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Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414
Patente
2000–2024
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.414 gesamt
Patent
22.10.2014
Verfahren für Optimierte Scatterometrie
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
16.10.2014
Measuring device and measuring method
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
16.10.2014
Firing method and firing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
09.10.2014
Transfer equipment and transfer method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.10.2014
Pulsed gas plasma doping method and apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.10.2014
Chromatographiesäule und Verfahren zur Herstellung davon
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
02.10.2014
Microwave surface-wave plasma device
Elektronik & Schaltungstechnik
02.10.2014
Substrate processing device and substrate processing device-use coupling member
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2014
Substrate processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2014
Planarization method, substrate processing system, and memory manufacturing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2014
Method for growing carbon nanotubes
Anorganische Chemie & Werkstoffe
02.10.2014
Etching method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2014
Method for manufacturing hollow structure
02.10.2014
Irradiation control method and irradiation controller
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2014
Methods for controlling across wafer directed self-assembly
Optik & Fototechnik
02.10.2014
Method of forming a layered substrate comprising a self-assembled material using a photo-decomposable agent
Optik & Fototechnik
25.09.2014
Method and apparatus for substrate rinsing and drying
Verfahrens- & Trenntechnik
25.09.2014
Substrate processing apparatus, substrate processing method, and computer storage medium
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
25.09.2014
Processing system for electromagnetic wave treatment of a substrate at microwave frequencies
Medizintechnik & Gesundheit
25.09.2014
Topography Minimization Of Neutral Layer Overcoats in Directed Self-Assembly Applications
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
25.09.2014
Track Processing To Remove Organic Films in Directed Self-Assembly Chemo-Epitaxy Applications
Optik & Fototechnik
25.09.2014
Multi-step bake apparatus and method for directed self-assembly lithography control
Optik & Fototechnik
25.09.2014
Solvent anneal processing for directed-self-assembly applications
Optik & Fototechnik
25.09.2014
Plasma Tuning Rods in Microwave Resonator Plasma Sources
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.09.2014
Cell culture vessel, cell culture apparatus, and cell culture method
Pharma & Biotechnologie
12.09.2014
Planarization method, substrate treatment system, mram manufacturing method, and mram element
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.09.2014
X-ray nondestructive testing device
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
10.09.2014
Auf Prozessvariation Basierende Modelloptimierung für Metrologie
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.09.2014
Heat treatment device and heat treatment method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
04.09.2014
Carbon film formation method, and carbon film
Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik
04.09.2014
Hydrophobization treatment device, hydrophobization treatment method, and hydrophobization-treatment recording medium
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.09.2014
Substrate processing method and computer storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.09.2014
Method for forming microstructure, and fin structure
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.08.2014
Film-forming method, computer storage medium, and film-forming system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.08.2014
Substrate processing method, computer storage medium, and substrate processing system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.08.2014
Feedstock supply source for growing zno-containing film, zno-containing-film manufacturing device and manufacturing method, and light-emitting element containing zno-containing film
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.08.2014
Coat film formation method, coat film formation device, and memory medium
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
14.08.2014
Method of electromagnetic modeling of finite structures and finite illumination for metrology and inspection
Software & Datenverarbeitung
07.08.2014
Substrate processing method and computer storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.08.2014
Substrate transport device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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