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Lam Research Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.725 gesamt
Patent
12.04.2007
Electrostatic Chuck Having Radial Temperature Control Capability
WO2007041668
Elektronik & Schaltungstechnik
12.04.2007
Vertical Profile Fixing
WO2007041423
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.04.2007
Plasmabearbeitungsverfahren und -Reaktor mit Regelung der Rf-Bias-Leistung
EP1166322
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
05.04.2007
Actively heated aluminum baffle component having improved particle performance and methods of use and manufacture thereof
WO2007037955
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
05.04.2007
Apparatus for determining a temperature of a substrate and methods therefor
WO2007037983
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
05.04.2007
Apparatus for the removal of a fluorinated polymer from a substrate and methods therefor
WO2007038030
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.04.2007
Apparatus for the removal of a metal oxide from a substrate and methods therefor
WO2007038256
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.04.2007
Apparatus for the removal of a set of byproducts from a substrate edge and methods therefor
WO2007038514
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.04.2007
Apparatus and methods to remove films on bevel edge and backside of wafer
WO2007038580
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.04.2007
Apparatus for the removal of an edge polymer from a substrate and methods therefor
WO2007038054
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.04.2007
Abstimmbares Mehrzonen-Gasinjektionssystem
EP1444717
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.04.2007
Vorrichtung mit Prozessgas Zuführendem Gasverteilerelement und Hochfrequenzstrom für die Plasmaverarbeitung
EP1769101
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.03.2007
Reaktive Fluidsysteme zum Entfernen von Ablagerungsmaterialien und Benutzungsverfahren dafür
EP1766669
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
28.03.2007
Reduzierung von Plasmazünddruck
EP1765541
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
15.03.2007
Selectivity etch of films with high dielectric constant with h2 addition
WO2007030522
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.03.2007
Lineare Antriebsvorrichtung zur Anwendung in einer Plasmabehandlungsvorrichtung
EP1243017
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.03.2007
Integrierte Elektronische Hardware für Waferbehandlungs-Steuerung und -Diagnose
EP1295316
Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.03.2007
System and method for forming patterned copper lines through electroless copper plating
WO2007028156
Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
07.03.2007
Projizierter Kardanischer Antriebspunkt
EP1365888
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
07.03.2007
Hochtemperatur Elektrostatischer Halter
EP1399963
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.02.2007
Etch features with reduced line edge roughness
WO2007021540
22.02.2007
Apparatus for developing photoresist and method for operating the same
WO2007021654
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
21.02.2007
Verfahren zur Nassreinigung von Quarzflächen von Komponenten für Plasmabearbeitungskammern
EP1753549
Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
21.02.2007
Plasmaätzverfahren mittels Periodischer Modulation von Gaschemie und Kohlenwasserstoffbeigabe
EP1754252
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.02.2007
Edge ring assembly with dielectric spacer ring
WO2007019049
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.02.2007
Becher, Schleuder-, Spül- und Trockenvorrichtung und Verfahren zum Laden einer Halbleiterscheibe auf eine Schleuder-, Spül- und Trockenvorrichtung
EP1240662
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.02.2007
Plasmabehandlungsvorrichtung und -Verfahren
EP1230666
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.01.2007
Method of protecting a bond layer in a substrate support adapted for use in a plasma processing system
WO2007011613
Verfahrens- & Trenntechnik
24.01.2007
Vorrichtung zur Wafervorbereitung
EP1269522
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.01.2007
Methods for verifying gas flow rates from a gas supply system into a plasma processing chamber
WO2007008509
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
17.01.2007
Naher Fluidmeniskusverteiler
EP1582269
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.01.2007
System and method for critical dimension reduction and pitch reduction
WO2007005204
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.01.2007
Methods and apparatus for optimizing an electrical response to a conductive layer on a substrate
WO2007005211
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
11.01.2007
System and method for producing bubble free liquids for nanometer scale semiconductor processing
WO2007005215
Verfahrens- & Trenntechnik
11.01.2007
Methods and apparatus for optimizing an electrical response to a set of conductive layers on a substrate
WO2007005387
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
11.01.2007
Method for removing material from semiconductor wafer and apparatus for performing the same
WO2007005230
Verfahrens- & Trenntechnik
04.01.2007
Retikelausrichtungstechnik
WO2007001653
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.01.2007
Methods and apparatus for igniting a low pressure plasma
WO2007001838
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.01.2007
Plasma confinement rings including rf absorbing material for reducing polymer deposition
WO2007001865
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.12.2006
Optimized activation prevention assembly for a gas delivery system and methods therefor
WO2006135624
Maschinenelemente & Fluidtechnik

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Technologiefelder

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Elektronik & Schaltungstechnik
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Verfahrens- & Trenntechnik
105
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Elektrische Energietechnik
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Steuerungs- & Regelungstechnik
42
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
39
Maschinenelemente & Fluidtechnik
31

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