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Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414
Patente
2000–2024
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.414 gesamt
Patent
25.06.2015
System and methods for spin-on coating of self-assembled monolayers or periodic organosilicates on a substrate
WO2015095073
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.06.2015
System and method for learning and/or optimizing manufacturing processes
WO2015085122
Steuerungs- & Regelungstechnik
11.06.2015
Direct Current Superposition Freeze
WO2015084523
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
04.06.2015
Method for forming tungsten film
WO2015080058
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.06.2015
Substrate tuning system and method using optical projection
WO2015081167
Optik & Fototechnik
04.06.2015
Lamination fabrication device, lamination fabrication method, and moving unit
WO2015079839
Kunststoff- & Polymertechnik
28.05.2015
System for processing substrates with two or more ultraviolet light sources that provide different wavelengths of light
WO2015077271
Verfahrens- & Trenntechnik
28.05.2015
Lid-member opening/closing mechanism and substrate testing device
WO2015076185
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.05.2015
Pattern forming method and heating device
WO2015075833
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
21.05.2015
Process for producing carbon nanotubes and method for forming wiring
WO2015072254
Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.05.2015
Information processing apparatus, information processing method, and information processing system
WO2015072526
Steuerungs- & Regelungstechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation
14.05.2015
System and method for enhanced removal of metal hardmask using ultra violet treatment
WO2015070164
Verfahrens- & Trenntechnik
14.05.2015
Method for chemical polishing and planarization
WO2015069646
Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.05.2015
Method for deep silicon etching using gas pulsing
WO2015069521
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.05.2015
Multi-cell resonator microwave surface-wave plasma apparatus
WO2015069905
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
14.05.2015
Method for using post-processing methods for accelerating euv lithography
WO2015069658
Haushalts-, Möbel- & Konsumgüter
14.05.2015
Method for depositing metal layers on germanium-containing films using metal chloride precursors
WO2015069894
Software & Datenverarbeitung
14.05.2015
Method and hardware for enhanced removal of post etch polymer and hardmask removal
WO2015070168
Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
07.05.2015
Spatially Resolved Emission Spectrospy in Plasma Processing
WO2015066547
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Elektronik & Schaltungstechnik
07.05.2015
Flow adjustment mechanism, diluted drug solution supply mechanism, liquid treatment device, and operation method thereof
WO2015064657
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.04.2015
Temperature control mechanism, temperature control method, and substrate processing apparatus
WO2015060185
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.04.2015
Seitenwandschutz eines Materials mit Niedriger Dielektrizitätskonstante Während eines Ätz- und Veraschungsvorgangs
EP2865000
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.04.2015
Virusnachweisvorrichtung und Virusnachweisverfahren
EP2634580
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
23.04.2015
Use of topography to direct assembly of block copolymers in grapho-epitaxial applications
WO2015058200
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.04.2015
Use of grapho-epitaxial directed self-assembly to precisely cut lines
WO2015058202
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.04.2015
Etching device, etching method, and substrate-mounting mechanism
WO2015056548
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.04.2015
Method for forming metal wiring layer, device for forming metal wiring layer, and storage medium
WO2015056678
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.04.2015
Halbleiterherstellungsverfahren und Glühverfahren
EP2858095
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.04.2015
Pretreatment method for filter unit, treatment liquid supply device, filter unit heating device, and pretreatment method for treatment liquid supply path
WO2015046455
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.04.2015
Cell culturing apparatus and cell culturing system
WO2015046237
Pharma & Biotechnologie
02.04.2015
Etching method, etching device, and storage medium
WO2015046067
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.03.2015
Substrate processing method, computer storage medium, and substrate processing system
WO2015037403
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.03.2015
Plasma processing device
WO2015037508
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.03.2015
Uv-assisted stripping of hardened photoresist to create chemical templates for directed self-assembly
WO2015034690
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.03.2015
Etch process for reducing directed self assembly pattern defectivity using direct current superpositioning
WO2015034600
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.03.2015
Method for laterally trimming a hardmask
WO2015031163
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.02.2015
Sondenvorrichtung und Waferpositionierungstisch für die Sondenvorrichtung
EP2840598
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.02.2015
Self-Sustained Non-Ambipolar Direct Current (dc) Plasma At Low Power
WO2015023361
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.02.2015
Substrate Backside Texturing
WO2015021297
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.02.2015
Modelloptimierungsansatz auf der Basis von Spektraler Empfindlichkeit
EP2831784
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.007
Metallurgie & Oberflächentechnik
651
Elektronik & Schaltungstechnik
322
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
211
Optik & Fototechnik
172
Verfahrens- & Trenntechnik
139
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
54
Software & Datenverarbeitung
50
Steuerungs- & Regelungstechnik
48
Verpackungs- & Fördertechnik
44
Pharma & Biotechnologie
30
Anorganische Chemie & Werkstoffe
28

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