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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
02.03.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
16.02.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Justierung des Apparats
Optik & Fototechnik
09.02.2005
Isolierende Stützvorrichtungen zur Verwendung mit Vakuumkammern und deren Anwendung in lithographischen Projektionsapparaten
Optik & Fototechnik
09.02.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
02.02.2005
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und dabei hergesteller Artikel
Optik & Fototechnik
02.02.2005
Lithographischer Projektionsapparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
02.02.2005
Verfahren und Vorrichtung zur Optimierung der Ausgangsstrahlungscharakteristiken eines Lasers
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.01.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
Optik & Fototechnik
26.01.2005
Lithographischer Projektionsapparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und dabei erzeugter Artikel
Optik & Fototechnik
26.01.2005
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und damit hergestellter Artikel
Optik & Fototechnik
26.01.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
26.01.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
Optik & Fototechnik
19.01.2005
Substrathalter und lithographischer Projektionsapparat
Optik & Fototechnik
19.01.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
12.01.2005
Spiegel und Lithographiegerät mit Spiegel
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
12.01.2005
Methode und System zur vorwärts gerichteten Overlay-Korrektur musterinduzierter Bildverzerrung- und verschiebung, und lithographisches Projektionsgerät zur Benutzung derselben
Optik & Fototechnik
06.01.2005
Lithographic apparatus and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
06.01.2005
Device manufacturing method and device
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
05.01.2005
Betriebsweise eines lithographischen Projektionsapparates
Optik & Fototechnik
05.01.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
Optik & Fototechnik
05.01.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
05.01.2005
Lithographischer Apparat mit Spülgassystem
Optik & Fototechnik
05.01.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
29.12.2004
Heizungsanlage und Verfahren zur Heizung für einen Reaktor
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.12.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
29.12.2004
Dichtungsanordnung, lithographischer Projektionsapparat, und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik
29.12.2004
Verfahren und Vorrichtung zur Positionierung eines Substrats auf einem Substrattisch
Optik & Fototechnik
29.12.2004
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und damit erzeugter Artikel
Optik & Fototechnik
29.12.2004
Biosensor und Methode zur Herstellung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
29.12.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
29.12.2004
Eichverfahren für einen lithographischen Apparat
Optik & Fototechnik
29.12.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
29.12.2004
Lithographic apparatus, device manufacturing method, and device manufactured thereby
Optik & Fototechnik
29.12.2004
Temporärer Membranrahmen für Photomasken mit magnetischer Haftung
Optik & Fototechnik
22.12.2004
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
22.12.2004
Räumlicher Lichtmodulator
Optik & Fototechnik
22.12.2004
Tragstruktur zur Verwending in einem lithographischen Gerät
Optik & Fototechnik
15.12.2004
Bewegliches Trägersystem für einen lithographischen Belichtungsapparat, lithographischer Belichtungssapparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
15.12.2004
Stützvorrichtung, lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung eines Artikels, das eine Stützvorrichtung und ein Positionskontrollsystem zur Verwendung in einer Stützvorrichtung verwendet
Optik & Fototechnik
15.12.2004
Kalibrationsverfahren, Kalibrationssubstrate, lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung von Artikeln
Optik & Fototechnik

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