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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
15.06.2005
Katadioptrisches lithographisches System mit Trägerplattevorrichtungen für Retikel und Wafer in zueinander orthogonalen Ebenen
EP1367444
Optik & Fototechnik
08.06.2005
Lithographischer Projektionsapparat
EP1026550
Optik & Fototechnik
08.06.2005
Lithographischer Projektionsapparat
EP1052548
Optik & Fototechnik
08.06.2005
EUV-Beleuchtungssystem und Lithographischer Apparat
EP1538484
Optik & Fototechnik
02.06.2005
Lithographic apparatus and device manufacturing method
WO2005050326
Optik & Fototechnik
01.06.2005
Prozesskammer mit einer reflektierenden Platte
EP1536457
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.05.2005
Lithographischer Druck mit Polarisiertem Licht
EP1532484
Optik & Fototechnik
18.05.2005
Retikelhalter
EP1531363
Verpackungs- & Fördertechnik Optik & Fototechnik
18.05.2005
Lithographischer Apparat mit Unterdrückung von Kontamination
EP1531365
Optik & Fototechnik
12.05.2005
Methods and apparatuses for applying wafer-alignment marks
WO2005043243
Optik & Fototechnik
11.05.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1211562
Optik & Fototechnik
11.05.2005
Strahlungsdetektor
EP1530091
Optik & Fototechnik
04.05.2005
Lithographisches Gerät sowie Methode zur Herstellung eines Elements
EP1528430
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
04.05.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1517188
Optik & Fototechnik
04.05.2005
Verfahren und System zur Korrektur von Intrinsischem Doppelbrechen bei der Uv-Mikrolithographie
EP1527364
Optik & Fototechnik
27.04.2005
Spiegel für ein Lithographiegerät, Lithographiegerät mit einem solchen und Verfahren zur Herstellung eines Bauteils
EP1526550
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
27.04.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung, und eine Messeinrichtung
EP1526408
Optik & Fototechnik
20.04.2005
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und Positionierungssystem
EP1524556
Optik & Fototechnik
20.04.2005
Lithographischer Apparat und Methode zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1524557
Optik & Fototechnik
20.04.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1524558
Optik & Fototechnik
20.04.2005
Eingebettete Aetzstopschicht für Phasenschiebermasken, sowie ebene Phasenschiebermaske zur Reduzierung von Wellenleitereffekten und Topographie bedingten Effekten
EP1439418
Optik & Fototechnik
20.04.2005
Photolithographische Vorrichtung mit mehreren Retikeln
EP1233305
Optik & Fototechnik
14.04.2005
Adaptive thermal control of lithographic chemical processes
WO2005033801
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.04.2005
Substrathalter und lithographischer Projektionsapparat
EP1498780
Optik & Fototechnik
06.04.2005
Steuerung eines lithographischen Apparates
EP1521122
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.03.2005
Lithographischer Apparat und Methode zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1519230
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.03.2005
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und damit erzeugter Artikel
EP1517183
Optik & Fototechnik
23.03.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1517184
Optik & Fototechnik
23.03.2005
Ausrichtungs- oder Überlagerungs-Markenstruktur
EP1498779
Optik & Fototechnik
23.03.2005
Lithographischer Projektionsapparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und dabei erzeugter Artikel
EP1517185
Optik & Fototechnik
23.03.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1517186
Optik & Fototechnik
16.03.2005
Verfahren zum Schutz eines optischen Elements, und optisches Element
EP1515188
Optik & Fototechnik
10.03.2005
High-Rresoulution Gas Gauge Proximity Sensor
WO2005022082
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
09.03.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1513018
Optik & Fototechnik
09.03.2005
Lithographischer Apparat und Methode zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1513017
Optik & Fototechnik
09.03.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1513022
Optik & Fototechnik
09.03.2005
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung einer Maske Und/oder einer Membranabdeckung
EP1473598
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.03.2005
Mehrschichtiger Spiegel mit erhöhter Reflektivität für Extrem-Ultraviolett-Strahlung und lithographische Projektionsvorrichtung mit einem solchen Spiegel
EP1065532
Optik & Fototechnik
02.03.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
EP1510867
Optik & Fototechnik
02.03.2005
Lithographischer Apparat
EP1510868
Optik & Fototechnik

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Elektrische Energietechnik
171
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92
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67
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60
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55
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39
Metallurgie & Oberflächentechnik
35

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