Versum Materials US Patente
🇺🇸 USA
Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
393 gesamt| Patent | |||
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22.01.2020
Organoaminosilanvorläufer und Verfahren zum Ablagern von Filmen damit
Organische Chemie
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 22.09.2014
Erteilt am 22.01.2020
Vertretung
Beck Greener LLP · London
Beck Greener · London
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22.01.2020
Neue Formulierung zur Abscheidung von Siliciumdotiertem Hafniumoxid als Ferroelektrische Materialien
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.03.2018
Anhängig
Vertretung
Merck Patent Association · Darmstadt
Beck Greener LLP · London
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22.01.2020
Neue Formulierung zur Abscheidung von Siliciumdotiertem Hafniumoxid als Ferroelektrische Materialien
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.03.2018
Anhängig
Vertretung
Merck Patent Association · Darmstadt
Beck Greener LLP · London
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22.01.2020
Selektive Abscheidung auf Siliciumhaltigen Oberflächen
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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15.01.2020
Dampfausgabebehälter mit Strömungsverteiler
Metallurgie & Oberflächentechnik
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01.01.2020
Chemisch-Mechanisches Polieren für Niedriges Oxid-Trench-Dishing
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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01.01.2020
Chemisch-Mechanisches Polieren für Niedriges Oxid-Trench-Dishing
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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26.12.2019
Purge system for gas supply equipment capable of high-temperature high-pressure purging
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.08.2018
Anhängig
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26.12.2019
Silicon compounds and methods for depositing films using same
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.06.2019
Anhängig
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18.12.2019
Organoamino-Polysiloxane zur Abscheidung Siliciumhaltiger Filme
Kunststoff- & Polymertechnik
Organische Chemie
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06.11.2019
Befestigungsvorrichtung-Trockenvorrichtung und Verfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.05.2009
Erteilt am 06.11.2019
Vertretung
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30.10.2019
Vorläufer für CVD-Siliziumcarbonitrid-Schichten
Organische Chemie
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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Status
Angemeldet am 11.05.2006
Erteilt am 30.10.2019
Vertretung
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30.10.2019
Verbesserte Prozessstabilität von Nbde mit Substituierten Phenolstabilisatoren
Organische Chemie
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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Status
Angemeldet am 28.05.2009
Erteilt am 30.10.2019
Vertretung
Beck Greener LLP · London
Beck Greener · London
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23.10.2019
Methode zur Abscheidung von SIO2 Schichten
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.12.2011
Erteilt am 23.10.2019
Vertretung
Zusammenfassung
This invention related to method to form silicon dioxide films that have extremely low wet etch rate in HF solution using a thermal CVD process, ALD process or cyclic CVD process in which the silicon precursor is selected from one of: R<1>n R<2>m Si(NR<3>R<4>)<4-n-m>; and, a cyclic silazane of (R<1>R<2>SiNR<3>)<p>, where R<1>is an alkenyl or an aromatic, such as vinyl, allyl, and phenyl; R<2>is selected from H, alkyl with C<1>-C<10>, linear, branched, or cyclic, an alkenyl with C<2>-C<10>linear, branched, or cyclic, and aromatic; R<3>and R<4>are selected from H, alkyl with C<1>-C<10>, linear, branched, or cyclic, an alkenyl with C<2>-C<10>linear, branched, or cyclic, and aromatic, or are joined such that NR<3>R<4>is a cyclic amine; n=1-3, m=0-2; p=3-4. |
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16.10.2019
Aza-Polysilan-Vorläufer und Verfahren zur Ablagerung von Filmen damit
Organische Chemie
Anorganische Chemie & Werkstoffe
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Status
Angemeldet am 26.06.2014
Erteilt am 16.10.2019
Vertretung
Beck Greener LLP · London
Beck Greener · London
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11.09.2019
Hochtemperatur-Atomschichtabscheidung von Siliziumoxiddünnschichten
Organische Chemie
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 12.04.2013
Erteilt am 11.09.2019
Vertretung
Zusammenfassung
Atomic layer deposition (ALD) process formation of silicon oxide with temperature > 500°C is disclosed. Silicon precursors used have a formula of: I. R<1>R<2>m Si(NR<3>R<4>)<n>X<p> wherein R<1>, R<2>, and R<3>are each independently selected from hydrogen, a linear or branched C<1>to C<10>alkyl group, and a C<6>to C<10>aryl group; R<4>is selected from, a linear or branched C<1>to C<10>alkyl group, and a C<6>to C<10>aryl group, a C<3>to C<10>alkylsilyl group; wherein R<3>and R<4>are linked to form a cyclic ring structure or R<3>and R<4>are not linked to form a cyclic ring structure; X is a halide selected from the group consisting of Cl, Br and I; m is 0 to 3; n is 0 to 2; and p is 0 to 2 and m+n+p = 3; and II R<1>R<2>m Si(OR<3>)<n>(OR<4>)<q>X<p> wherein R<1>and R<2>are each independently selected from hydrogen, a linear or branched C<1>to C<10>alkyl group, and a C<6>to C<10>aryl group; R<3>and R<4>are each independently selected from a linear or branched C<1>to C<10>alkyl group, and a C<6>to C<10>aryl group; wherein R<3>and R<4>are linked to form a cyclic ring structure or R<3>and R<4>are not linked to form a cyclic ring structure; X is a halide atom selected from the group consisting of Cl, Br and I; m is 0 to 3; n is 0 to 2; q is 0 to 2 and p is 0 to 2 and m+n+q+p = 3. |
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11.09.2019
Kobaltverbindungen, Verfahren zur Herstellung und Verfahren zur Verwendung davon
Organische Chemie
Metallurgie & Oberflächentechnik
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21.08.2019
Kohlenstoffverbrückte Aminosilanverbindungen für Siliciumhaltige Filme mit Hoher Wachstumsrate
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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15.08.2019
Use of silicon structure former with organic substituted hardening additive compounds for dense osg firms
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.02.2019
Anhängig
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03.07.2019
