Cymer Patente
🇺🇸 USA
Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.
399
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
399 gesamt| Patent | |||
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04.05.2011
Schmalbandiges Gasentladungslasersystem mit einer Sehr Hohen Repetitionsrate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.03.2005
Erteilt am 04.05.2011
Vertretung
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29.12.2010
Systeme und Verfahren zum Filtern von Out-Of-Band-Strahlung in Euv-Expositionswerkzeugen
Medizintechnik & Gesundheit
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Status
Angemeldet am 01.04.2009
Anhängig
Vertretung
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08.12.2010
Elektrode für Gasentladungslaser
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.07.2004
Anhängig
Vertretung
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01.12.2010
Laserausgangsstrahl-Wellenfrontteiler zur Bandbreitenspektrumssteuerung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.06.2005
Erteilt am 01.12.2010
Vertretung
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17.11.2010
Wellenlängenmeter für Gasentladungslaser
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.12.2000
Erteilt am 17.11.2010
Vertretung
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27.10.2010
Verbesserungen von Gasentladungslaser-Kammern
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.03.2005
Erteilt am 27.10.2010
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14.10.2010
Systems and methods for protecting an euv light source chamber from high pressure source material leaks
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 30.03.2010
Anhängig
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14.10.2010
System, method and apparatus for droplet catcher for prevention of backsplash in a euv generation chamber
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 31.03.2010
Anhängig
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14.10.2010
System, method and apparatus for laser produced plasma extreme ultraviolet chamber with hot walls and cold collector mirror
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 31.03.2010
Anhängig
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14.10.2010
System, method and apparatus for aligning and synchronizing target material for optimum extreme ultraviolet light output
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 31.03.2010
Anhängig
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14.10.2010
Alignment Laser
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.04.2010
Anhängig
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29.09.2010
Euv-Lichtquellenkomponenten und Verfahren zu Ihrer Herstellung, Verwendung und Überholung
Metallurgie & Oberflächentechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 05.12.2008
Anhängig
Vertretung
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01.09.2010
Laserspektraltechnik für einen Lithographischen Prozess
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.04.2002
Erteilt am 01.09.2010
Vertretung
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25.03.2010
High power seed/amplifier laser system with beam shaping intermediate the seed and amplifier
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.09.2009
Anhängig
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24.02.2010
Sehr Schmalbandiges Gasentladungslasersystem mit Zwei Kammern und Hoher Wiederholungsrate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.08.2002
Erteilt am 24.02.2010
Vertretung
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27.01.2010
Laserausgangs-Lichtimpuls-Strecker
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.11.2004
Erteilt am 27.01.2010
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06.01.2010
Hochleistungs Gasentladungslaser mit einem Heliumgespülten Linienbreitenverengendem Modul
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.11.2000
Erteilt am 06.01.2010
Vertretung
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30.12.2009
Verfahren und Vorrichtung zur Stabilisierung und Abstimmung der Bandbreite von Laserlicht
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.04.2008
Anhängig
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23.12.2009
Hochleistungslaser für den Tiefen Ultraviolettbereich mit Langlebiger Optik
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.04.2003
Erteilt am 23.12.2009
Vertretung
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11.11.2009
Lasergasinjektionssystem
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.02.2008
Anhängig
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16.09.2009
Zeitsteuerung für ein Zweikammer-Gasentladungslasersystem
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.10.2002
Erteilt am 16.09.2009
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17.06.2009
Anode mit Poröser Isolierschicht für Entladungslaser
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.10.2001
Erteilt am 17.06.2009
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10.06.2009
Plasmaquelle von Hochenergie-Photonen
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 14.03.2000
Erteilt am 10.06.2009
Vertretung
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01.04.2009
Injektionssynchronisierter Laser mit Präziser Zeitsteuerung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.04.2002
Erteilt am 01.04.2009
Vertretung
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19.03.2009
Ultraviolet laser light source pulse energy control system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.09.2008
Anhängig
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04.03.2009
Hochleistungs-Steuergerät für ein System zur Bearbeitung eines Laser-Flachtafel-Werkstücks
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 31.05.2007
Anhängig
Vertretung
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21.01.2009
F2-Zweikammerlasersystem mit Linienauswahl
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.08.2002
Erteilt am 21.01.2009
Vertretung
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07.01.2009
Bandbreitenmessvorrichtung für Gepulsten Laser mit Hoher Impulsfrequenz
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 23.03.2007
Anhängig
Vertretung
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05.11.2008
Mit einer sehr engen Bandinjektion beschichteter F2-Lithographielaser
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.09.2000
Anhängig
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08.10.2008
Schmallbandiger Laser mit Fein Abstimmbarer Wellenlänge
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 31.08.2000
Erteilt am 08.10.2008
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06.08.2008
Lasersystem
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.10.2006
Anhängig
Vertretung
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06.08.2008
Schnelles Wellenlängenkorrekturverfahren für einen Laser
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.01.2001
Erteilt am 06.08.2008
Vertretung
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23.07.2008
Verbesserte Spektralmetrologie für einen Gasentladungslaser mit Hoher Wiederholungsrate
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 23.06.2006
Anhängig
Vertretung
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11.06.2008
Gasentladungslaser mit magnetischen Lagern
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.04.2000
Erteilt am 11.06.2008
Vertretung
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28.05.2008
Etalon Spektrometer mit doppeltem Strahldurchgang
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 03.02.2000
Erteilt am 28.05.2008
Vertretung
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23.04.2008
Automatisches Fluorkonzentration-Steuersystem für Excimerlaser
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.07.2000
Erteilt am 23.04.2008
Vertretung
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23.04.2008
Bandbreitensteuertechnik für einen Laser
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.01.2001
Erteilt am 23.04.2008
Vertretung
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02.04.2008
Systeme und Verfahren für Euv-Lichtquellenmetrologie
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 29.06.2006
Anhängig
Vertretung
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26.03.2008
Automatisches Fluorkonzentration-Steuersystem für Excimerlaser
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.07.2000
Erteilt am 26.03.2008
Vertretung
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19.03.2008
Systeme und Verfahren zum Ablenken von Plasmaerzeugten Ionen, um zu Verhindern, Dass die Ionen eine Innere Komponente einer Euv-Lichtquelle Erreichen
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 25.05.2006
Anhängig
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Wer vertritt Cymer?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Cymer vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
258
Optik & Fototechnik
143
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
51
Elektronik & Schaltungstechnik
38
Software & Datenverarbeitung
13
Elektrische Energietechnik
13
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
11
Medizintechnik & Gesundheit
11
Verfahrens- & Trenntechnik
10
Metallurgie & Oberflächentechnik
9
Maschinenelemente & Fluidtechnik
6
Steuerungs- & Regelungstechnik
5