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Cymer Patente

🇺🇸 USA

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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399 gesamt
Patent
06.03.2008
Source material collection unit for a laser produced plasma euv light source
WO2008027158
Elektronik & Schaltungstechnik
21.02.2008
Euv Optics
WO2008020965
Optik & Fototechnik
20.02.2008
System zum Behalten einer bestimmten Energiedichte an einem Film
EP1887912
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.02.2008
Systeme und Verfahren zum Implementieren und Wechselwirken zwischen einem als Linienstrahl Geformten Laser und einem auf einem Substrat Abgelagerten Film
EP1889000
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
06.02.2008
Automatisches Gasregelsystem für einen Gasentladungslaser
EP1502335
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.01.2008
Window assembly for a gas discharge laser chamber
WO2008010927
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.01.2008
Tiefultraviolettes Katadioptrisches Anamorphisches Teleskop
EP1252689
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.01.2008
Schutzüberschichtung für Replizierte Beugungsgitter
EP1340106
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
27.12.2007
Bandwidth control device
WO2007149282
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.12.2007
Drive laser for euv light source
WO2007146329
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.12.2007
Methods and apparatus for aligning an etalon with a photodiode array
WO2007146337
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
05.12.2007
Lpp-Euv-Ansteuerungslaser
EP1861903
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.11.2007
Confocal Pulse Stretcher
WO2007126693
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.10.2007
Laser mit automatisierter Steuerung der Strahlqualität
EP1028502
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.07.2007
Elektrischer Entladungslaser mit Akustischer Chirp Korrektur
EP1256149
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.05.2007
Linienverschmälerungseinheit mit Flexuralgitteranbringung
EP1407521
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.05.2007
Systems and methods for generating laser light shaped as a line beam
WO2007053318
Optik & Fototechnik
10.05.2007
Systems and methods to shape laser light as a line beam for interaction with a substrate having surface variations
WO2007053320
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
10.05.2007
Euv Light Source
WO2007053334
Elektrische Energietechnik
03.05.2007
Blister Resistant Optical Coatings
WO2007050458
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
12.04.2007
6k pulse repetition rate and above gas discharge laser system solid state pulse power system improvements
WO2007041232
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.04.2007
Web-based method for information searches
WO2007038216
Software & Datenverarbeitung
22.02.2007
Multi-Chamber Gas Discharge Laser Bandwidth Control Through Discharge Timing
WO2007021406
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.01.2007
System zur Stabilisierung eines Sockels
EP1373877
Optik & Fototechnik
11.01.2007
Lpp euv plasma source material target delivery system
WO2007005409
Elektrische Energietechnik
11.01.2007
Active bandwidth control for a laser
WO2007005511
Medizintechnik & Gesundheit
11.01.2007
Gas Discharge Laser Line Narrowing Module
WO2007005512
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.01.2007
Euv Light Source Collector Erosion Mitigation
WO2007002593
Medizintechnik & Gesundheit
04.01.2007
Euv Light Source Collector Erosion Mitigation
WO2007002374
Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.01.2007
Lpp euv drive laser input system
WO2007002748
Elektrische Energietechnik
20.12.2006
Intelligenter Laser mit Schnellem Deformierbaren Gitter
EP1330859
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.12.2006
Lpp-Euv-Lichtquelle
EP1730764
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.11.2006
Schmalbandiger Laser mit Bidirektionaler Strahlerweiterung
EP1240694
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.11.2006
Optische Euv-Lichtquellenelemente
EP1723472
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
08.09.2006
Systems and methods for cleaning a chamber window of an euv light source
WO2006093780
08.09.2006
Source material dispenser for euv light source
WO2006093782
Medizintechnik & Gesundheit
31.08.2006
Method and apparatus for euv plasma source target delivery target material handling
WO2006091819
Metallurgie & Oberflächentechnik
31.08.2006
Laser produced plasma euv light source with pre-pulse
WO2006091948
Elektronik & Schaltungstechnik
20.07.2006
Method and apparatus for controlling the output of a gas discharge laser system
WO2006076261
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.06.2006
High power high pulse repetition rate gas discharge laser system bandwidth management
WO2006060359
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
258
Optik & Fototechnik
143
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
51
Elektronik & Schaltungstechnik
38
Software & Datenverarbeitung
13
Elektrische Energietechnik
13
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
11
Medizintechnik & Gesundheit
11
Verfahrens- & Trenntechnik
10
Metallurgie & Oberflächentechnik
9
Maschinenelemente & Fluidtechnik
6
Steuerungs- & Regelungstechnik
5

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