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Cymer Patente

🇺🇸 USA

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

Patente durchsuchen

399 gesamt
Patent
08.06.2006
Method and apparatus for gas discharge laser bandwidth and center wavelength control
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.06.2006
Methode und Vorrichtung zur Schwingungskontrolle
Maschinenelemente & Fluidtechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
31.05.2006
Elektroden für Fluorgas-Entladungslaser
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.04.2006
Halogengas-Entladungslaser-Elektroden
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.04.2006
Anoden für Fluorgas-Entladungslaser
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.04.2006
Kathoden für Fluorgas-Entladungslaser
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.04.2006
Multi-Chambered Excimer Or Molecular Fluorine Gas Discharge Laser Fluorine Injection Control
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.04.2006
Verfahren und Vorrichtung zum Kühlen Magnetischer Schaltungselemente
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.04.2006
Laser output light pulse beam parameter transient correction system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.01.2006
Optical elements with protective undercoating
Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
25.01.2006
Beugungsgitter mit bidirektionaler Brandbreitesteuerung
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.01.2006
Kollektor für Euv Lichtquelle
Medizintechnik & Gesundheit
07.12.2005
Entladungsproduktions-Plasma-Euv-Lichtquelle
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.11.2005
Schmalbandiger UV Laser mit Justierlaser im sichtbaren Bereich
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
03.11.2005
Duv Light Source Optical Element Improvements
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.07.2005
Method and apparatus for controlling the output of a gas discharge mopa laser system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.06.2005
Gas Discharge Laser Light Source Beam Delivery Unit
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.06.2005
Long delay and high tis pulse stretcher
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.05.2005
Relax Gas Discharge Laser Lithography Light Source
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.05.2005
Leistungspulsanordnung mit Hoher Pulsrate, Kurzer Anstiegszeit und Niedrigem Leckstrom
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
02.02.2005
Lithographielaser mit Strahlablieferungs- und Strahlrichtungssteuerung
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.01.2005
Extrem-Ultraviolett-Lichtquelle
Elektronik & Schaltungstechnik
15.12.2004
Hochauflösende Spektralmesseinrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
01.12.2004
Verfahren und Vorrichtung zur Schwingungssteuerung
Optik & Fototechnik
06.10.2004
Leistunspulsanordnung mit Hoher Pulsrate und Flüssigkeitskühlung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
28.07.2004
Laser mit verringerter Linienbreite und Raumfilter
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.07.2004
F2-Laser mit Kontrolle des sichtbaren roten und IR-Bereichs
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.07.2004
F2-Zweikammerlasersystem mit Linienauswahl
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.07.2004
Laser mit Hoher Wiederholungsrate mit Verbesserten Elektroden
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.06.2004
Gasentladungslasersystem mit Sechs Bis Zehn Khz oder Mehr
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.05.2004
Laserlithographielichtquelle mit Strahlablieferung
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.05.2004
Faltungsverfahren zur Messung der Laserbandbreite
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
28.04.2004
Laser-Spektraltechnik für Lithographische Verfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.03.2004
Gasentladungslaser mit Hoher Wiederholungsrate und Präziser Impulszeitsteuerung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.02.2004
Vier-Khz-Gasentladungslasersystem
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.02.2004
Gasentladungslaser mit Verbessertem Strahlweg
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.02.2004
Verbesserter Lüfter für einen Gasentladungslaser
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.01.2004
Steuerungseinheit für die Laserwellenlänge mit Piezoelektrischem Treiber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.01.2004
Verfahren und Vorrichtung zur Schwingungskontrolle
Software & Datenverarbeitung
07.01.2004
Injektion-Seeded-F2-Lazer mit Vorinjiziertem Filter
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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