Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.253

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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6.253 gesamt

Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
27.06.2007	27.06.2007 Vertikal-Wärmebehandlungsvorrichtung und Verfahren zu Ihrer Verwendung EP1801862 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.08.2005 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.06.2007	27.06.2007 Vorrichtung und Verfahren zur Inspektion von Mikrostrukturen EP1801578 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.09.2005 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.06.2007	21.06.2007 Metal film decarbonizing method, film forming method and semiconductor device manufacturing method WO2007069438 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.11.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.06.2007	21.06.2007 Method for precoating film forming apparatus WO2007069599 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.12.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.06.2007	14.06.2007 Chamber Dry Cleaning WO2007067254 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.10.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.06.2007	14.06.2007 Probe pin, probe card, and probe device WO2007066643 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.12.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.06.2007	14.06.2007 Method for forming dielectric film WO2007066658 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.12.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.06.2007	13.06.2007 Verfahren zur Siliziumeinlagerung in Cvd-Metallfilme EP1340245 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.10.2001 Erteilt am 13.06.2007 Vertretung Findlay, Alice Rosemary · London Reddie & Grose LLP Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.06.2007	07.06.2007 Plasma treatment device WO2007063708 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.11.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.06.2007	07.06.2007 Cleaning apparatus and method of cleaning WO2007063746 Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.11.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.06.2007	07.06.2007 Method of heat treatment and heat treatment apparatus WO2007063841 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.11.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.06.2007	07.06.2007 Wheat stone bridge circuit resistance measurement system and resistance measurement method WO2007063955 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.11.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.06.2007	06.06.2007 Substratreinigungsverfahren und Entwicklungsvorrichtung EP1793417 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.07.2005 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.05.2007	31.05.2007 Substrate processing apparatus, substrate cleaning/drying apparatus, substrate processing method and substrate processing program WO2007060844 Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.11.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.05.2007	31.05.2007 Probe pin and method for manufacturing probe pin WO2007060935 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.11.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.05.2007	31.05.2007 Substrate Processing Equipment WO2007061116 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.11.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.05.2007	31.05.2007 Method and system for performing plasma enhanced atomic layer deposition WO2007061633 Metallurgie & Oberflächentechnik Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.11.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
30.05.2007	30.05.2007 Vorrichtung und Verfahren zur Substratbehandlung EP1791160 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.11.2006 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
30.05.2007	30.05.2007 Vorrichtung und Gerät zur Schallinspektion von MIkrostrukturen EP1605258 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.06.2005 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
30.05.2007	30.05.2007 Plasmaverarbeitungsvorrichtung EP1791172 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.08.2005 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.05.2007	24.05.2007 Heating apparatus, heat treatment apparatus, computer program and storage medium WO2007058068 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.10.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.05.2007	23.05.2007 Substratverarbeitungsverfahren EP1788618 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.07.2005 Anhängig Vertretung Goddar, Heinz J · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.05.2007	18.05.2007 Multi-step system and method for curing a dielectric film WO2007055849 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.10.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.05.2007	18.05.2007 Substrate processing apparatus, substrate processing method and recording medium WO2007055190 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.11.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.05.2007	18.05.2007 Film forming apparatus and placing table for film forming apparatus WO2007055381 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.11.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.05.2007	18.05.2007 Batch photoresist dry strip and ash system and process WO2007056369 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.11.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.05.2007	16.05.2007 Plasma-Filmerzeugungsverfahren und Vorrichtung dafür EP1786029 Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.08.2005 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.05.2007	16.05.2007 Siliziumoxidfilm-Erzeugungsverfahren, Verfahren zur Herstellung von Halbleiterbauelementen und Computerspeichermedium EP1786030 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.08.2005 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.05.2007	16.05.2007 Vorrichtung zum Drehen von Schweren Objekten EP1785735 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.09.2005 Anhängig Vertretung Weigelt, Udo · München Grünecker Patent- und Rechtsanwälte PartG mbB · München Grünecker, Kinkeldey, Stockmair & Schwanhäusser Anwaltssozietät · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.05.2007	16.05.2007 Testkontaktvorrichtung und Verfahren zur Justierung der Vorrrichtung EP1785733 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.11.2006 Anhängig Vertretung Goddar, Heinz J · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.05.2007	10.05.2007 Etching method and etching apparatus WO2007052534 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.10.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.05.2007	10.05.2007 Method and system for forming a nitrided germanium-containing layer using plasma processing WO2007053269 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.10.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.05.2007	09.05.2007 Interposer und Verfahren zur Herstellung eines Interposers EP1783832 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.07.2005 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.05.2007	09.05.2007 Vorrichtung für ein Plasmaverfahren EP1376669 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.03.2002 Erteilt am 09.05.2007 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.05.2007	09.05.2007 Frequenzbasierte Kontrolle eines mikrowellenangeregten Plasmaprozesses EP1783813 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.03.2002 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.05.2007	03.05.2007 Method of forming metal silicate film and process for producing semiconductor device WO2007049415 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.09.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.05.2007	03.05.2007 Processing method and recording medium WO2007049510 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.10.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.05.2007	03.05.2007 Film-forming method and film-forming apparatus WO2007049612 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.10.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.05.2007	02.05.2007 Plasmaverarbeitungseinrichtung und Verfahren EP1780777 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.06.2005 Anhängig Vertretung Wiedemann, Peter · München Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.05.2007	02.05.2007 Wärmebehandlungseinrichtung EP1376667 Metallurgie & Oberflächentechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.03.2002 Erteilt am 02.05.2007 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen