Lam Research Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
2.725 gesamt| Patent | |||
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27.02.2025
Interlaced, multi-zone gas distribution for asymmetric wafer bow compensation
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 15.08.2024
Anhängig
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26.02.2025
Räumlich Abstimmbare Induktiv Gekoppelte Plasmaantenne
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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26.02.2025
Molybdänintegration und Lückenfreie Füllung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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20.02.2025
Lanthanum yttrium oxide component for semiconductor processing chamber
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.08.2024
Anhängig
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20.02.2025
Electrostatic chuck with ceramic coating adhesion
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.07.2024
Anhängig
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13.02.2025
Method for simultaneous selective deposition of both metal and dielectric films
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.07.2024
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13.02.2025
Chemical deposition system and method for deposition
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 30.07.2024
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13.02.2025
Atomic layer etching using passivation and directional plasma
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 31.07.2024
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12.02.2025
Abscheidung von Metallhaltigen Filmen und Kammerreinigung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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12.02.2025
Fraktalbrausekopf mit Zwei Kammern
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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06.02.2025
Endeffektor- und Substratübertragungssequenz für Dicke, Schwere Und/oder Gekrümmte Substrate mit Begrenzten Vertikalen Abständen
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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06.02.2025
Processing chamber precoat with trapping layer and sealing layer
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 24.07.2024
Anhängig
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06.02.2025
Endeffektor- und Substratübertragungssequenz für Dicke, Schwere Und/oder Gekrümmte Substrate mit Begrenzten Vertikalen Abständen
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06.02.2025
Improved plasma uniformity using a higher frequency signal to power an inner coil and a mixed signal of higher and lower frequency signals to power an outer coil
Elektrische Energietechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.07.2024
Anhängig
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06.02.2025
Processing tool showerhead with integrated static mixer
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.07.2024
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06.02.2025
Methods to improve thermal stability and film cracking margin for low temperature high tensile silicon nitride thin films
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 31.07.2024
Anhängig
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30.01.2025
Einteilige Trockenentwicklung für Metallhaltigen Fotolack
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30.01.2025
Dielectric etch using unsaturated carbon containing components
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.07.2024
Anhängig
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30.01.2025
Electrostatic chuck with high-density plasma barrier coating
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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30.01.2025
Molybdenum metallization and fill techniques for logic and memory
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 25.07.2024
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30.01.2025
Molybdenum metallization and fill techniques for logic and memory
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.07.2024
Anhängig
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30.01.2025
All-in-one dry development for metal-containing photoresist
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.07.2024
Anhängig
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30.01.2025
Elektrostatische Haltevorrichtung mit Plasmasperrschicht Hoher Dichte
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23.01.2025
Laminated showerheads with edge-fed plenums
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.07.2024
Anhängig
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23.01.2025
Deposition of metal-containing films using halogen-containing activator molecules
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.07.2024
Anhängig
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22.01.2025
Vorrichtung und Verfahren zur Verringerung von Waferrückseitenschäden
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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16.01.2025
Mehrstationen-Verarbeitungswerkzeug mit Vorläuferverteilungssystem
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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16.01.2025
A systems and methods for providing closed-loop voltage control of a nano pulse generator
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 02.07.2024
Anhängig
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16.01.2025
Semiconductor processing chamber component with a laser glazed metal oxide intermediate layer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.07.2024
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08.01.2025
Platzsparende Plattformarchitektur mit Linearem Vakuumübertragungsmodul
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.03.2018
Erteilt am 08.01.2025
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Mewburn Ellis LLP · München
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08.01.2025
Verbesserung der Gleichmässigkeit von Beschichtungen bei Abscheidungsinhibitions-Abscheidungsprozessen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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02.01.2025
Enabling Selective Deposition Of Tantalum Nitride Barrier in Beol Vias
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.06.2024
Anhängig
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02.01.2025
Detecting And Locating Anomalous Plasma Events in Multi-Station Processing Chambers
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.06.2024
Anhängig
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02.01.2025
Thermal generation of radical species for selective etching of silicon germanium or silicon nitride relative to silicon
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.06.2024
Anhängig
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01.01.2025
Molybdänabscheidung mit Niedrigem Widerstand für Logische Source/drain-Kontakte
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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01.01.2025
Plattformarchitektur mit Reduzierter Standfläche mit Linearem Vakuumübertragungsmodul
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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26.12.2024
Selective etch of a stack with a carbon containing mask
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.06.2024
Anhängig
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19.12.2024
Precursors for low dielectric film deposition
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Angemeldet am 12.06.2024
Anhängig
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19.12.2024
Enhanced Carbon Film Edge Thickness Profile Tunability By Focus Ring
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 14.06.2024
Anhängig
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19.12.2024
Substrate etching with aerostatic bearings
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 05.06.2024
Anhängig
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Wer vertritt Lam Research?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Lam Research vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.172
Metallurgie & Oberflächentechnik
774
Elektronik & Schaltungstechnik
177
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
141
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
118
Optik & Fototechnik
116
Verfahrens- & Trenntechnik
105
Software & Datenverarbeitung
50
Elektrische Energietechnik
44
Steuerungs- & Regelungstechnik
42
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
39
Maschinenelemente & Fluidtechnik
31