Lam Research Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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2.725 gesamt| Patent | |||
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13.09.2007
Methods and arrangement for implementing highly efficient plasma traps
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 20.12.2006
Anhängig
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12.09.2007
Verfahren und Vorrichtung für den Sequenziellen Wechsel von Plasmaprozessen zur Optimierung eines Substrats
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 16.12.2005
Anhängig
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Browne, Robin Forsythe · Leeds
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12.09.2007
Ventil mit Zwei Schiebern und dessen Anwendung
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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12.09.2007
Hohlspindel und Schleuder-, Spül- und Trockenvorrichtung mit einer Derartigen Spindel
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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05.09.2007
Vorrichtung und Verfahren zum Trocknen Scheibenförmiger Substrate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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05.09.2007
Gasverteilungsvorrichtung für die Halbleiterbearbeitung
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.06.2000
Erteilt am 05.09.2007
Vertretung
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30.08.2007
Process tuning gas injection from the substrate edge
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.02.2007
Anhängig
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29.08.2007
Feuchtreinigung Elektrostatischer Einspannvorrichtungen
Verfahrens- & Trenntechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 21.11.2005
Anhängig
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Morf, Jan Stefan · München
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23.08.2007
Infinitely Selective Photoresist Mask Etch
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.01.2007
Anhängig
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22.08.2007
Plasma-Behandlungsvorrichtung und Verfahren zur RF-Leistungsversorgung einer Plasma-Behandlungskammer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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16.08.2007
Reducing Line Edge Roughness
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.01.2007
Anhängig
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16.08.2007
Chamber particle detection system
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 07.02.2007
Anhängig
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15.08.2007
Verfahren und Gerät zur Kompensierung Ungleichmässiger Behandlung in Plasma-Behandlungskammern
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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02.08.2007
Fin Structure Formation
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.01.2007
Anhängig
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01.08.2007
Zwei-Frequenz-Plasmaätzreaktor mit Unabhangiger Kontrolle für Dichte, Chemie und Ionenenergie
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.08.2002
Erteilt am 01.08.2007
Vertretung
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25.07.2007
Vorrichtung und Verfahren mit einer Auflösungsverbesserten Charakteristik zur Erhöhten Genauigkeit bei der Umwandlung des Benötigten Chemischen Mechanischen Polierdrucks in Kraft, Welche bei einem Polierkopf auf einem Wafer Angewendet Wird
Steuerungs- & Regelungstechnik
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19.07.2007
Apparatus for an optimized plasma chamber grounded electrode assembly
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 20.12.2006
Anhängig
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19.07.2007
Gas switching section including valves having different flow coefficients for gas distribution system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.01.2007
Anhängig
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19.07.2007
Notch stop pulsing process for plasma processing system
Anorganische Chemie & Werkstoffe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.12.2006
Anhängig
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12.07.2007
Apparatus and method for controlling plasma density profile
Metallurgie & Oberflächentechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 08.12.2006
Anhängig
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20.06.2007
Rf-Erdungsschalter für Plasmaverarbeitendes System
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.09.2005
Anhängig
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Browne, Robin Forsythe · Leeds
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20.06.2007
Verfahren und Apparat zum Trocknen von Halbleiterscheibenoberflächen mittels einer Vielzahl von Ein- und Auslässen in der Nähe der Scheibenoberfläche
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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13.06.2007
Architektur einer Halbleiterverarbeitungsplattform mit Isolationsvermögen für Verarbeitungsmodul
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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13.06.2007
Induktivplasma-Behandlungsvorrichtung mit einem Stromsensor für Plasmaerregerspule
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.03.2002
Erteilt am 13.06.2007
Vertretung
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13.06.2007
Verfahren und Gerät zur Entscheidung einer Substratsverschiebung mit Optimierungsmethoden
Steuerungs- & Regelungstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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07.06.2007
Method of determining a target mesa configuration of an electrostatic chuck
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 01.11.2006
Anhängig
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07.06.2007
Self-Aligned Pitch Reduction
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.11.2006
Anhängig
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07.06.2007
Device with gaps for capacitance reduction
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.11.2006
Anhängig
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07.06.2007
Device with self aligned gaps for capacitance reduction
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.11.2006
Anhängig
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30.05.2007
Anlage zur Behandlung von Halbleitern mit durch Strahlungsheizelementen Geheizten Keramischer Auskleidung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.09.2000
Erteilt am 30.05.2007
Vertretung
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16.05.2007
Verfahren zur Veraschung eines Photolackes mit einem Mikrowellen-Plasma in einem Ätzkamer für Dielektrische Schichten und Plasma-Machine dafür
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.03.2001
Erteilt am 16.05.2007
Vertretung
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16.05.2007
Veränderbare Temperaturprozesse für Verstellbaren Elektrostatischen Substrathalter
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.03.2003
Erteilt am 16.05.2007
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16.05.2007
Hochtemperatur elektrostatischer Halter
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.12.2000
Erteilt am 16.05.2007
Vertretung
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16.05.2007
Diffusor und Schnellzykluskammer
Verfahrens- & Trenntechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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09.05.2007
Verfahren und Vorrichtung zur Wafervorbereitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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09.05.2007
System und Verfahren zum Reinigen und Ätzen eines Substrats
Verfahrens- & Trenntechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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02.05.2007
Spule für Vakuum-Plasmabehandlungsvorrichtung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.06.2001
Erteilt am 02.05.2007
Vertretung
W.P. Thompson & Co · Liverpool
WP Thompson · Liverpool
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19.04.2007
Methods and apparatus for fabricating conductive features on glass substrates used in liquid crystal displays
Metallurgie & Oberflächentechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 08.09.2006
Anhängig
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18.04.2007
Plasmaätzverfahren für Zweischichtigen Fotolack
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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12.04.2007
Electrostatic chuck assembly with dielectric material and/or cavity having varying thickness, profile and/or shape, method of use and apparatus incorporating same
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.09.2006
Anhängig
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Wer vertritt Lam Research?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Lam Research vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.172
Metallurgie & Oberflächentechnik
774
Elektronik & Schaltungstechnik
177
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
141
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
118
Optik & Fototechnik
116
Verfahrens- & Trenntechnik
105
Software & Datenverarbeitung
50
Elektrische Energietechnik
44
Steuerungs- & Regelungstechnik
42
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
39
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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