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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
21.10.2021
Apparatus for and method of controlling gas flow in an euv light source
WO2021209214
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
14.10.2021
Processing reference data for wafer inspection
WO2021204739
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
14.10.2021
Charged particle beam apparatus with multiple detectors and methods for imaging
WO2021204740
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.10.2021
Systems and methods for signal electron detection
WO2021204639
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.10.2021
Aligning A Distorted Image
WO2021204638
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
14.10.2021
Gas Mixture Control in Optical Amplifier System
WO2021204482
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.10.2021
Method of determining a sampling scheme, associated apparatus and computer program
WO2021204487
Optik & Fototechnik
13.10.2021
Ausrichten eines Verzerrten Bildes
EP3893057
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
13.10.2021
Verfahren zur Bestimmung eines Abtastschemas, Zugehörige Vorrichtung und Computerprogramm
EP3893056
Optik & Fototechnik
13.10.2021
Blendenanordnung, Strahlmanipulatoreinheit, Verfahren zum Manipulieren Geladener Teilchenstrahlen und Geladene Teilchenprojektionsvorrichtung
EP3893263
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.10.2021
Verfahren zur Vorhersage der Ausbeute eines Halbleiterherstellungsprozesses
EP3891558
Optik & Fototechnik
13.10.2021
Verfahren zur Bestimmung der den Ertrag Beeinträchtigenden Grundursache bei einem Halbleiterherstellungsverfahren
EP3891559
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.10.2021
Beurteilungswerkzeug mit Geladenen Partikeln, Inspektionsverfahren
EP3893264
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.10.2021
Systems and methods for forming structures on a surface
WO2021197838
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.10.2021
Removing an Artefact From an Image
WO2021198211
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
07.10.2021
Method for preparing a substrate and lithographic apparatus
WO2021197747
Optik & Fototechnik
06.10.2021
Anordnung mit einem Nichtlinearen Element und Verfahren zu deren Verwendung
EP3889681
Optik & Fototechnik
06.10.2021
Entfernung eines Artefakts aus einem Bild
EP3889684
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
30.09.2021
Optical apparatus and lithographic apparatus using the optical apparatus
WO2021191005
Optik & Fototechnik
30.09.2021
Interface plate, inspection system and method of installing an inspection system
WO2021191311
Optik & Fototechnik
29.09.2021
Flutsäule, Werkzeug für Geladene Teilchen und Verfahren zum Fluten einer Probe mit Geladenen Teilchen
EP3886138
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.09.2021
Method, apparatus, and system for dynamically controlling an electrostatic chuck during an inspection of wafer
WO2021185939
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.09.2021
An apparatus using enhanced deflectors to manipulate charged particle beams
WO2021185938
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.09.2021
Objekthalter, Werkzeug und Verfahren zur Herstellung eines Objekthalters
EP3882700
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.09.2021
Verfahren zur Steuerung eines Herstellungsverfahrens und Zugehörige Vorrichtungen
EP3882701
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.09.2021
Elektromagnetische Zusammengesetzte Linse und Optisches System mit Geladenen Teilchen mit einer Solchen Linse
EP3881347
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.09.2021
Metrology measurement method
WO2021180540
Optik & Fototechnik
16.09.2021
Aperture body, flood column and charged particle tool
WO2021180496
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.09.2021
Leveling Sensor in Multiple Charged-Particle Beam Inspection
WO2021180473
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.09.2021
Laser Pedestal Control
WO2021180444
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
16.09.2021
Metrology measurement method
WO2021180493
Optik & Fototechnik
15.09.2021
Aperturkörper, Flutsäule und Ladungsteilchenwerkzeug
EP3879557
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.09.2021
Metrologiemessverfahren und -Vorrichtung
EP3879343
Optik & Fototechnik
15.09.2021
Verfahren zum Ableiten einer Lokalen Gleichförmigkeitsmetrik und Zugehörige Vorrichtungen
EP3879342
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
15.09.2021
Verfahren im Herstellungsverfahren einer Vorrichtung, Nichtflüchtiges Computerlesbares Medium und zur Ausführung des Verfahrens Konfiguriertes System
EP3877812
Optik & Fototechnik
10.09.2021
Machine learning based subresolution assist feature placement
WO2021175570
Optik & Fototechnik
10.09.2021
Method for inferring a local uniformity metric
WO2021175521
Optik & Fototechnik
10.09.2021
Method and apparatus for forming a patterned layer of material
WO2021175589
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
10.09.2021
End-of-life monitoring of dynamic gas lock membranes and pupil facet mirrors and detection of membrane rupture in lithographic apparatuses
WO2021175797
Optik & Fototechnik
10.09.2021
Method for controlling a manufacturing process and associated apparatuses
WO2021175527
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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