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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
15.05.2025
Source, assessment apparatus, method of cleaning a charged particle source, method of cleaning a component of an assessment apparatus
WO2025098766
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.05.2025
Design aware dynamic pixel sizes to boost scanning electron microscopy inspection and metrology throughput
WO2025098768
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.05.2025
Charged particle system and method of baking out a charged particle system
WO2025098867
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.05.2025
Quelle, Beurteilungsvorrichtung, Verfahren zur Reinigung einer Quelle Geladener Teilchen, Verfahren zur Reinigung einer Komponente einer Beurteilungsvorrichtung
EP4553885
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.05.2025
Fokusmetrologieverfahren und Verfahren zum Entwurf eines Fokusziels für Fokusmetrologie
EP4553579
Optik & Fototechnik
14.05.2025
Beurteilungsvorrichtung und Verfahren
EP4552149
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.05.2025
Design einer Schaltung auf Sensorelementebene für eine Elektronenzähldetektionsvorrichtung
EP4179302
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.05.2025
Electronic circuit, positioning system, substrate handling apparatus and method for braking movement of a movable object
WO2025093225
Elektrische Energietechnik Elektronik & Schaltungstechnik
08.05.2025
Systems and methods for motion control in a semiconductor manufacturing apparatus
WO2025093202
Optik & Fototechnik
08.05.2025
Sidewall Angle Metrology
WO2025093220
Optik & Fototechnik
08.05.2025
Stochastic error calibration method with micro field exposures
WO2025093227
Optik & Fototechnik
08.05.2025
Charged particle-optical device, charged particle-optical apparatus and method for manufacturing a charged particle-optical device
WO2025093392
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.05.2025
Vorrichtung zur Breitbandstrahlungserzeugung
EP4548157
Optik & Fototechnik
07.05.2025
Verfahren zur Bestimmung einer Absoluten Position eines Beweglichen Objekts, Interferometersystem, Projektionssystem und Lithografische Vorrichtung
EP4548039
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
07.05.2025
Seitenwandwinkelmetrologie
EP4550047
Optik & Fototechnik
07.05.2025
Optische Vorrichtung für Geladene Teilchen, Optische Vorrichtung für Geladene Teilchen und Verfahren zur Herstellung einer Optischen Vorrichtung für Geladene Teilchen
EP4550382
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.05.2025
Vorwärtskopplungsrahmen eines Neuronalen Netzwerks zur Compliance-Kompensation
EP4550063
Steuerungs- & Regelungstechnik
01.05.2025
Wafer stage with thermally-conditioned z-stage
WO2025087745
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.05.2025
Systems and methods for cooling in inspection systems
WO2025087776
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.05.2025
Charged particle-optical apparatus and method for detecting signal charged particles
WO2025087733
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.05.2025
Method of metrology and associated apparatuses
WO2025087670
Optik & Fototechnik
01.05.2025
Monitoring fading effect based on computational lithography simulation
WO2025087650
Optik & Fototechnik
01.05.2025
Systems and methods for predicting charging mode and optimal parameters for voltage contrast
WO2025087668
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.05.2025
Überwachung des Schwundeffekts auf Basis einer Computerlithografiesimulation
EP4799016
Optik & Fototechnik
30.04.2025
Verfahren zur Metrologie und Zugehörige Vorrichtungen
EP4546049
Optik & Fototechnik
30.04.2025
Optische Vorrichtung für Geladene Teilchen und Verfahren zur Detektion von Signalgeladenen Teilchen
EP4546393
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.04.2025
Thermal conditioning system for use in an euv lithographic apparatus and method of thermally conditioning a patterning device in an euv lithographic apparatus
WO2025082713
Optik & Fototechnik
24.04.2025
Surface Member
WO2025082673
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Optik & Fototechnik
24.04.2025
Virtual metrology system components and associated methods
WO2025082680
Optik & Fototechnik
24.04.2025
Laser diffraction optical microscopy for ultra-thin pattern wafer
WO2025082683
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
24.04.2025
Cooling method and apparatus of scanning electron microscope column
WO2025082859
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
24.04.2025
Optische Laserdiffraktionsmikroskopie für Wafer mit Ultradünnem Muster
EP4795465
24.04.2025
Reaction force compensation, lithographic apparatus and method
WO2025082727
Optik & Fototechnik
23.04.2025
Substrat Unterstützung und Substrattisch
EP4111261
Optik & Fototechnik
23.04.2025
Positionsmesssystem, Positionsmessverfahren und Lithografische Vorrichtung
EP3995897
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
23.04.2025
Substratträger und Lithographische Vorrichtung
EP4540659
Optik & Fototechnik
17.04.2025
Multi core waveguides for semiconductor metrology systems and methods
WO2025078074
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
17.04.2025
Systeme und Verfahren zur Verzerrungskorrektur in der Bildgebung mit Geladenem Teilchenstrahl
EP4792356
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.04.2025
Magnetic levitation positioner assembly for use in a lithographic apparatus, lithographic apparatus therewith, method of operating the assembly and method of manufacturing devices comprising the method of operating or using the apparatus
WO2025078087
Optik & Fototechnik
17.04.2025
Oberflächenelement
EP4792183
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe

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