Chemisch-Mechanisches Polieren (cmp) von Kobalthaltigen Substraten
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.07.2015
Erteilt am 03.07.2019
Vertretung
Beck Greener · London
Beck Greener LLP · London
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03.07.2019
Organoaminosilan-Vorläufer und Verfahren zum Ablagern von Filmen damit
Organische Chemie
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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Status
Angemeldet am 22.09.2014
Erteilt am 03.07.2019
Vertretung
Beck Greener LLP · London
Beck Greener · London
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19.06.2019
Behälter mit persönlicher Zugriffsbereitstellung
Verpackungs- & Fördertechnik
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 25.11.2008
Erteilt am 19.06.2019
Vertretung
Kador & Partner PartG mbB · München
Kador & Partner · München
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19.06.2019
Verfahren zur Herstellung von Chlorsilan
Verfahrens- & Trenntechnik
Anorganische Chemie & Werkstoffe
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Status
Angemeldet am 14.04.2010
Erteilt am 19.06.2019
Vertretung
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19.06.2019
Kompositteilchen, Verfahren zur Verfeinerung und Verwendung davon
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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05.06.2019
Abscheidung einer Dielektrischen Barriere unter Verwendung eines Sauerstoffhaltigen Vorläufers
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.11.2009
Erteilt am 05.06.2019
Vertretung
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29.05.2019
Zufuhrvorrichtungen für Schlämme Und/oder Chemische Mischungen
Verfahrens- & Trenntechnik
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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Status
Angemeldet am 13.11.2013
Erteilt am 29.05.2019
Vertretung
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29.05.2019
Hochreines Ethylendiamin für Halbleiteranwendungen
Organische Chemie
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16.05.2019
Cylinder Type Auto Valve Shutter
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 13.11.2018
Anhängig
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08.05.2019
Zusammensetzung, System, und Verfahren für TiNxOy Entfernung
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.12.2014
Erteilt am 08.05.2019
Vertretung
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24.04.2019
Additive zur Chemisch-Mechanische Barrierenplanarisierung
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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Status
Angemeldet am 30.06.2017
Erteilt am 24.04.2019
Vertretung
Beck Greener LLP · London
Beck Greener · London
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27.03.2019
Zusammensetzung zum Chemisch-Mechanisches Polieren (cmp), Verfahren und System für Kobalthaltiges Substrat
Kunststoff- & Polymertechnik
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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Status
Angemeldet am 15.06.2017
Erteilt am 27.03.2019
Vertretung
Beck Greener LLP · London
Beck Greener · London
Zusammenfassung
Chemical mechanical polishing (CMP) compositions, methods and systems for polish cobalt or cobalt-containing substrates are provided. The CMP compositions comprise α-alanine, abrasive particles, a salt of phosphate, corrosion inhibitor, oxidizer and water. The cobalt chemical mechanical polishing compositions provide high removal rate of Co as well as very high selectivity of Co film vs. dielectric film, such as TEOS, SixNy (with 1.0 < x <3.0, 1.33 < y <4.0), low-k, and ultra low-k films. |
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13.03.2019
Zusammensetzungen und Verfahren mit Verwendung davon zur Abscheidung von Siliciumhaltigem Film
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.10.2015
Erteilt am 13.03.2019
Vertretung
Beck Greener · London
Beck Greener LLP · London
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27.02.2019
Zusammensetzungen zur Metall-Chemisch-Mechanischen Planarisierung (cmp) und Verfahren dafür
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.08.2018
Anhängig
Vertretung
Merck Patent Association · Darmstadt
Beck Greener · London
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30.01.2019
Vorrichtungen und Verfahren zur Durchführung von Inspektionen, Reparaturen und/oder anderen Operationen innerhalb von Gefäßen
Verfahrens- & Trenntechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 25.11.2008
Erteilt am 30.01.2019
Vertretung
Kador & Partner Part mbB · München
Kador & Partner PartG mbB · München
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30.01.2019
Bisaminoalkoxysilanverbindungen und Verfahren zur Verwendung davon zur Abscheidung von Siliciumhaltigen Filmen
Organische Chemie
Anorganische Chemie & Werkstoffe
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Status
Angemeldet am 12.02.2016
Erteilt am 30.01.2019
Vertretung
Beck Greener LLP · London
Beck Greener · London
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09.01.2019
Verfahren zur Speicherung und Zufuhr
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 10.05.2016
Erteilt am 09.01.2019
Vertretung
Beck Greener LLP · London
Beck Greener · London
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26.12.2018
Verfahren zur Herstellung von Binär- und Ternär-Metallchalcogenidmaterialien
Organische Chemie
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 08.05.2009
Erteilt am 26.12.2018
Vertretung
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26.12.2018
Kompositteilchen, Verfahren zur Verfeinerung und Verwendung davon
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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Status
Angemeldet am 31.03.2017
Erteilt am 26.12.2018
Vertretung
Beck Greener LLP · London
Beck Greener · London
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19.12.2018
Organoaminosilane und Herstellungsverfahren dafür
Organische Chemie
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Angemeldet am 27.02.2015
Erteilt am 19.12.2018
Vertretung
Beck Greener LLP · London
Beck Greener · London
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05.12.2018
Verfahren zur Herstellung sauerstofffreier Filme auf Siliziumbasis
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Angemeldet am 30.07.2013
Erteilt am 05.12.2018
Vertretung
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Wer vertritt Versum Materials US?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Versum Materials US vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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