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Cymer Patente

🇺🇸 USA

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

Patente durchsuchen

399 gesamt
Patent
07.01.2004
Injektionssynchronisierter-F2-Laser mit Linienauswahl und Diskrimination
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.01.2004
Injektionskeim-F2-Laser mit Wellenlängensteuerung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.12.2003
Verfahren und Vorrichtung zur Schwingungssteuerung
Optik & Fototechnik
03.09.2003
Vier Khz Gasentladungslaser
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.07.2003
Ausgeheizte Kupferlegierungselektroden für Fluorhaltige Gasentladungslaser
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.07.2003
Sehr Schmalbandiges Gasentladungslasersystem mit Zwei Kammern und Hoher Wiederholungsrate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.05.2003
Plasmafokus-Lichtquelle mit Aktiver und Puffer-Gassteuerung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
23.04.2003
F2 Lithographie Laser mit Injektionssynchronisierung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.04.2003
Gasentladungslaser mit Extremer Wiederholungsrate mit Verbessertem Gebläsemotor
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.03.2003
Gasentladungslaser mit einer Dielektrischen Klingenelektrode
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.01.2003
Tuning control parameters for vibration reduction and motion control
Steuerungs- & Regelungstechnik
20.11.2002
Prozessüberwachungssystem für Lithographielaser
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
18.09.2002
Hochgeschwindigkeitsspannung- und Temperatur-Zeitkompensatorschaltung für Modulatoren.
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.08.2002
Plasmafokusierende Lichtquelle mit Verbesserter Leistungspulsanordnung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
14.08.2002
Virtueller Laserbetreiber
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
08.08.2002
Purge monitoring system for gas discharge laser
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.08.2002
High Resolution Etalon-Grating Monochromator Spectrometer
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
31.07.2002
Gasentladungslaser mit Temperaturregelung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.07.2002
Einkammer-Gasentladungs-Laser mit Kernstrahl mit Verringerter Bandbreite
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.07.2002
Spinodal Copper Alloy Electrodes
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.07.2002
Shoe with quick tightening upper
Haushalts-, Möbel- & Konsumgüter
03.07.2002
Linienbreitenverringernder Modul für Hochleistungs - Gasentladungslaser
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.07.2002
Laserkammer mit Voll Integriertem Elektrodendurchführungsrohr Hauptisolator
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.07.2002
Sehr Schmallbandiger Lithograhie Laser mit F2 Injektionssynchronisierung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.05.2002
Schmalbandiges Eximer-Lash mit Gaszusatz
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.04.2002
Gas laser chamber with vertical vibration isolator
Maschinenelemente & Fluidtechnik
03.04.2002
Tangentialer Ventilator mit Abschneideeinheit und Vibrationsregelung für Laser mit Elektrischer Entladung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.01.2002
Control technique for microlithography lasers
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.01.2002
Extreme Repetition Rate Gas Discharge Laser
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.12.2001
Plasma focus light source with tandem ellipsoidal mirror units
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.12.2001
Flow shaping electrode with erosion pad for gas discharge laser
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.12.2001
Gas discharge laser electrode with reduced sensitivity to adverse boundary layer effects
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.12.2001
Discharge laser having electrodes with sputter cavities and discharge peaks
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.09.2001
Laser Discharge Chamber Passivation By Plasma
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.08.2001
Double Pass Double Etalon Spectrometer
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
23.08.2001
Laser lithography quality alarm system
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.08.2001
Electric discharge laser with active wavelength chirp correction
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.06.2001
Leistungspulsanordnung für einen Gasentladungslaser
Elektronik & Schaltungstechnik
12.04.2001
Bandwidth estimating technique for narrow band laser
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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