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Cymer Patente

🇺🇸 USA

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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399 gesamt
Patent
11.02.2026
Verfahren und Vorrichtung zum Ersetzen eines Gasgemisches in einer Gasentladungskammer
EP4690393
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.02.2026
Laserkammer mit Entladungsspalt mit Akustischer Steuerung
EP4690390
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.01.2026
Dual comb radiation source and heterodyne detection for alignment metrology
WO2026008250
Optik & Fototechnik
02.01.2026
Apparatuses and processes for light source system status tracking and maintenance utilizing data to text machine translation
WO2026003632
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
26.12.2025
Repetition rate agile laser apparatus and method
WO2025262492
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.12.2025
Dual comb radiation source and heterodyne detection for overlay metrology systems and methods
WO2025247616
Optik & Fototechnik
04.12.2025
Metrology apparatus for mirror
WO2025248358
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
13.11.2025
Electrodes in Discharge Chamber For Radiation Source
WO2025233713
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.11.2025
Laser configuration data comparison and graphical display
WO2025229432
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
06.11.2025
Systems and methods for predicting a next pulse in a light source
WO2025229431
Optik & Fototechnik
02.10.2025
Adjustable mounting apparatus for optical element
WO2025202787
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Duv light source and method of operation
WO2025202775
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Systems and methods for electrode position sensing and adjustment
WO2025202806
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.09.2025
Method and system for wavelength measurement for a lithographic apparatus or an inspection apparatus
WO2025186638
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.08.2025
Configurable resonant charging supply and method for a pulsed power laser platform
WO2025177064
Elektronik & Schaltungstechnik
21.08.2025
Calibration apparatus
WO2025172776
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
06.08.2025
Reduzierung des Energieverbrauchs eines Gasentladungskammergebläses
EP4595172
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.07.2025
Capacitor system for a radiation source of a lithographic apparatus
WO2025153874
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.07.2025
Pre-Ionization Tube For Acoustics Mitigation in Light Source
WO2025141345
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.07.2025
Laser maintenance using tree-based machine learning models incorporating target-based functions
WO2025141352
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.07.2025
Laser Beam Aperture
WO2025141350
Optik & Fototechnik
03.07.2025
Chamber Erosion Byproduct Filter
WO2025141361
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.07.2025
Discharge chamber gas replenishment system
WO2025141364
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.06.2025
Systems and methods for real-time time-integral squared (tis) and speckle contrast (sc) control in duv lasers
WO2025133738
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.06.2025
Apparatus for and method of wavelength control for multifocal imaging
WO2025133752
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.06.2025
Laser chamber gas flow and acoustic control
WO2025133792
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.06.2025
Fan, fan housing, radiation source, lithographic apparatus, and methods thereof
WO2025133856
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.06.2025
Methods and systems for providing loopback diagnostics
WO2025125936
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
12.06.2025
Laser chamber with discharge system having acoustic scattering surfaces
WO2025120393
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.06.2025
Vorrichtung und Verfahren zur Steuerung von Multifokaler Bildgebung
EP4565922
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.05.2025
System for controlling gas flow in a laser discharge chamber
WO2025108832
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.05.2025
Compensation For A Disturbance in A Light Source
WO2025093982
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Optik & Fototechnik
08.05.2025
Gas discharge chamber blower fan with a textured surface
WO2025093992
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.04.2025
Passive Staubfalle, Beleuchtungssystem und Lithografiesystem
EP4532075
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
05.02.2025
Optischer Impulsdehner
EP4500644
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.01.2025
Electrode in Discharge Chamber Of Radiation Source
WO2025017386
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.01.2025
System for and method of calibrating measurement of laser beam spectral linewidth
WO2025012718
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
15.01.2025
Statusüberwachung und Meldung für Ultraviolettlichtquellen
EP4490576
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
02.01.2025
Methods for predicting states of light sources
WO2025003784
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
12.12.2024
System for and method of calibrating measurement of duv laser beam spectral properties
WO2024252235
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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Technologiefelder

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143
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Software & Datenverarbeitung
13
Elektrische Energietechnik
13
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11
Medizintechnik & Gesundheit
11
Verfahrens- & Trenntechnik
10
Metallurgie & Oberflächentechnik
9
Maschinenelemente & Fluidtechnik
6
Steuerungs- & Regelungstechnik
5

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