2015
Methodology to generate guiding templates for directed self-assembly
WO2015032588
Optik & Fototechnik
12.03.2015
Methods and apparatus for calculating electromagnetic scattering properties of a structure and for reconstruction of approximate structures
WO2015032586
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
12.03.2015
Apparatus for and method of temperature compensation in high power focusing system for euv lpp source
WO2015034686
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.03.2015
Transportvorrichtung für eine Extreme Uv-Lichtquelle
WO2015034687
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.03.2015
Apparatus for protecting euv optical elements
WO2015034685
Optik & Fototechnik
05.03.2015
Radiation source and lithographic apparatus
WO2015028211
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.03.2015
Immersion lithographic apparatus
WO2015028202
Optik & Fototechnik
26.02.2015
Lithography system and a machine learning controller for such a lithography system
WO2015024783
Optik & Fototechnik
25.02.2015
Substrathalter, Lithografische Vorrichtung und Herstellungsverfahren für die Vorrichtung
EP2839342
Optik & Fototechnik
19.02.2015
Lithographic apparatus, programmable patterning device and lithographic method
WO2015022125
Optik & Fototechnik
19.02.2015
Method and inspection apparatus and computer program product for assessing a quality of reconstruction of a value of a parameter of interest of a structure
WO2015022239
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
18.02.2015
Verfahren zur Durchführung von Dunkelfeld-Doppeldipollithografie
EP1843202
Optik & Fototechnik
12.02.2015
Method of designing lithography features by self-assembly of block copolymer
WO2015018590
Optik & Fototechnik
12.02.2015
Metrology method and apparatus, lithographic system and device manufacturing method
WO2015018625
Optik & Fototechnik
12.02.2015
System and method for return beam metrology with optical switch
WO2015019187
Elektronik & Schaltungstechnik
05.02.2015
Component for a radiation source, associated radiation source and lithographic apparatus
WO2015014531
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
22.01.2015
Determination and application of non-monotonic dose sensitivity
WO2015007511
Optik & Fototechnik
08.01.2015
Lithographic apparatus, positioning system for use in a lithographic apparatus and method
WO2015000777
Optik & Fototechnik
18.12.2014
Method of determining critical-dimension-related properties, inspection apparatus and device manufacturing method
WO2014198516
Optik & Fototechnik
10.12.2014
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1349010
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
10.12.2014
Kollektorspiegelanordnung und Verfahren zur Produktion von Euv Strahlung
EP2561407
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
04.12.2014
Method of simulating formation of lithography features by self-assembly of block copolymers
WO2014191163
Optik & Fototechnik
27.11.2014
Method of controlling a radiation source and lithographic apparatus comprising the radiation source
WO2014187619
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.11.2014
Inspection method and apparatus, substrates for use therein and device manufacturing method
WO2014187656
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
06.11.2014
Lithography cluster, method and control unit for automatic rework of exposed substrates
WO2014177319
Optik & Fototechnik
23.10.2014
Radiation collector, radiation source and lithographic apparatus
WO2014170093
Optik & Fototechnik
22.10.2014
Streustrahlungsmessgerät und Fokusanalyseverfahren
EP1930774
Optik & Fototechnik
22.10.2014
Lenksystem für einen Tröpfchengenerator
EP2790783
Medizintechnik & Gesundheit
09.10.2014
Source collector apparatus, lithographic apparatus and method
WO2014161698
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
08.10.2014
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1482372
Optik & Fototechnik
02.10.2014
Radiation collector, radiation source and lithographic apparatus
WO2014154433
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
02.10.2014
Lithographic apparatus
WO2014154452
Optik & Fototechnik
02.10.2014
Method of and apparatus for supply and recovery of target material
WO2014158464
Elektronik & Schaltungstechnik

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34
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