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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
05.06.2014
Method and apparatus for determining lithographic quality of a structure
WO2014082813
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
05.06.2014
Droplet generator, euv radiation source, lithographic apparatus, method for generating droplets and device manufacturing method
WO2014082811
Elektronik & Schaltungstechnik
05.06.2014
Method of determining dose and focus, inspection apparatus, patterning device, substrate and device manufacturing method
WO2014082938
Optik & Fototechnik
22.05.2014
Radiation source and method for lithography
WO2014075881
Elektronik & Schaltungstechnik
15.05.2014
Method and apparatus for generating radiation
WO2014072149
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
15.05.2014
Viewport Protector For an Extreme Ultraviolet Light Source
WO2014074302
Optik & Fototechnik
08.05.2014
Method and apparatus for generating radiation
WO2014067741
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
08.05.2014
Sensor and lithographic apparatus
WO2014067754
Optik & Fototechnik
08.05.2014
Patterning device support, lithographic apparatus, and method of controlling patterning device temperature
WO2014067802
Optik & Fototechnik
08.05.2014
Method and apparatus for measuring asymmetry of a microstructure, position measuring method, position measuring apparatus, lithographic apparatus and device manufacturing method
WO2014068116
Optik & Fototechnik
07.05.2014
Apparat und Verfahren zur Herstellung eines Elektromagnetischen Strahlungsbündels mit einer Plasmastrahlungsquelle, und Lithographischer Apparat
EP2111568
Optik & Fototechnik
01.05.2014
Patterning device support and lithographic apparatus
WO2014063874
Optik & Fototechnik
01.05.2014
Patterning device manipulating system and lithographic apparatuses
WO2014063871
Optik & Fototechnik
01.05.2014
Lithographic apparatus
WO2014063878
Optik & Fototechnik
01.05.2014
Substrate positioning system, lithographic apparatus and device manufacturing method
WO2014063995
Optik & Fototechnik
24.04.2014
Actuation mechanism, optical apparatus, lithography apparatus and method of manufacturing devices
WO2014060169
Optik & Fototechnik
24.04.2014
Target material supply apparatus for an extreme ultraviolet light source
WO2014062351
Metallurgie & Oberflächentechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik
17.04.2014
Mark position measuring apparatus and method, lithographic apparatus and device manufacturing method
WO2014056708
Optik & Fototechnik
16.04.2014
Systeme und Verfahren zur Puffergasstromstabilisierung in einer Lasererzeugten Plasmalichtquelle
EP2719261
Elektronik & Schaltungstechnik
10.04.2014
Position measuring apparatus, position measuring method, lithographic apparatus and device manufacturing method
WO2014053334
Optik & Fototechnik
10.04.2014
Harsh Environment Optical Element Protection
WO2014055308
Elektronik & Schaltungstechnik
03.04.2014
Quantitative reticle distortion measurement system
WO2014048654
Optik & Fototechnik
03.04.2014
Reticle Heater To Keep Reticle Heating Uniform
WO2014048651
Optik & Fototechnik
03.04.2014
Pre-compensate target material push-out for euv light
WO2014051891
Elektrische Energietechnik Elektronik & Schaltungstechnik
27.03.2014
Stage system and lithographic apparatus comprising such stage system
WO2014044477
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
27.03.2014
Method of calibrating a reluctance actuator assembly, reluctance actuator and lithographic apparatus comprising such reluctance actuator
WO2014044496
Optik & Fototechnik
26.03.2014
Filter für eine Materialzufuhrvorrichtung
EP2709743
Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
19.03.2014
Tröpfchengenerator mit durch ein Stellglied Aktivierter Düsenreinigung
EP2707099
Medizintechnik & Gesundheit Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
13.03.2014
Seed laser mode stabilization system and method
WO2014039221
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
06.03.2014
Deformation pattern recognition method, pattern transferring method, processing device monitoring method, and lithographic apparatus
WO2014032833
Optik & Fototechnik
06.03.2014
Reticle cleaning by means of sticky surface
WO2014032887
Haushalts-, Möbel- & Konsumgüter Verfahrens- & Trenntechnik
06.03.2014
Real-Time Reticle Curvature Sensing
WO2014032897
Optik & Fototechnik
27.02.2014
Method of preparing a pattern, method of forming a mask set, device manufacturing method and computer program
WO2014029603
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
27.02.2014
Lithographic apparatus and device manufacturing method
WO2014029678
Optik & Fototechnik
27.02.2014
Lithographic apparatus, device manufacturing method and displacement measurement system
WO2014029601
Optik & Fototechnik
26.02.2014
Artikelhalter für einen lithographischen Apparat
EP1500984
Optik & Fototechnik
26.02.2014
Sicherheitseinrichtung für ein Gerät zur lithographischen Mustererzeugung
EP1500985
Optik & Fototechnik
20.02.2014
Method and apparatus for measuring asymmetry of a microstructure, position measuring method, position measuring apparatus, lithographic apparatus and device manufacturing method
WO2014026819
Optik & Fototechnik
13.02.2014
Methods for providing lithography features on a substrate by self-assembly of block copolymers
WO2014023589
Optik & Fototechnik
12.02.2014
Lithographischer Immersionsapparat und Verfahren zur Detektion von Verunreinigungen
EP2042930
Optik & Fototechnik

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